近接／動き／液面検出など広い用途に対応―高い精度で検出できる静電容量／デジタル·コンバータ

摘要

さまざまなセンサの中で，電極の静電容量の変化を利用するセンサが増えている．静電容量はさまざまなアプリケーションで利用可能であり，検出原理やセンサの構造が比較的単純で容易に実現できる．向き合った平行平板電極に生じる静電容量は，極板面積，極板間隔，他の導体や誘電体などによる空間的パラメータにょって変化する．対象から受ける力で電極が変位，移動したり，対象の位置，大きさの影響によって静電容量が変化すれば，それを計測してさまざまな検出に利用できる．静電容量の変化は，一般に感度も高い．対象自体を電極として利用したり，誘電率の違いを利用することもできる．導電体から不導体まで，接地された対象から絶縁された対象まで，固体から粉体／液体まで，接触している対象から離れている対象まで，広い用途で利用できる．