ФОРМИРОВАНИЕ МИКРОВКЛЮЧЕНИЙ И ИХ ПАРАМЕТРЫ В МУЛЬТИКРЕМНИИ В ЗАВИСИМОСТИ ОТ УСЛОВИЙ ЕГО НАПРАВЛЕННОЙ КРИСТАЛЛИЗАЦИИ МЕТОДОМ БРИДЖМЕНА - СТОКБАРГЕРА

摘要

Рассмотрен метод изучения закономерностей распределения элементов-примесей в объеме слитка, необходимый при разработке процессов получения кристаллов мулътикремния 《солнечного》 качества. Метод основан на корреляционном анализе Спирмена, позволяющем по коэффициентам корреляции содержания элементов примесей оценить вероятность и зоны образования микровключений при заданных тепловых и скоростных режимах кристаллизации. Предлагаемый метод отличается простотой применения - для его использования достаточно данных по концентрациям исследуемых примесей, полученных методом масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой (ИСП-МС) по областям объема слитков. Результаты расчетов вероятного состава микровключений подтверждены методом электронно-зондового рентгеноспектралъного микроанализа (РСМА).