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机译:高纵横比图案化中阳离子表面活性剂在光致抗蚀剂表面的吸附及其对图案塌陷的影响
pattern collapse; capillary forces; cationic surfactant; adsorption; hydrocarbon chain length; CHEMICALLY AMPLIFIED PHOTORESISTS; CONTACT-ANGLE MEASUREMENTS; WATER-INTERFACE; ALKYLTRIMETHYLAMMONIUM BROMIDES; COPOLYMER FILMS; CHAIN-LENGTH; SILICA; STABILITY; BEHAVIOR; ALUMINA;
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