机译:自组装的氟八三氯硅烷单层的两室工艺的发展,用于35纳米半间距全轨迹纳米图案的纳米压印
Nanoimprint; SAM; Self-Assembled Monolayer; Sticking; Nanopattern;
机译:自组装的氟八三氯硅烷单层的两室工艺的发展,用于35纳米半间距全轨迹纳米图案的纳米压印
机译:通过原子层沉积获得具有10 nm半间距的纳米压印模板光栅,可进行间隔物双重图案化
机译:结合氦离子束和纳米压印光刻技术,可实现4 nm半间距密集图案
机译:具有多头纳米压印单元的UV-NanoImprint光刻,用于子50nm半间距图案
机译:在无铅组装环境中开发小间距(0.4 mm)层叠封装器件的组装工艺。
机译:婴儿大脑中用于听觉音调处理的功能开发
机译:组合的氦离子束和纳米压印光刻获得4nm半间距密集图案