В источниках коротковолнового излучения на Xe лазерной плазме коэффициент конверсии (CE) энергии лазера в излучение диапазона EUV оказывается существенно ниже теоретических ожиданий. Сделана расчетная оценка, которая показала, что одной из основных причин этого может быть длительный период начальной ионизации до момента появления высокозарядных ионов, способных испускать коротковолновые фотоны. Плазма при этом остается низкоионизованной и слабо поглощает лазерное излучение. Результаты оценки подтверждены экспериментально спектроскопическими методами и данными о степени ионизации, выведенными из измеренного поглощения лазерного излучения в плазме. В качестве способа ускорения процесса ионизации и соответственно повышения CE предлагается предионизация газовой мишени импульсом ультрафиолетового (UV) эксимерного лазера.
展开▼
