世界初のスパッタ方式による光触媒ミラーの量産化

摘要

芝浦メカトロニクスはこのほど，高速成膜機能を有する枚葉式スパッタリング装置を㈱ホンダロックに納入し，光触媒膜による親水ミラーとしては世界初となるスパッタ方式での本格量産を実現した。