Исследование и расчет многокоординатньвх пьёзодвигэтелей наноперемещений

摘要

Исследованы статические и динамические характеристики многокоординатных пьезодвигателей наноперемещений. Построена параметрическая структурная схема многокоординатного пьезодвигателя и определено влияние геометрических и физических параметров пьезодвигателя и внешней нагрузки на его динамические характеристики, получены передаточные функции многокоординатного пьезодвигателя наноперемещений.