АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ СИСТЕМА ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПОЛОЖЕНИЯ В ПРОСТРАНСТВЕ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫХ УСТРОЙСТВ СОВРЕМЕННОГО ВАКУУМНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО

摘要

Разработаны устройства для определения положения в пространстве исполнительных устройств современного технологического оборудования, в которых их положение определяется непосредственно в абсолютных координатах. Показаны варианты выполнения устройств для определения положения тела в пространстве, отличающиеся друг от друга измеряемыми расстояниями. Предложена автоматизированная система для вакуумного технологического комплекса обработки полупроводниковых структур в замкнутом цикле.