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Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology
Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology
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1.
Projection displays and MEMS: timely convergence for a bright future
机译:
投影显示器和MEMS:及时收敛光明的未来
作者:
Larry J. Hornbeck
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
2.
Electroplated nickel mold insert for LIGA
机译:
用于LIGA的电镀镍模具插入件
作者:
Vikas Galhotra
;
Venkat Sangishetty
;
Evan Ma
;
Kevin W. Kelly
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
3.
Recent trends in silicon micromachining technology
机译:
最近硅微机械技术的趋势
作者:
Hal Jerman
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
4.
Novel silicon fabrication process for high-aspect-ratio micromachined parts
机译:
新型硅制造工艺,用于高纵横比微机械件
作者:
James G. Fleming
;
Carole C. Barron
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
5.
Examination of glass-silicon and glass-glass bonding techniques for microfluidic systems
机译:
用于微流体系统的玻璃 - 硅和玻璃玻璃粘合技术的检查
作者:
Norman F. Raley
;
J.C. Davidson
;
Joseph W. Balch
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
6.
Micromachining and focused ion beam etching of Si for accelerometers
机译:
用于加速度计的Si的微机器和聚焦离子束蚀刻
作者:
D.F. Moore
;
S.C. Burgess
;
H.-S. Chiang
;
H.Klaubert
;
N.Shibaike
;
T.Kiriyama
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
7.
Microchannel heat exchangers for advanced climate control
机译:
用于高级气候控制的微通道换热器
作者:
Peter M. Martin
;
Wendy D. Bennett
;
John W. Johnston
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
8.
Tunneling tip protection for a bulk micromachined accelerometer
机译:
用于散装微机械加速度计的隧道尖端保护
作者:
Paul M. Zavracky
;
Bob McClelland
;
Jianchao Wang
;
Frank T. Hartley
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
9.
Patterned eutectic bonding with Al/Ge thin films for MEMS
机译:
与MEMS的Al / Ge薄膜图案化键合
作者:
Paul M. Zavracky
;
Bao Vu
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
10.
Fabrication of bulk silicon holding structures for mounting of optical fibers in v-grooves
机译:
用于将光纤安装在V沟槽中的散装硅保持结构的制造
作者:
Carola Strandman
;
Ylva Baecklund
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
11.
Combined TMAH and HF sacrificial layer etching technique for surface micromachined devices
机译:
用于表面微机械装置的TMAH和HF牺牲层蚀刻技术
作者:
Thomas Lisec
;
Martin Kreutzer
;
Beatrice Wenk
;
Bernd Wagner
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
12.
Micromolded structures for integrated optical sensors
机译:
集成光学传感器的备用结构
作者:
Lothar U. Kempen
;
Rino E. Kunz
;
Michael T. Gale
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
13.
SOI-based micromechanical process
机译:
基于SOI的微机械过程
作者:
P.Greiff
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
14.
Out-of-plane microstructures using stress engineering of thin films
机译:
使用薄膜应力工程的平面外显微组织
作者:
Chia-Lun Tsai
;
Albert K. Henning
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
15.
Characterization of electroformed nickel microstructures
机译:
电铸镍微观结构的表征
作者:
Qian Shi
;
Shih-Chia Chang
;
Michael W. Putty
;
David B. Hicks
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
16.
Laser vibrometer system to examine the dynamic modal analysis of resonant micromechanical structures
机译:
激光振动器系统检查谐振微机械结构的动态模态分析
作者:
David Wood
;
J.S. Burdess
;
R.Pitcher
;
Alun J. Harris
;
Jane L. Cruickshank
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
17.
Novel low-stress SiO2-xFx film deposited by room-temperture liquid-phase deposition method
机译:
采用室温液相沉积法沉积新型低应力SiO2-XFX薄膜
作者:
Ching-Fa Yeh
;
Shyue-Shyh Lin
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
18.
Dry micromachining of high-aspect-ratio Si for microsensors
机译:
用于微传感器的高纵横比Si的干微机械
作者:
Stella W. Pang
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
19.
Infrastructure considerations for the emerging MEMS markets
机译:
新兴MEMS市场的基础设施考虑因素
作者:
Steven Walsh
;
Walid El Nadi
;
Robert Boylan
;
D.S. Narang
;
Robert O. Warrington
;
Alan Jung
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
20.
MEMS infrastructure: the multiuser MEMS processes (MUMPs)
机译:
MEMS基础架构:多用户MEMS进程(腮腺组)
作者:
Karen W. Markus
;
David A. Koester
;
Allen Cowen
;
Ramu Mahadevan
;
Vijay R. Dhuler
;
D.Roberson
;
L.Smith
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
21.
Deposition of thick zinc oxide films with a high resistivity
机译:
用高电阻率沉积厚氧化锌膜
作者:
Norbert Schwesinger
;
Heike Bartsch
;
Frank Moeller
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
22.
Material and processing issues for the monolithic integration of microelectronics with surface-micromachined polysilicon sensors and actuators
机译:
用表面微机械的多晶硅传感器和致动器的微电子单片集成的材料与处理问题
作者:
James H. Smith
;
Stephen Montague
;
Jeffry J. Sniegowski
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
23.
Novel high-power Nd:YLF laser for CVD-diamond micromachining
机译:
新型高功率Nd:用于CVD-金刚石微机械的YLF激光器
作者:
Ronald D. Schaeffer
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
24.
Advanced silicon etching using high-density plasmas
机译:
使用高密度等离子体的先进硅蚀刻
作者:
Jy Bhardwaj
;
H.Ashraf
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
25.
Laser LIGA: a cost-saving process for flexible production of microstructures
机译:
激光LIGA:一种节省成本的过程,可灵活生产微观结构
作者:
Michael Abraham
;
Johannes Arnold
;
Wolfgang Ehrfeld
;
K.Hesch
;
H.Moebius
;
T.Paatzsch
;
C.Schultz
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
26.
Study on mechanical characteristics of PZT thin film for sensors and actuators
机译:
传感器和致动器PZT薄膜力学特性研究
作者:
Shyuichi Wakabayashi
;
Hiromi Totani
;
Minoru Sakata
;
Masaaki Ikeda
;
Hiroshi Goto
;
Masashi Takeuchi
;
Tuneji Yada
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
27.
Surface microcomponents fabricated by UV depth lithography and electroplating
机译:
由UV深度光刻和电镀制造的表面微型组件
作者:
Bernd Loechel
;
Andreas Maciossek
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
28.
Injection molding of LIGA and LIGA-similar microstructures using filled and unfilled thermoplastics
机译:
使用填充和未填充的热塑性塑料注射LIGA和LIGA的微结构的注射成型
作者:
Robert Ruprecht
;
Walter Bacher
;
Juergen H. Hausselt
;
Volker Piotter
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
29.
Fabrication issues in micromachined tunable optical filters
机译:
微机械可调光学滤波器的制造问题
作者:
James F. Klemic
;
J. Marcos Sirota
;
Mehran Mehregany
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
30.
Design techniques for surface-micromachining MEMS processes
机译:
表面微机械线MEMS流程的设计技术
作者:
John H. Comtois
;
Victor M. Bright
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
31.
Deep x-ray lithography for micromechanics
机译:
微机械深X射线光刻
作者:
Todd R. Christenson
;
Henry Guckel
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
32.
Microstructuring by excimer laser
机译:
准分子激光器微观结构
作者:
Erol C. Harvey
;
Phil T. Rumsby
;
Malcolm C. Gower
;
Jason L. Remnant
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
33.
Mechanical loss measurements of vacuum-operated single-crystal silicon microresonators
机译:
真空操作的单晶硅微度器的机械损耗测量
作者:
Robert E. Mihailovich
;
Noel C. MacDonald
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1995年
34.
A single-sided multilevel structure for silicon pressure transducers by 'masked-maskless' etching technology
机译:
“掩盖 - 掩模”蚀刻技术的单面多级结构,用于硅压换能器
作者:
Heng Yang
;
Jianjun Ren
;
Minhang Bao
;
Shaoqun Shen
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Silicon;
Multilevel structure;
Pressure transducers;
Maskless etching;
35.
Automotive applications for micromachining
机译:
用于微机器的汽车应用
作者:
Douglas R. Sparks
;
Shih-Chia Chang
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Micromachine;
Pressure sensor;
Accelerometer;
Angular rate sensor;
Valve;
Nozzle;
LIGA;
Wafer bonding;
Etching;
Silicon;
36.
Anneal treatment studies of heavily boron-doped silicon
机译:
重型硼掺杂硅的退火处理研究
作者:
Denise M. Bruce
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Boron-doped silicon;
Post-diffusion anneal;
Curl in silicon;
37.
Micromachining technology development in SIOFM
机译:
SIOFM的微机械技术开发
作者:
Run-wen Wang
;
Bei-jun Shen
;
Hao Ding
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Laser Liga;
Projective lithophoton system;
Cold ablation effect;
Cantilevel beam of GaAs;
Sinuous vibration;
38.
Material structure and processes required for the manufacture of micromechanical devices
机译:
制造微机械装置所需的材料结构和工艺
作者:
K. Skrobis
;
J. Christenson
;
S. Staller
;
J. Freeman
;
P. Gadgil
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Polysilicon;
LIGA;
Deep anisotropic etching;
39.
Optical interferometric characterization of membrane curvature in boron doped Si microstructures
机译:
硼掺杂Si微结构中膜曲率的光学干涉表征
作者:
J. W. Weigold
;
W. H. Juan
;
S. W. Pang
;
J. T. Borenstein
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Dissolved wafer process;
Etch-diffusion process;
Frontside-release;
Stress measurement;
Interferometry;
Membrane curvature;
Boron doped silicon;
40.
Laser micromachined microchannel solvent separator
机译:
激光微机械微通道溶剂分离器
作者:
Dean W. Matson
;
Peter M. Martin
;
Wendy D. Bennett
;
Donald C. Stewart
;
John W. Johnston
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Micromachining;
Laser;
Membrane;
Separations;
Chemical;
41.
Assembly of hybrid micro systems in a large-chamber scanning electron microscope by use of mechanical grippers
机译:
通过使用机械夹具组装在大室扫描电子显微镜中的混合微系统
作者:
Manfred Weck
;
Joachim Hummler
;
Bernd Petersen
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Hybrid micro systems;
Micro assembly;
Grippers;
Scanning electron microscope (SEM);
42.
SAMPLE: (Sandia Agile MEMS Prototyping, Layout tools, and Education)
机译:
样本:(桑迪亚敏捷MEMS原型设计,布局工具和教育)
作者:
Carole Craig Barron
;
Brady R. Davies
;
Jeffry J. Sniegowski
;
M. Steven Rodgers
;
John H. Comtois
;
M. Adrian Michalicek
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Silicon micromachining;
Microelectromechanical systems (MEMS);
Surface micromachining;
Chemical-mechanical polishing (CMP);
43.
Microfabrication by through-mask electrochemical micromachining
机译:
通过通过掩模电化学微机械测量的微制造
作者:
Madhav Datta
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Electrochemical micromachining;
Microfabrication;
Controlled metal removal;
Greener processing;
Current distribution;
Electrolpolishing;
Precision nozzles;
Circuitization;
Cone connectors;
Through-hole patterns;
44.
Ion sputter deposition of shape memory alloy films for microactuators
机译:
微致动器形状记忆合金薄膜的离子溅射沉积
作者:
S. T. Davies
;
K. Tsuchiya
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Shape memory alloy;
Microactuator;
TiNi thin film;
Ion sputter deposition;
45.
Yield enhancement in micromechanical sensor fabrication using statistical process control
机译:
使用统计过程控制产生微机械传感器制造的产量增强
作者:
Jeffrey T. Borenstein
;
Douglas M. Preble
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Statistical process control;
Micromachining;
Yield;
Silicon sensors;
Process capability;
Control charts;
46.
Influence of processes and selective bonding technology
机译:
过程和选择性粘合技术的影响
作者:
J. Jiao
;
A. Berthold
;
M. J. Vellekoop
;
P. J. French
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Selective bonding;
Surface treatment;
CVD;
Micro-valve;
47.
Development of a silicon microprobe for no detection
机译:
开发硅微探针,无检测
作者:
Marcelo B. A. Fontes
;
Jorge Santiago-Aviles
;
Rogerio Furlan
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Silicon microprobe;
Silicon micromachining;
Electrochemical sensor;
Amperometric detection;
NO activity;
48.
Fabrication techniques and their application to produce novel micromachined structures and devices using excimer laser projection
机译:
制造技术及其应用于生产新型微机械结构和使用准分子激光投影的装置
作者:
Erol C. Harvey
;
Phil T. Rumsby
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Excimer lasers;
Micromachining;
Laser-LIGA;
49.
Wide bandwidth silicon nitride membrane microphones
机译:
宽带宽氮化硅膜麦克风
作者:
Brian T. Cunningham
;
Jonathan J. Bernstein
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Micromachined microphone;
Silicon nitride membrane;
Corrugated membrane;
50.
Design of bulk micromachined suspensions
机译:
散装微机械悬浮液设计
作者:
Weileun Fang
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Microsuspension;
Microbridge;
Undercutting;
Front-side etch;
51.
Ultraprecision microelectroforming of metals and metal alloys
机译:
金属和金属合金的超自眼微电子
作者:
Holger Lowe
;
Wolfgang Ehrfeld
;
Jorg Diebel
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
LIGA;
Microelectroforming;
Micromolding;
Alloys;
μ-EDM;
Nanostructured surfaces;
52.
Micromechanical structures and microelectronics for acceleration sensing
机译:
用于加速度感测的微机械结构和微电子
作者:
Brady R. Davies
;
Stephen Montague
;
James H. Smith
;
Mark Lemkin
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Micromachined sensors;
Capacitive sensors;
Accelerometer;
53.
Microfabrication technologies for microsystems
机译:
微型制造技术MicroSystems
作者:
Nico F. de Rooij
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Microfabrication;
Microsystems;
MEMS;
Nanoscience;
Reflective modulator;
Microelectrode array;
Optical fiber switch;
Micromotor;
Microfluidics;
Bio-electrochemical systems;
54.
Wet chemical isotropic etching procedures of silicon - a possibility for the production of deep structured microcomponents
机译:
硅湿化学各向同性蚀刻程序 - 生产深层结构性微包装的可能性
作者:
Norbert Schwesinger
;
Arne Albrecht
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Silicon;
Wet etching;
Isotropic etchants;
Masking materials;
Etch rates;
Anisotropic profiles;
55.
High aspect ratio etching in polymer for microactuator applications
机译:
用于微致动器应用的聚合物中的高纵横比蚀刻
作者:
W. Y. Lee
;
J. Gao
;
T. Hirano
;
S. Chan
;
L. S. Fan
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
High aspect ratio polymer etching;
Inductively coupled plasma;
Microactuator;
56.
Microcomposite electroforming for MEMS technology
机译:
MEMS技术的微量聚合物电铸
作者:
Shinn-Horng Yeh
;
C. Y. Liue
;
Jih Wen Wang
;
Min-Chieh Chou
;
Shu-Ling Hou
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Composite coating;
Composite plating;
Electroforming;
Ceramic powder;
Ultrafine powder;
57.
Macro porous silicon formation for micromachining
机译:
微机械线宏观多孔硅形成
作者:
Hiroshi Ohji
;
Sami Lahteenmaki
;
Patrick J. French
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Porous silicon;
Micromachining;
Wet etching;
58.
10 μm thin GaAs membrane manufactured by nonselective etching
机译:
由非选择性蚀刻制造的10μm薄的GaAs膜
作者:
A. Muller
;
Ioana Petrini
;
V. Avramescu
;
S. Iordanescu
;
R. Marcelli
;
V. Fogllieti
;
M. Dragoman
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Gallium arsenide;
Micromachining;
Membrane;
Etching;
Microwave circuits;
Sensors;
59.
New developments of process technologies for microfabrication
机译:
微制造工艺技术的新发展
作者:
V. Piotter
;
T. Hanemann
;
R. Ruprecht
;
A. Thies
;
J. Bausselt
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Microsystems technology;
Injection molding;
LIGA;
Electroforming;
MIM;
Photopolymerization;
60.
IC compatible fabrication of through-wafer conductive vias
机译:
IC兼容通过晶片导电通孔的制造
作者:
Jean Gobet
;
Jean-Philippe Thiebaud
;
Francois Crevoisier
;
Jean-Marc Moret
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Through-wafer vias;
Through-holes in silicon;
Back-side contacts;
Anisotropic plasma etching of silicon;
Parylene;
61.
Balance-approach for mechanical properties test of micro fabricated structure
机译:
微型制造结构机械性能试验的平衡方法
作者:
Xingguo Xiong
;
Qiang Zou
;
Deren Lu
;
Weiyuan Wang
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Micromechanism;
The Young's modulus;
Capacitive accelerometer;
62.
Micromachining of metals and ceramics by nano- and picosecond laser radiation
机译:
纳米和PICOSECOND激光辐射通过金属和陶瓷微机械线
作者:
J. Jandeleit
;
A. Horn
;
E. W. Kreutz
;
R. Poprawe
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Micromachining;
Material processing;
Short pulse laser radiation;
Siliconnitride;
Siliconcarbide;
Tungstencarbide;
63.
Growth and crystallinity of electroformed nickel structures
机译:
电铸镍结构的生长和结晶度
作者:
Shih-Chia Chang
;
John Edens
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Electroform;
Nickel;
Crystallinity;
X-ray;
TEM;
64.
Optical applications of silicon micromachining technology
机译:
硅微机械技术的光学应用
作者:
G. Trott
;
L. Yang
;
K. Carey
;
R. Ratowsky
;
J. S. Kallman
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Optoelectronic packaging;
Silicon optical bench;
Laser submounts;
Laser packaging;
Lasers;
Ball lenses;
65.
Structure design and fabrication of symmetric force-balance micromachining capacitive accelerometer
机译:
对称力平衡微机械加速度计的结构设计与制造
作者:
Qiang Zou
;
Deren Lu
;
Baoqing Li
;
Xingguo Xiong
;
Bin Xiong
;
Weiyuan Wang
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Micromachining;
Maskless anisotropic etching;
Accelerometer;
66.
Focused ion beam system for automated MEMS prototyping and processing
机译:
用于自动MEMS原型设计和处理的聚焦离子束系统
作者:
Gregory J. Athas
;
Kathryn E. Noll
;
Russell Mello
;
Raymond Hill
;
Don Yansen
;
Frank F. Wenners
;
James P. Nadeau
;
Tuan Ngo
;
Michael Siebers
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Focused ion beam;
MEMS;
Thin film heads;
Pattern recognition;
67.
Strain effects in multi-layers
机译:
多层的应变效应
作者:
C. M. A. Ashruf
;
P. J. French
;
C. de Boer
;
P. M. Sarro
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Stress;
Strain;
LPCVD poly-silicon;
LPCVD silicon-nitride;
Surface-micromachining;
68.
Comprehensive study of processing parameters influencing the stress and stress gradient of thick polysilicon layers
机译:
影响厚多晶硅层应力和应力梯度的处理参数综合研究
作者:
Matthias Furtsch
;
Michael Offenberg
;
Horst Muenzel
;
Juan R. Morante
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Polysilicon;
Epipoly;
Stress gradient;
Stress;
Oxygen;
Annealing;
Partial pressure;
Texture;
69.
Precise micro-nanomachining for advanced sensors
机译:
高级传感器的精确微纳米芯片线
作者:
Masayoshi Esashi
;
Takahito Ono
;
Kazuyuki Minami
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1997年
关键词:
Micromachining;
Nanomachining;
Sensor packaging;
Capacitive sensors;
Resonant sensors;
Pressure sensors;
Vacuum sensors;
Accelerometers;
Angular rate sensors;
AFM probes;
70.
Economic fabrication of microscale features in thick resists using scanning projection lithography
机译:
使用扫描投影光刻厚抗蚀剂的微观特征经济制造
作者:
Marvin M. Kilgo Ⅲ
;
Chuck Williams
;
Dan Constantinide
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
MEMS;
Manufacturing;
Photoresist;
Microfluidic;
71.
Laser welding: providing alignment precision and accuracy to substrate level packaging
机译:
激光焊接:为基板级包装提供对准精度和精度
作者:
Joe Brown
;
Nickolaus Maier
;
Kim Y. Lee
;
Lorenz Ziegltrum
;
Jim St Leger
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
MEMS;
MST;
Aligned bonding;
Alignment;
Bonding;
Anodic bond;
72.
Excimer laser micromachining of structures using SU-8
机译:
使用SU-8的结构激光微机械线
作者:
Muralidhar K. Ghantasala
;
Erol C. Harvey
;
Dinesh K. Sood
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
Excimer laser;
SU-8;
Laser micromachining;
High aspect ratio structures;
Laser fluence;
Etch rate;
Prebake;
Gear structures;
73.
Novel fabrication and simple hybridization of exotic material MEMS
机译:
外来材料的新型制造和简单的杂交
作者:
S. Rajic
;
P. G. Datskos
;
I. Datskou
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
Exotic materials;
Hybridization;
MEMS;
MOEMS;
Microsensors;
74.
Processing variable for the reduction on MEMS devices
机译:
处理变量,用于减少MEMS设备
作者:
Heidi Denton
;
Michael Davison
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
Microelectromechanical systems;
Stiction;
Marangoni;
Micromachined;
Surface micromachining;
75.
Various uses of ion chromatography in the manufacture of MEMS
机译:
离子色谱在MEMS制造中的各种用途
作者:
Beverly Newton
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
Ion chromatography;
Corrosion;
Plating;
Ions;
Testing;
Analysis;
76.
Electrokinetic microfluidic systems
机译:
电动微流体系统
作者:
Luc Bousse
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
Microchip;
Integrated microfluidics;
Biochemical assay;
77.
Micropattern fabrication by specially designed micro tool
机译:
通过专门设计的微工具进行微图案制造
作者:
Ismau Aoki
;
Toshinori Takahashi
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
78.
Innovations in molding technologies for microfabrication
机译:
微型制造模型技术的创新
作者:
T. Benzler
;
V. Piotter
;
T. Hanemann
;
K. Mueller
;
P. Norajitra
;
R. Ruprecht
;
J. Hausselt
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
Micromolding;
Injection molding;
LIGA;
Simulation;
Microoptics;
Microfluidics;
Powder injection molding;
Power metallurgy;
Ceramic microparts;
Photomolding;
79.
Which etchant used and whether an etching mask exists: how they make differences on convex-corner undercutting configuration and compensation criteria
机译:
使用哪种蚀刻剂以及是否存在蚀刻面罩:如何对凸角削弱配置和补偿标准进行差异
作者:
Xinxin Li
;
Rongming Lin
;
Jianmin Miao
;
Minhang Bao
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
Anisotropic etching;
Convex-corner undercutting;
Etching mask;
Etchant;
Silicon;
Micro-machining;
80.
Materials characterization for MEMS-a comparison of uniaxial and bending tests
机译:
MEMS的材料表征 - 单轴和弯曲试验的比较
作者:
G. C. Johnson
;
P. T. Jones
;
R. T. Howe
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
MEMS;
Microelectromechanical systems;
Materials characterization;
Brittle fracture;
Polycrystalline silicon;
Weibull distribution;
Statistical characterization;
81.
Femtosecond pulse laser ablation and surface microstructuring of aluminum alloy 2024
机译:
铝合金2024的飞秒脉冲激光烧蚀和表面微结构
作者:
Kai Dou
;
Robert Parkhill
;
Edward T. Knobbe
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
Laser microstructuring;
Laser ablation;
Surface texturing;
Aluminum;
Thermodynamics;
Laser-matter interaction;
82.
Ion beam sputter deposition of TiNi shape memory alloy thin films
机译:
TINI形状记忆合金薄膜的离子束溅射沉积
作者:
S. T. Davies
;
K. Tsuchiya
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
Shape memory alloy;
TiNi;
Ion beam sputter deposition;
Thin films;
83.
W-coating for MEMS
机译:
W-涂层MEMS
作者:
S. S. Mani
;
J. G. Fleming
;
J. J. Sniegowski
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
Hard coating;
Tungsten;
MEMS;
84.
Materials characterization for MEMS: a comparison of uniaxial and bending tests
机译:
MEMS的材料表征:单轴和弯曲试验的比较
作者:
George C. Johnson
;
Peter T. Jones
;
Roger T. Howe
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
85.
Femtosecond-pulse laser ablation and surface microstructuring of aluminum alloy 2024
机译:
铝合金2024的飞秒脉冲激光烧蚀和表面微结构
作者:
Kai Dou
;
Robert L. Parkhill
;
Edward T. Knobbe
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
86.
Effects of metal impurities on the etch rate selectivity (110) (111) in (110) Si anisotropic etching
机译:
金属杂质对蚀刻速率选择性(110)(111)的影响(110)Si各向异性蚀刻
作者:
Yoshiaki Hirata
;
Masahiro Tsugai
;
Koji Tanimoto
;
Teruo Usami
;
Yasuo Yamaguchi
;
Hiroshi Otani
;
Kunihiro Nakamura
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
Anisotropic etching;
KOH etching;
Metal impurity;
(110) silicon;
Bulk micromachining;
87.
Micropattern fabrication by a specially designed microtool
机译:
MicroPattern由专门设计的微池制造
作者:
Isamu Aoki
;
Toshinori Takahashi
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
88.
Scalpel mask blank fabrication
机译:
手术刀面具空白制作
作者:
T. E. Saunders
;
M. I. Blakey
;
C. Caminos
;
G. R. Bogart
;
R. C. Farrow
;
C. S. Knurek
;
A. Kornblit
;
J. A. Liddle
;
A. E. Novembre
;
M. L. Peabody
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
Fabrication techniques;
Materials compatibility;
Process integration;
Wafer level structures;
Yield management;
89.
Evidence of dislocations for the control of roughness of highly thermal boron-doped diffused silicon layers
机译:
用于控制高热硼 - 掺杂扩散硅层的粗糙度脱位的证据
作者:
Elena Manea
;
Ralu Divan
;
Ileana Cernica
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
Micromachining;
Silicon;
Etch-stop;
Thermal deposition process;
Annealing treatments;
Dislocations;
90.
New fabrication methodology for fine-feature high-aspect-ratio structures made from high-Z materials
机译:
新型制造方法,用于高Z材料制成的细型高纵横比结构
作者:
Upendra D. Desai
;
Larry E. Orwig
;
David Clark
;
Michael Appleby
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
91.
Study of the development behaviour of irradiated foils and microstructure
机译:
辐照箔和微观结构的发展行为研究
作者:
P. Meyer
;
A. El-Kholi
;
J. Mohr
;
C. Cremers
;
F. Bouamrance
;
S. Megtert
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
LIGA process;
Deep X-ray lithography;
Development process;
Development rate;
Microstructure;
92.
Development behavior of irradiated foils and microstructures
机译:
辐照箔和微观结构的发展行为
作者:
Pascal Meyer
;
Aida El-Kholi
;
Juergen Mohr
;
Clifford Cremers
;
Faycal Bouamrane
;
Stephan Megtert
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
93.
Fabrication of plastic microparts on wafer level
机译:
晶圆水平塑料微粉的制造
作者:
Lutz Weber
;
Wolfgang Ehrfeld
;
Marc Begemann
;
Udo Berg
;
Frank Michel
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
Micromolding;
Plastics;
Wafer;
Batch fabrication;
Plastic-wafer-technology (PWT);
94.
Pulsed laser deposited coatings for stiction and wear reduction in MEMS devices
机译:
脉冲激光沉积涂层,用于MEMS器件的静态和磨损
作者:
J. S. Pelt
;
M. E. Ramsey
;
R. Magana Jr.
;
E. Poindexter Jr.
;
M. P. de Boer
;
D. A. La Van
;
M. T. Dugger
;
J. H. Smith
;
S. M. Durbin
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
MEMS;
Hydrophobic;
Pulsed laser deposition;
Silicon carbide;
Carbon nitride;
Boron nitride;
Nanoindentation nanohardness;
Stiction;
95.
Pulsed-laser-deposited coatings for stiction and wear reduction in MEMS devices
机译:
脉冲激光沉积涂层,用于MEMS器件的静态和磨损
作者:
Jamey S. Pelt
;
M.E. Ramsey
;
R.Magana
;
E.Poindexter
;
Maarten P. de Boer
;
David A. LaVan
;
Michael T. Dugger
;
James H. Smith
;
Steven M. Durbin
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
96.
Resolution enhancement techniques for submicron deep trench processes
机译:
亚微米深沟槽过程的分辨率增强技术
作者:
Lijun Tong
;
Joyce Hsiang
;
Kevin Lin
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
Thick photoresist photolithography;
Deep trench;
Thin film heads;
And process latitude;
97.
Standard postprocessing technique for fabrication of large microsuspended structures in CMOS
机译:
标准的后处理技术,用于在CMOS中制造大型微悬位结构
作者:
Bahram Ghodsian
;
Veljko Milanovic
;
Orlando Villavicencio
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
98.
Standard post-processing technique for fabrication of large micro-suspended structures in CMOS
机译:
标准后处理技术,用于在CMOS中制造大型微悬浮结构
作者:
Bahram Ghodsian
;
V. Milanovic
;
O. Villavicencio
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
MEMS;
CMOS;
Xenon difluoride;
RF-MEMS;
Suspended structures;
99.
Etch-stop in germanium induced by ion implantation for bulk micromachining applications in IR domain
机译:
在IR畴内散装微机械加工应用的离子注入诱导的锗中的蚀刻停止
作者:
Ralu Divan
;
Ileana Cernica
;
Elena Manea
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
Germanium;
Ion implantation;
Rebuilding;
Micromachining;
Anisotropic etching;
TRIM simulation program;
X-ray diffraction;
100.
New fabrication methodology for fine feature-high aspect ratio structures made from high Z materials
机译:
新型制造方法,用于精细特征 - 高纵横比结构,由高Z材料制成
作者:
Upendra Desai
;
Larry Orwig
;
David Clark
;
Michael Appleby
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
1999年
关键词:
Coded apertures;
Collimators;
Imaging;
X-ray;
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