ナノインプリント技術とオプトメカトロニクス·デバイス応用

摘要

熱ならびに光ナノインプリントの基本プロセスとそのメカニズムについて，実験ならびにシミュレーション解析に基づき，解説した。さらに，熱ナノインプリントの優れた特長を生かした，高アスペクト比ナノ構造，曲面構造，三次元積層構造，ガラス材料への加工など，サブ波長光学要素やフォトニック結晶作製のシーズとなる要素技術を紹介した。モールド作製，被成型材料の多様性にも富む熱ナノインプリント法は，光学用途はむもちろん，様々なニーズに応じた展開が期待される。