微細加工プラットフォームー電子ビーム露光を中心とした支援－

摘要

東京工業大学量子ナノエレクトロニクス研究センター（以下、東工大）は、平成14年度開始の文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクトへの応募採択から支援事業を開始し、平成19年度開始の文部科学省ナノテクノロジー·ネットワーク、平成24年度から開始したナノテクノロジープラットフォーム事業でも参画と、今年（平成26年）までに13年間にわたる支援を行ってきた。