Анализ факторов, влияющих на погрешность трёхмерной реконструкции поверхности объектов с субмикрометровым рельефом, по полученным в растровом электронном микроскопе стереоизображениям

摘要

Представлены результаты исследований факторов, влияющих на систематическую погрешность трёхмерной реконструкции рельефа поверхности объектов по полученным в растровом электронном микроскопеS-4800 стереоизображениям. Характерный размер элементов поверхностного рельефа - менее 1 мкм. Выявлены основные составляющие указанной погрешности. Показано, что для типичных образцов погрешностьизмерений параллакса является основным фактором, определяющим систематическую погрешность трёхмерной реконструкции.