超顕微計測光学研究部

摘要

本研究部では，軟X線を光漁として，解像力50nmで元素コントラストが得られる超顕微鏡などを実現することを目指している。 現在，心臓部の光学超薄膜を用いたサブnm超精密結像鏡を開発するための軟X線波面干渉計測装置の開発に取り組んでいる。 2003年の研究活動と成果は，以下のように概括される。