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Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV
Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV
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1.
Growth of ZnO nanorods on patterned templates for energy harvesting applications
机译:
ZnO Nanorods对模板模板的生长,用于能量收集应用
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
ZnO;
nanorods;
vibrational energy harvesting;
hydrothermal process;
low-temperature;
2.
A 3.0-3.7 μm Infrared Sensor System for Cell Analysis
机译:
用于细胞分析的3.0-3.7μm红外传感器系统
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
infrared sensor;
LED;
photodiode;
label-free;
cell analysis;
3.
Tactile Sensors Based on Conductive Polymers
机译:
基于导电聚合物的触觉传感器
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
tactile sensors based on conductive polymers;
sensors fabricated with printed circuit board technology;
sensors fabricated with screen-printing technology;
4.
Constant-Charge Biasing Integrated Circuit for Capacitive RF MEMS switch
机译:
用于电容式RF MEMS开关的恒定电荷偏置集成电路
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
dielectric charging;
reliability;
capacitive RF MEMS switch;
constant-charge biasing;
integrated circuit;
5.
Adhesive wafer bonding using photosensitive polymer layers
机译:
使用光敏聚合物层粘合粘合剂晶片键合
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
adhesive wafer bonding;
polymer bonding;
MEMS;
planarization;
low temperature bonding;
photosensitive;
6.
Tuned Wettability of Material Surfaces for tribological Applications in miniaturized Systems by Laser Interference Metallurgy
机译:
激光干涉冶金在小型化系统中对摩擦学应用的材料表面的调节润湿性
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
laser interference;
microstructured surfaces;
wettability;
tribology;
7.
New methods and instrumentation for functional, yield and reliability testing of MEMS on device, chip and wafer level
机译:
用于设备,芯片和晶片级的MEMS功能,产量和可靠性测试的新方法和仪表
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
MEMS;
reliability;
RF-MEMS;
laser doppler vibrometer;
ESD;
resonators;
nano indentation;
vibration;
8.
An envelope model to describe the sensor dynamics of vibratory gyroscopes
机译:
描述振动陀螺仪传感器动力学的信封模型
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
MEMS gyroscopes;
resonance structures;
capacitive sensors and actuators;
envelope model;
9.
Characterization and simulation of high quality AIN-actuated resonant suspended beams
机译:
高质量AIN致动谐振束梁的表征和仿真
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
micro-resonators;
piezoelectric;
AlN;
10.
Single Crystalline Silicon Based Surface Micromachining for High Precision Inertial Sensors Technology and Design for Reliability
机译:
高精度惯性传感器技术基于单晶硅基表面微机械和可靠性设计
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
surface micromachining;
foundry process;
design rules;
glass frit bonding;
reliability;
11.
Electrical and Mechanical Characterization of Low Temperature Co-fired Ceramics for High Temperature Sensor Applications
机译:
高温传感器应用低温共烧陶瓷的电气和力学表征
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
LTCC;
high temperature behaviour;
mechanical behaviour;
electrical performance;
glass softening;
12.
Position encoding and closed loop control of MOEMS translatory actuators
机译:
MOEMS DRAPOLTORATORATOR的位置编码和闭环控制
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
MOEMS;
translatory micro-mirror drive;
FTIR spectrometer;
michelson interferometer;
closed-loop control;
13.
Design, fabrication and characterization of a micro-fluxgate intended for parallel robot application
机译:
用于并行机器人应用的微型磁通晶体的设计,制造和表征
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
fluxgate;
magnetometer;
racetrack;
micro-fabrication;
soft magnetic;
NiFe;
MEMS;
parallel robot;
direct kinematics;
angular position sensor;
14.
Silicon comb-drive X-Y microstage with frame-in-the-frame architecture for MOEMS applications
机译:
硅梳驱动X-Y Micro5RAGE与框架内架构,用于MOEMS应用
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
MOEMS;
X-Y microstage;
comb-drive actuator;
SOI;
DRIE;
microlens scanner;
15.
Manufacturing, Assembling and Packaging of Miniaturized Implants for Neural Prostheses and Brain-Machine Interfaces
机译:
用于神经假体和脑机接口的小型化植入物的制造,组装和包装
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
BioMEMS;
encapsulation;
electrode;
implant;
neural prostheses;
polyimide;
parylene;
recording;
silicone;
stimulation;
16.
Micromechanical sensors based on lateral and longitudinal displacement of a cantilever sensing element: A comparative performance study
机译:
基于悬臂传感元件的横向和纵向位移的微机械传感器:比较性能研究
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
micromechanical sensors;
microcantilevers;
nanocantilevers;
bimaterial detector;
thermal infrared detector;
specific detectivity;
noise;
jones optical lever;
17.
Aluminum Nitride - A promising and Full CMOS Compatible Piezoelectric Material for MOEMS Applications
机译:
氮化铝 - 用于MoEMS应用的有希望的CMOS兼容压电材料
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
aluminum nitride;
reactive magnetron sputtering;
transversal piezoelectric coupling;
MOEMS;
MMDM;
18.
SAW-grade SiO_2 for advanced microfluidic devices
机译:
用于高级微流体装置的SAW级SIO_2
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
SAW;
surface acoustic wave;
microfluidics;
SiO_2;
PVD;
sputtered SiO_2;
19.
New perspectives for pressure and force sensors Thin films combining high gauge factor and low TCR
机译:
压力和力传感器的新透视薄膜组合高压因子和低TCR的薄膜
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
gauge factor;
strain gauge;
TCR;
nickel clusters;
graphite;
carbon;
encapsulated;
pressure;
force sensors;
20.
Fast Transient Temperature Operating Micromachined Emitter for Mid-Infrared for Optical Gas Sensing Systems
机译:
用于光学气体传感系统中红外线的快速瞬态温度操作微机械发射器
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
thermal emitter;
microhotplate;
MEMS;
filterphotometer;
high temperature;
thermal radiation;
infrared;
thermal source;
21.
Sputtered polycrystalline A1N as a platform for biofunctionalized devices
机译:
溅射的多晶A1N作为生物功能化器件的平台
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
AlN;
polycrystalline;
functionalization;
22.
Motion Planning for an Adaptive Wing Structure with Macro-fiber Composite Actuators
机译:
具有宏观光纤复合执行器的自适应机翼结构的运动规划
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
trajectory planning;
feedforward control;
cantilever plate;
tracking;
flatness;
23.
Analysis of the Quality Factor of Piezoelectric-Actuated Micro-Resonators
机译:
压电致动微谐振器质量因子分析
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
quality factor;
resonators;
piezoelectric;
AlN;
24.
Characterization of the Intrinsic Stress in Micromachined Parylene Membranes
机译:
微加工素聚对二甲苯膜中固有应力的表征
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
MEMS;
parylene;
poly(chloro-p-xylylene);
interferometry;
FEM simulation;
material parameters;
25.
Power management circuit for resonant energy harvesters
机译:
用于谐振能量收割机的电源管理电路
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
power management;
low-power applications;
autonomous sources;
energy harvesting;
wireless sensors vibration sources;
energy storage;
26.
Coupled piezoelectric-circuit FEA to study influence of a resistive load on power output of piezoelectric energy devices
机译:
耦合压电电路FEA研究电阻负荷对压电能量装置电力输出的影响
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
finite element method (FEM);
vibration-based piezoelectric energy harvesting devices (EHDs);
coupled piezoelectric-circuit (CPC);
load characteristics;
27.
Silicon oxide sacrificial layers deposited by pulsed-DC magnetron sputtering for MEMS applications
机译:
用于MEMS应用的脉冲-DC磁控溅射沉积的氧化硅牺牲层
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
silicon oxide;
sputtering;
sacrificial layer;
surface micromachining;
high etch rate;
28.
Analytical characterization and experimental validation of performances of piezoelectric vibration energy scavengers
机译:
压电振动能量清除剂性能的分析特征及实验验证
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
energy scavenging;
shape optimization;
electromechanical coupling;
structural mechatronics;
piezoelectric materials;
experimental validation;
29.
A method for improving the drop test performance of a MEMS microphone
机译:
一种改进MEMS麦克风的掉落测试性能的方法
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
MEMS;
microphone;
frequency response;
drop test;
low pass;
CSMP;
30.
Deformation measurements of high speed MEMS with sub-picosecond pulses using combined digital holographic two-wavelength contouring and single phase reconstruction
机译:
利用组合数字全息两波长轮廓和单相重建,使用子皮秒脉冲的高速MEM的变形测量
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
phase measurement;
computer holography;
multiplex holography;
31.
Fast detection of air contaminants using immunobiological methods
机译:
使用免疫学方法快速检测空气污染物
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
indoor air quality;
microorganism;
immunobiological recognition;
fluorescence;
polymer substrate;
electrophoretic separation;
32.
Piezoresistive chemical sensors based on hydrogels
机译:
基于水凝胶的压阻性化学传感器
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
piezoresistive sensor;
biochemical sensor;
polyelectrolytic hydrogel;
pH-sensitive;
swelling behaviour;
33.
Adsorption-Desorption Noise in Plasmonic Chemical/Biological Sensors in Multiple Analyte Environment
机译:
多种分析物环境中等离子体化学/生物传感器中的吸附 - 解吸噪声
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
nanophotonics;
nanoplasmonics;
surface plasmon polaritons;
adsorption-desorption;
noise;
signal fluctuations;
sensors;
chemical sensing;
34.
Comparison Between A1N Thin Films with Different Crystal Orientation for MEMS Applications
机译:
MEMS应用不同晶体取向的A1N薄膜的比较
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
aluminium nitride;
thin film;
crystal structure;
piezoelectric constant;
micro-cantilever;
35.
FIB generated antimony nanowires as chemical sensors
机译:
FIB生成锑纳米线作为化学传感器
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
NWs;
antimony;
focused ion beam;
self assembling;
sensor;
36.
Reliability of Ag Thin Films Sputter Deposited on Silicon and Ceramic Based Substrates
机译:
Ag薄膜溅射沉积在硅和陶瓷基材上的可靠性
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
silver;
reliability;
LTCC;
electromigration;
37.
Fabrication and characterization of yttria-stabilized zirconia membranes for micro solid oxide fuel cells
机译:
用于微实氧化物燃料电池的氧化钇稳定氧化锆膜的制备与表征
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
micro solid oxide fuel cell (micro SOFC);
power MEMS;
yttria-stabilized zirconia (YSZ);
self-supported membranes;
microfabrication;
pulsed laser deposition (PLD);
38.
New transducer material concepts for biosensors and surface functionalization
机译:
生物传感器和表面官能化的新传感器材料概念
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
biosensors;
wide band gap materials;
ZnO;
SiC;
ISFET;
functionalization;
NO;
39.
Robust Superelastic, Metallic Amplification Unit for Piezoelectric Microactuators
机译:
压电微致动器的鲁棒超弹性,金属放大单元
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
piezoelectric microactuator;
amplification unit;
superelastic NiTi alloy;
40.
Ultrasonic Motor Model and Power Analysis for Industrial Mobile Applications
机译:
工业移动应用超声波电机模型及功率分析
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
actuators;
ultrasonic motor;
modeling;
41.
A new concept for dielectric elastomer actuators: hydrostatic coupling
机译:
介电弹性体执行器的新概念:静水压耦合
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
actuator;
dielectric elastomer;
EAP;
fluid;
hydrostatic;
liquid;
membrane;
42.
Ionic Polymer-Metal Composites (IPMCs) Containing Cu/Ni Electrodes and Ionic Liquids for Durability
机译:
离子聚合物 - 金属复合材料(IPMCs)含Cu / Ni电极和离子液体的耐用性
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
polymer-metal composite (IPMC);
ionic liquid;
blocking force;
displacement;
43.
ICP cryogenic dry etching for shallow and deep etching of silicon
机译:
ICP低温干蚀刻硅浅和深蚀刻
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
dry etching;
cryogenic;
cantilever;
mass sensing;
deep etching;
resonance frequency;
thermoelectric;
tactile;
44.
High-resolution eddy current sensor system
机译:
高分辨率涡流传感器系统
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
eddy current;
carbon fiber;
RCF;
CFRP;
fraunhofer;
IZFP;
45.
Packaging of MEMS Microphones
机译:
MEMS麦克风的包装
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
MEMS;
packaging;
MEMS packaging;
microphone;
flip chip;
chip size MEMS package;
CSMP;
chip size SAW package;
CSSP;
46.
Increasing Sensitivity of Vibration Energy Harvester
机译:
增加振动能量收割机的敏感性
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
energy harvesting;
vibration;
resonance;
quality factor;
vibration power generator;
47.
Influence of Back Pressure and Plasma Power on Grain Size, Phase Composition and Resistivity of Tantalum Thin Films
机译:
背压和等离子体功率对钽薄膜粒度,相位组成和电阻率的影响
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
tantalum;
sputtering;
porosity;
structure;
electrical resistivity;
48.
Voltage tuning of the resonance frequency of electroactive polymer membranes over a range of 75
机译:
电活性聚合物膜的共振频率的电压调谐在75%的范围内
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
resonance frequency tuning;
tunable resonators;
ion implantation;
dielectric electroactive polymer;
EAP;
DEAP;
DEA;
dielectric elastomer actuator;
artificial muscle;
49.
RF MEMS Switches Based on an Alloy of Aluminum-Silicon-Copper
机译:
RF MEMS基于铝 - 硅 - 铜合金开关
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
RF MEMS;
microswitch;
stress;
cantilever;
electrostatic actuation;
temperature stability;
aluminum-silicon-copper;
50.
Design and fabrication of self-assembling micromirror arrays
机译:
自组装微镜阵列的设计和制造
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
micromirrors;
daylight guiding;
large areas;
low cost approach;
51.
What happens turning a 250μm thin Piezo-stack sideways?
机译:
侧面转动250μm的压电堆会发生什么?
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
PZT;
piezoelectric;
membrane actuator;
52.
Novel measurement and monitoring system for forming processes based on piezoresistive thin film systems
机译:
基于压阻薄膜系统的形成过程的新型测量和监测系统
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
thin film sensor system;
piezoresistive;
deep drawing;
53.
Thermoelectric Thin Film Power Generators - Self-sustaining power supply for smart systems
机译:
热电薄膜发电机 - 智能系统的自维持电源
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
energy harvesting;
waste heat recovery;
wireless sensor system;
thermoelectric;
chip sized generators;
54.
Test-bed for the remote health monitoring system for bridge structures using FBG sensors
机译:
使用FBG传感器的桥梁结构远程健康监测系统试验床
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
|
2009年
关键词:
remote health monitoring system;
fiber bragg grating sensors;
test-bed;
bridge structures;
55.
Selective wet chemical etching of metallic thin films designed by Laser Interference Metallurgy (LIMET)
机译:
激光干涉冶金(米特)设计的金属薄膜选择性湿化学蚀刻
会议名称:
《Conference on smart sensors, actuators, and MEMS IV》
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2009年
关键词:
laser interference metallurgy (LIMET);
wet chemical etching;
metallic thin films;
microstructural design;
grain architecture;
Nd:YAG pulse laser;
recrystallization;
aqua regia;
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