水素社会の実現に不可欠な水素製造·利用技術：半導体排水中の高純度シリコンの回収と水素製造

摘要

半導体の製造工程はさまざまなプロセスから構成されており，高純度の水や化学物質が大量に使われている。 そのため，各種工程からは化学物質を含む大量の処理水が排出されており，環境保全の観点から排水処理技術の開発は重要な課題となっている。 大きな環境負荷となる化学物質は，排出基準を満足し，かつ可能な限り除去するのが望ましく，そのためには大掛かりな処理システムが付加される。 このことはイニシャルコスト，ランニングコストの増大を招き，経済性の観点から大きな課題である。