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Conference on design for manufacturability through design-process integration VII
Conference on design for manufacturability through design-process integration VII
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1.
Post-Routing Back-End-Of-Line Layout Optimization for Improved Time-Dependent Dielectric Breakdown Reliability
机译:
路由后返回端线布局优化,可改进的时间依赖性介电击穿可靠性
作者:
Tuck-Boon Chan
;
Andrew B. Kahng
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
2.
Diffraction Pattern Based Optimization of Lithographic Targets for Improved Printability
机译:
基于衍射模式的改进印刷性的光刻靶标优化
作者:
Shayak Banerjee
;
Kanak B. Agarwal
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
关键词:
Retargeting;
OPC;
hotspot fixing;
diffraction pattern;
3.
Process window analysis of algorithmic assist feature placement options at the 2X nm Node DRAM
机译:
2x NM节点DRAM的算法辅助功能放置选项的过程窗口分析
作者:
Jinhyuck Jeon
;
Shinyoung Kim
;
Jookyoung Song
;
Chanha Park
;
Hyunjo Yang
;
Donggyu Yim
;
Brian Ward
;
Yunqiang Zhang
;
Kevin Hooker
;
Munhoe Do
;
Jung-Hoe Choi
;
Stephen Jang
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
关键词:
Model Based Assist Feature (MBAF);
Rule Based Assist Feature (RBAF);
Hybrid approach algorithms;
Low K1 Lithography;
Process Window (PW);
4.
Compact Modeling of Fin-Width Roughness Induced FinFET Device Variability Using the Perturbation Method
机译:
翅片宽度粗糙度的紧凑型造型使用扰动方法诱导FinFET器件变异性
作者:
Qi Cheng
;
Weiling Kang
;
Yijian Chen
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
关键词:
FinFET;
fin-width roughness (FWR);
short-channel model;
DIBL;
perturbation method;
5.
Mask Strategy and Layout Decomposition for Self-Aligned Quadruple Patterning
机译:
用于自对准四倍图案的面具策略和布局分解
作者:
Weiling Kang
;
Chen Feng
;
Yijian Chen
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
关键词:
Self-aligned quadruple patterning (SAQP);
spacer-expansion mask;
layout decomposition/synthesis;
negative tone;
conflicting graph;
6.
Model Based Hint for Litho Hotspot Fixing beyond 20nm node
机译:
基于模型的Litho Hotspot修复20nm节点的提示
作者:
Jae-hyun Kang
;
Byung-Moo Kim
;
Naya Ha
;
Hung bok Choi
;
Kee sup Kim
;
Sarah Mohamed
;
Kareem Madkour
;
Wael ElManhawy
;
Evan Lee
;
Jean-Marie Brunet
;
Joe Kwan
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
关键词:
design for manufacturing;
lithography hotspots;
litho hotspot repair hint;
double patterning;
7.
An Automated Resource Management System to Improve Production Tapeout Turn-Around Time
机译:
自动化资源管理系统,以改善生产磁带转弯时间
作者:
Eric Guo
;
Qingwei Liu
;
Sherry Zhu
;
Jason Wu
;
Jenny Tsai
;
Junwei Lu
;
Mark C. Simmons
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
关键词:
semiconductor;
foundry;
turnaround time;
cluster manager;
hardware utilization;
post tape-out flow;
mask data prep;
8.
A Novel Algorithm for Automatic Arrays Detection in a Layout
机译:
布局中自动阵列检测的新算法
作者:
Marwah Shafee
;
Jea-Woo Park
;
Ara Aslyan
;
Andres Torres
;
Kareem Madkour
;
Wael ElManhawy
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
关键词:
DfM;
repeated patterns;
layout regularity;
9.
A novel methodology for building robust design rules by using Design Based Metrology (DBM)
机译:
使用基于设计的计量(DBM)建立强大的设计规则的新方法
作者:
Myeongdong Lee
;
Seiryung Choi
;
Jinwoo Choi
;
Jeahyun Kim
;
Hyunju Sung
;
Hyunyoung Yeo
;
Myoungseob Shim
;
Gyoyoung Jin
;
Eunseung Chung
;
Yonghan Roh
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
关键词:
Design rule;
Design for manufacturability;
DFM;
Design based metrology;
DBM;
10.
Design for manufacturability: a fabless perspective
机译:
可制造性设计:无晶圆虫透视图
作者:
Jason P. Cain
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
关键词:
integrated circuit (IC);
design for manufacturability (DFM);
lithography;
11.
Triple Patterning Lithography (TPL) Layout Decomposition using End-Cutting
机译:
使用终切的三重图案化光刻(TPL)布局分解
作者:
Bei Yu
;
Jhih-Rong Gao
;
David Z. Pan
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
12.
SRAM Circuit Performance in the Presence of Process Variability of Self-aligned Multiple Patterning
机译:
SRAM电路性能在存在过程变异性的自对准多个图案的存在下
作者:
Wei Xiao
;
Qi Cheng
;
Yijian Chen
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
关键词:
Self-aligned triple patterning (SATP);
self-aligned quadruple patterning (SAQP);
SRAM;
static noise margin (SNM);
inter-cell variability;
intra-cell variability;
13.
Self-aligned Double Patterning Compliant Routing with In-Design Physical Verification Flow
机译:
自对准双图案标准符合设计的内在物理验证流程
作者:
Jhih-Rong Gao
;
Harshdeep Jawandha
;
Prasad Atkar
;
Atul Walimbe
;
Bikram Baidya
;
Olivier Rizzo
;
David Z. Pan
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
14.
Self-aligned Double Patterning Friendly Configuration for Standard Cell Library Considering Placement Impact
机译:
考虑放置冲击的标准单元库自我对齐双图案化配置
作者:
Jhih-Rong Gao
;
Bei Yu
;
Ru Huang
;
David Z. Pan
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
15.
Pattern matching for identifying and resolving non-decomposition-friendly designs for Double Patterning Technology (DPT)
机译:
用于识别和解决双图案技术的非分解友好设计的模式匹配(DPT)
作者:
Lynn T.-N. Wang
;
Vito Dai
;
Luigi Capodieci
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
关键词:
Pattern matching;
odd-cycles;
coloring conflicts;
double patterning;
decomposition;
design flow;
design rule;
DRC Plus;
automated decomposition algorithm;
DPT;
16.
Enhanced Spacer-Is-Dielectric (SID) Decomposition Flow with Model-Based Verification
机译:
增强的间隔介质(SID)分解流,基于模型的验证
作者:
Yuelin Du
;
Hua Song
;
James Shiely
;
Martin D. F. Wong
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
关键词:
SID Decomposition;
Model-Based Verification;
Residue Artifact Removal;
17.
Process Characteristics and Layout Decomposition of Self-aligned Sextuple Patterning
机译:
自对准Sextuple Patterning的过程特征和布局分解
作者:
Weiling Kang
;
Yijian Chen
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
关键词:
Self-aligned sextuple patterning (SASP);
conflicting graph;
assisting mandrels;
layout decomposition;
18.
Detailed Routing with Advanced Flexibility and in Compliance with Self-Aligned Double Patterning Constraints
机译:
详细路由,具有先进的灵活性,并符合自我对齐的双图案化约束
作者:
Fumiharu Nakajima
;
Chikaaki Kodama
;
Hirotaka Ichikawa
;
Koichi Nakayama
;
Shigeki Nojima
;
Toshiya Kotani
;
Shoji Mimotogi
;
Shinji Miyamoto
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
关键词:
Double patterning;
Multiple patterning;
Self-Aligned Double Patterning;
SADP;
Routing;
Lithography;
19.
Rethinking ASIC Design with Next Generation Lithography and Process Integration
机译:
利用下一代光刻和流程集成重新思考ASIC设计
作者:
Kaushik Vaidyanathan
;
Renzhi Liu
;
Lars Liebmann
;
Kafai Lai
;
Andrzej Strojwas
;
Larry Pileggi
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
关键词:
Standard Cell Library, Application-specific SRAM synthesis, Design for Manufacturability, Design Tec;
20.
Pioneering an On-The-Fly Simulation Technique for the Detection of Layout-Dependent Effects during IC Design Phase
机译:
在IC设计阶段检测布局依赖效应的开启仿真技术
作者:
Amr M.S. Tosson
;
Ahmed Ramadan
;
Rami Fathy Salem
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
21.
Double Patterning: Solutions in Parasitic Extraction
机译:
双重图案化:寄生提取的解决方案
作者:
Dusan Petranovic
;
James Falbo
;
Nur Kurt-Karsilayan
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
关键词:
Double patterning;
LELE;
parasitics extraction;
effective dielectric constant;
custom corners;
22.
Understanding device impact of line edge/width roughness in frequency domain
机译:
了解频域中线边缘/宽度粗糙度的设备影响
作者:
Peng Xie
;
He Ren
;
Aneesh Nainani
;
Huixiong Dai
;
Chris Bencher
;
Chris Ngai
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
关键词:
line edge roughness;
line width roughness;
power spectral density;
device variability;
FinFETs;
reliability;
dielectric breakdown;
TCAD;
23.
Evaluation of Cost-driven Triple Patterning Lithography Decomposition
机译:
成本驱动三重图案化光刻分解的评价
作者:
Haitong Tian
;
Hongbo Zhang
;
Qiang Ma
;
Martin D.F. Wong
会议名称:
《Conference on design for manufacturability through design-process integration VII》
|
2013年
关键词:
Cost-driven;
Triple Patterning Lithography;
Local Pattern Aware;
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