О ПРИМЕНЕНИИ ИНТЕРФЕРЕНЦИИ МИЛЛ МЕТРОВЫХ И СУБМИЛЛИМЕТРОВЫХ ВОЛН ДЛЯ ДИАГНОСТИКИ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ФОТОПРОВОДИМОСТИ ПО ТОЛЩИНЕ ПОЛУПРОВО

摘要

Рассмотрена интерференция миллиметровых и субмиллиметровых волн в высокоомной полупроводниковой пластине, освещенной модулированным светом и помещенной в шейку пучка в открытом резонаторе перпендикулярно его оси, Показано, что измерения глубины модуляции коэффициента пропускания такого резонатора на определенных частотах при нескольких положениях пластины позволяют восстановить распределение фотопроводимости по толщине пластины. Проведены оценки влияния различных экспериментальных ошибок на точность восстановления.