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e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium
e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium
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1.
New process variation modeling method of 3-D capacitances for advanced nanometer CMOS
机译:
高级纳米CMOS三维电容的新工艺变化建模方法
作者:
Kuo-Fu Lee
;
Hsiao-Han Liu
;
Ping-Hung Yuh
;
Ho-Che Yu
;
Wen-Cheng Huang
;
Victor C.Y. Chang
;
Keh-Jeng Chang
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2016年
关键词:
Capacitance;
Semiconductor device modeling;
Solid modeling;
FinFETs;
Capacitance measurement;
Integrated circuit modeling;
Silicon;
2.
Virtual metrology for 3D vertical stacking processes in semiconductor manufacturing
机译:
半导体制造中的3D垂直堆叠过程的虚拟计量
作者:
Syue-Ren Wu
;
Chun-Fu Chen
;
Tuung Luoh
;
Ling-Wuu Yang
;
Tahone Yang
;
Kuang-Chao Chen
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2016年
关键词:
Stacking;
Nonhomogeneous media;
Films;
Semiconductor device modeling;
Three-dimensional displays;
Silicon compounds;
Monitoring;
3.
Research on ion implanter transferring from spot beam to ribbon beam
机译:
从点束到带状梁离子注入机的研究
作者:
Yu-An Chen
;
Shih-Ping Lee
;
Chien-Hui Lu
;
Chia-Hsin Tsai
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2016年
关键词:
Resistance;
Ion implantation;
Ions;
Ion beams;
Silicon;
Analysis of variance;
Optimization;
4.
Method and application of metrology tool alignment for semiconductor cross FABs
机译:
半导体交叉FABS的计量工具对准的方法和应用
作者:
Tang-Chi Wang
;
Ya-Chuan Chan
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2018年
关键词:
Cross Fab alignment;
Full scale alignment;
Key process alignment;
Full line alignment;
5.
Eliminating undercut profile of through silicon via by using nitrided fluorocarbon passivation in rapid alternating process
机译:
通过在快速交替过程中使用氮化氟碳钝化来消除通过硅通孔的底切征
作者:
Leonard Hsu
;
Wei Lai
;
Jisoo Kim
;
Eldon Cheng
;
Paul Lin
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2016年
关键词:
Silicon;
Plasmas;
Through-silicon vias;
Passivation;
Etching;
Chemistry;
6.
Wet clean study on cobalt silicide and contact processes
机译:
硅化钴和接触工艺的湿清洁研究
作者:
Shih-Ping Lee
;
Jin-Liang Lin
;
Chia-Hsien Kuo
;
Chien-Hui Lu
;
Chia-Hsin Tsai
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2016年
关键词:
Silicides;
Cobalt;
Resistance;
Contact resistance;
Annealing;
Scanning electron microscopy;
7.
The role of models in semiconductor smart manufacturing
机译:
模型在半导体智能制造中的作用
作者:
Alan Weber
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2016年
关键词:
Manufacturing;
Standards;
Production facilities;
Industries;
Semiconductor device modeling;
Real-time systems;
Automation;
8.
Advance technique for automatic optical inspection process optimization
机译:
自动光学检测过程优化的推进技术
作者:
Wiljelm Carl K. Olalia
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2016年
关键词:
Surface topography;
Inspection;
Sensitivity;
Two dimensional displays;
Metrology;
Optimization;
9.
IPD robustness test methodology for InFO
机译:
IPD鲁棒性测试方法进行信息
作者:
Tang-jung Chiu
;
Yen-cheng Lin
;
Yi-chen Wang
;
Chi-che Wu
;
Hung-chih Lin
;
Min-jer Wang
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2016年
关键词:
Testing;
Capacitance;
Stress;
Reliability;
Collaboration;
Ceramics;
Temperature measurement;
10.
Heuristic methods for Q-time bottleneck dispatching
机译:
Q-Time BottleNeck调度的启发式方法
作者:
Ching-Lung Chang
;
Han-Yu Wu
;
Chao-Kai Chen
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2016年
关键词:
Mathematical model;
Dispatching;
Fabrication;
Loading;
Harmonic analysis;
Furnaces;
Resource management;
11.
Opportunity for improving fab effectiveness by predictive overall equipment effectiveness (POEE)
机译:
通过预测整体设备有效性提高Fab效能的机会(POEE)
作者:
Yu-ting Kao
;
Shi-chung Chang
;
Stephane Dauzere-Peres
;
Jakey Blue
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2016年
关键词:
Quality assessment;
Product design;
Indexes;
Throughput;
Monitoring;
Production;
Temperature sensors;
12.
Multi-Products, Process and Machine Control Chart Application in Semiconductors
机译:
半导体中的多产品,过程和机器控制图应用
作者:
Cheng June Wu
;
Jui Chen Wei
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2018年
关键词:
Standardize;
Multi-product;
Control chart;
13.
Smart Manufacturing Stakeholders and Their Requirements
机译:
智能制造利益相关者及其要求
作者:
Alan Weber
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2018年
关键词:
Smart Manufacturing;
Industry 4.0;
Factory Stakeholders;
Equipment Connectivity and Control;
Standards;
14.
Electrical and Reliability Characteristics of LPRTO and ISSG Oxide as Tunnel dielectric in SONOS Applications
机译:
SONOS应用中LPRTO和ISSG氧化物的电气和可靠性特性
作者:
Yi-Ping Lin
;
Chia-Hsin Liu
;
Tsung-Hui Chou
;
Chia-Hsin Tsai
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2018年
关键词:
Tunnel Oxide;
LPRTO;
Retention;
FTIR;
D_(it);
15.
A Microlens Reactive Ion Etching Process Study on CMOS Image Sensor
机译:
CMOS图像传感器的微透镜反应离子蚀刻工艺研究
作者:
Wen-Hao Lo
;
Pin-Chieh Huang
;
Cheng-Han Ting
;
Kuo-Fang Huang
;
Tz-Shiuan Tzeng
;
Tz-Shiuan Lin
;
Shih-Ping Lee
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2018年
关键词:
Microlens roughness;
Reactive ion etch;
Image sensors;
16.
Apply RPA (Robotic Process Automation) in Semiconductor Smart Manufacturing
机译:
在半导体智能制造中应用RPA(机器人过程自动化)
作者:
Ssu Chieh Lin
;
Lian Hua Shih
;
Damon Yang
;
James Lin
;
Ji Fu Kung
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2018年
关键词:
RPA;
17.
Machine Learning and Big Data in optical CD metrology for process control - Barak Bringoltz
机译:
用于过程控制的光盘测量学中的机器学习和大数据 - Barak Brottolzz
作者:
Eitan Rothstein
;
Ilya Rubinovich
;
Yong Ha Kim
;
Noam Tal
;
Oded Cohen
;
Shay Yogev
;
Ariel Broitman
;
Eylon Rabinovich
;
Tal Zaharoni
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2018年
关键词:
Machine learning;
Big data;
Optical metrology;
Process control;
Matching;
Repeatability;
Throughput;
Sampling;
18.
Resolving Wrong Die Picked Thru Development Of Sequential based Application for Die Sorter Equipment
机译:
解决错误的骰子采摘了基于顺序的DIE分拣机应用程序的开发
作者:
Wiljelm Carl K. Olalia
;
Samuel T. Suaverdez
;
Mark Anthony O. Velasco
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2018年
关键词:
Wrong Die Pick at DS;
19.
Al and Big Data Analytics for Wafer Fab Energy Saving and Chiller Optimization to Empower Intelligent Manufacturing - Chen-Fu Chien
机译:
AL和大数据分析晶圆厂节能和冷却器优化,智能制造 - 陈富智事
作者:
Ying-Jen Chen
;
Ya-Tung Han
;
Meng-Ke Hsieh
;
Chi-Ming Lee
;
Taylor Shih
;
Mao-Yung Wu
;
Wen-Wei Yang
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2018年
关键词:
Big Data Analytics;
Energy Saving;
Chiller Optimization;
Intelligent Manufacturing;
High-tech industry;
20.
Smart GDBC Screening for High Quality IPD
机译:
智能GDBC筛选高质量IPD
作者:
Hao Chen
;
Hung-Chih Lin
;
Min-Jer Wang
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2018年
关键词:
IPD;
InFO WLCSP;
GDBC;
DPAT;
Image Processing;
Package on Package (PoP);
21.
Recurrent Reinforcement Learning for Predictive Overall Equipment Effectiveness
机译:
预测整体设备有效性的经常性强化学习
作者:
Da-Yin Liao
;
Wen-Pao Tsai
;
Hsuan-Tseng Chen
;
Yao-Po Ting
;
Chieh-Yu Chen
;
Hsing-Chi Chen
;
Shi-Chung Chang
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2018年
关键词:
Recurrent Neural Network;
Reinforcement Learning;
OEE;
Predictive;
CVD;
22.
Process Window Optimization by Die to Database e Beam Inspection-Tuung Luoh
机译:
DIAC到DATABE E FAMB检查 - 卷水的过程窗口优化
作者:
Ling-Wuu Yang
;
Tahone Yang
;
Kuang-Chao Chen
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2018年
关键词:
E beam inspection;
Hot spot inspection;
Voltage contrast;
Die to database (D2DB);
Process Window;
23.
A practical Quality control System for raw material through COA data analytics on Semiconductor Manufacturing
机译:
通过COA数据分析对半导体制造的原材料的实用质量控制系统
作者:
Chien Hui Leu
;
Demeter Chen
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2018年
关键词:
ECOA;
Machine Learning;
Statistical Bin Limits;
Decision Tree;
Clustering;
24.
Al Applications for Green Manufacturing
机译:
AL应用绿色制造
作者:
Keung Hui
;
Stock Chang
;
K. H. Tsai
;
C. C. Chuang
;
Leo Ke
;
Evan Wu
;
S. Y. Sheen
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2018年
关键词:
Green manufacturing;
Machine learning;
Thermodynamic systems;
25.
Prioritization of key in-line process parameters for electrical characteristic optimization of high-k metal gate bulk FinFET devices
机译:
高k金属栅极散装机械电气特性优化关键型工艺参数的优先级
作者:
Ping-Husn Su
;
Yiming Li
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2016年
关键词:
Logic gates;
FinFETs;
Fluctuations;
Threshold voltage;
Sensitivity analysis;
Device-to-device communication;
Voltage measurement;
26.
Fundamentals of side isolation LDMOS device with 0.35um CMOS compatible process
机译:
具有0.35UM CMOS兼容过程的侧隔离LDMOS设备的基础
作者:
R. Deivasigamani
;
Gene Sheu
;
Shao Ming Yang
;
S. Krishna Sai
;
S. Selvendran
;
Chirag Aryadeep
;
Po-An Chen
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2016年
关键词:
Resistance;
Electric breakdown;
Performance evaluation;
Kirk field collapse effect;
Transistors;
Benchmark testing;
Structural rings;
27.
Novel info wafer-level-chip-scale-package N-leak test and stress
机译:
新型信息晶圆级芯片尺度套装N漏试验和应力
作者:
Hao Chen
;
Hung-chih Lin
;
Ching-nen Peng
;
Min-jer Wang
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2016年
关键词:
Metals;
Stress;
Resistance;
Mathematical model;
Semiconductor device reliability;
Packaging;
28.
Improvement of mim capacitor early breakdown by metal deposition process optimization and ar sputter etch implementation
机译:
通过金属沉积工艺优化和AR溅射蚀刻实现改进MIM电容器早期崩溃
作者:
Chin-Tsan Yeh
;
Szu-Ming Chu
;
Yi-Hao Yeh
;
Wen-Chi Ting
;
Chih-Yuan Lu
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2016年
关键词:
Metals;
MIM capacitors;
Surface treatment;
Rough surfaces;
Surface roughness;
Capacitance;
Electric breakdown;
29.
Capacity simulation by cellular automation in endura platform
机译:
endura平台蜂窝自动化能力模拟
作者:
Tung-He Chou
;
Yu-Chih Chang
;
Binglung Yu
;
Chun-Fu Chen
;
Yung-Tai Hung
;
Tuung Luoh
;
Ling-Wuu Yang
;
Tahone Yang
;
Kuang-Chao Chen
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2016年
关键词:
Semiconductor device modeling;
MOCVD;
Robots;
Blades;
Automation;
Productivity;
Analytical models;
30.
The Value and Effectiveness of Sensor Trace Analytics in Solving Yield Impact Issues: A Case Study
机译:
传感器跟踪分析在解决产量影响问题中的价值和有效性:案例研究
作者:
Kim Kok Gan
;
Hein Mun Lam
;
Michael Zhao
;
Joe Lee
;
Tom Ho
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2018年
关键词:
Trace Analytics;
Yield Improvement;
Root Cause Analysis;
31.
IDENTIFICATION AND CONTROLLING SOURCES OF DIE CHIPPINGS ON WAFER LEVEL CHIP SCALE PACKAGE (WLCSP) PROCESS
机译:
晶圆级芯片尺度封装(WLCSP)过程中的模具芯片识别和控制源
作者:
Glenn T. Placido
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2018年
关键词:
Die Chippings on WLCSP Process;
32.
Queue Time Reduction in Wafer Fab Process through Six Sigma Approach
机译:
通过六种Sigma方法减少晶片Fab过程的排队时间
作者:
Eric Kerk
;
Chih Ming Chan
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2018年
关键词:
Lean and Six Sigma;
Continuous Improvement;
33.
Shop Floor Optimization through Job Scheduling and Machine Automation
机译:
通过作业调度和机器自动化来铺设地板优化
作者:
Yuwen Zhang
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2018年
关键词:
Optimization;
Job shop scheduling;
Automation;
34.
On the Decomposition of Bias Terms in Mixed Multi-Product Multi-Tool APC Operations
机译:
关于混合多产品多工具APC操作中偏置术语的分解
作者:
Keung Hui
;
Leo Ke
;
S. Y. Sheen
会议名称:
《e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium》
|
2018年
关键词:
APC;
HVM;
EWMA;
Bias decomposition;
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