マイクロチャネル中に注入した微小液滴の電界駆動により動作する交叉導波路型光スイッチ－マイクロチャネルの製作技術とスイッチング特性－

摘要

我々は静電力によって微小波滴を駆動する，低消費電力化に適した光導波路型光スイッチを提案および実証した．また，このデバイス実現の重要な製作技術である，薄いカバー層を持つマイクロチャネルの形成法を，リフトオフ技術とダマシンプロセスを用いることによって実現した．このデバイスは；交叉導波路の交点でマイクロチャネルが30度で交叉しており．そのマイクロチャネル中に注入した微小マッチングオイル液滴をマクスウェルの応力によって駆動させることで動作する．液潤が導波路とマイクロチャネルの交叉部にある時は，光はマイクロチャネル中を直進してスルーポートに出力される．逆に空気が導波路とマイクロチャネルの交叉部にある時には，光はマイクロチャネルの側壁で全反射され，クロスボートに出力される．動作電圧250Vにおいて，消光比33d臥　 切替時間31msの軌作を得た．