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AEC/APC Symposium
AEC/APC Symposium
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1.
Data-Driven Tool Architectures - the Gateway to Quality Equipment Data - (PPT)
机译:
数据驱动的工具架构 - 质量设备数据的网关 - (PPT)
作者:
Glen Gilchrist
;
Larry Bourget
;
Kourosh Vahdani
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
2.
Gate Module APC for 65 90nm Process under Highly Mixed Manufacturing Fab - (PPT)
机译:
高度混合制造FAB下的65和90nm工艺栅极模块APC - (PPT)
作者:
Insik Chin
;
Kyoungwook Youn
;
Younghee Lee
;
Kayc Kim
;
Sungshin Lee
;
Chanseung Choi
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
关键词:
Module process APC;
Furnace process;
Etch process;
Ion implantation process;
CVD process;
3.
Optimum Sensor Selection and Utilization Technique for Plasma Etching
机译:
等离子蚀刻的最佳传感器选择和利用技术
作者:
Kye Hyun Baek
;
Yongjin Kim
;
Yoon Jae Kim
;
Changjin Kang
;
Woosung Han
;
Joo Tae Moon
;
Thomas F. Edgar
;
Xiaoliang Zhuang
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
4.
Real Time Wafer Particle Monitoring for CVD Process - (PPT)
机译:
CVD过程的实时晶圆粒子监测 - (PPT)
作者:
Jun Shien Lin
;
Kewei Zuo
;
Chih-Wei Lai
;
Chi-Chun Hsieh
;
Francis Ko
;
Henry Lo
;
Jean Wang
;
C. H. Yu
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
5.
Identifying Root Cause of Systemic Yield Loss Using Model-based Yield Analysis - (PPT)
机译:
基于模型的收益率分析识别系统产量损失的根本原因 - (PPT)
作者:
William Martin
;
Jay Ouyang
;
An Carlson
;
Len Labua
;
Mike Plisinski
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
6.
Quantifying Noise in Closed Loop Run-to-Run Control Applications - (PPT)
机译:
闭环运行到运行控制应用中的噪声 - (PPT)
作者:
Matthew Purdy
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
7.
Solving the General Multi-Context Control Problem - (PPT)
机译:
解决一般的多语境控制问题 - (PPT)
作者:
Nital S. Pate
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
8.
Optimization in Run-to-Run Control - (PPT)
机译:
运行控制中的优化 - (PPT)
作者:
Courtney K. Hanish
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
9.
Automatic Construction Of Model-Based Multivariate Controllers: Principles, And Application To Temperature Control Of A Rapid Thermal Processing Tool - (PPT)
机译:
基于模型的多变量控制器的自动构建:原理和快速热处理工具温度控制的应用 - (PPT)
作者:
Jeffrey M. Parker
;
Mark K. Ekblad
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
10.
Model-Based Control and Virtual Sensing with Application to a Vertical Furnace - (PPT)
机译:
基于模型的控制和虚拟感应与垂直炉的应用 - (PPT)
作者:
J. L. Ebert
;
N. Acharya
;
D. de Roover
;
A. Emami-Naeini
;
R. L. Kosut
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
11.
Enabling PCM Prediction and Control using FDC Data - (PPT)
机译:
使用FDC数据启用PCM预测和控制 - (PPT)
作者:
Hideki Matsuhashi
;
Jenny Bai
;
Weldom Xie
;
Patrick Fernandez
;
Luong Ngo
;
Gilles Huron
;
Michael Herndon
;
Jerome Besnard
;
Mike Williamson
;
Spencer Graves
;
Nobuchika Akiya
;
Michael Yu
;
Jim Jensen
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
12.
Using standard Parametric Test data for non-intrusive monitoring of electrical test equipments - (PPT)
机译:
使用标准参数测试数据进行电气测试设备的非侵入式监控 - (PPT)
作者:
Jean-Luc Fillon
;
Matthieu Quoirin
;
Regis Vert
;
Rodrigo Fernandez
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
关键词:
Electrical Tests;
Tester health monitoring;
Probe card health monitoring;
Machine Learning;
13.
Two use of wavelet in fault detection: Preprocessing and analysis - (PPT)
机译:
两次在故障检测中使用小波:预处理和分析 - (PPT)
作者:
Jonghyuck Park
;
Junseok Kim
;
Sanghoon Park
;
Sung-shick Kim
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
14.
Recipe and Parameter Management (RaP) Development Process and Tools: Techniques for Leveraging a Robust Reference Implementation - (PPT)
机译:
配方和参数管理(RAP)开发过程和工具:用于利用强大的参考实现的技术 - (PPT)
作者:
Alan Weber
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
15.
Design of APC System for 300mm Film Processes and Its Application to Highly Mixed Mass-production Fab. - (PPT)
机译:
300mm薄膜工艺APC系统的设计及其在高混合大规模生产工厂的应用。 - (PPT)
作者:
Kyoung Wook Youn
;
Insik Chin
;
Younghee Lee
;
Kayc Kim
;
Kwangjae Lee
;
Sukhee Lee
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
关键词:
APC;
Furnace process;
CVD process;
Sputtering process;
16.
Virtual Metrology Technique for the Prediction of PECVD Thickness in AMOLED Manufacturing - (PPT)
机译:
AMOLED制造中PECVD厚度预测的虚拟计量技术 - (PPT)
作者:
Won-Hyouk Jang
;
Sung Hoon Kim
;
Hyo Jin Han
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
17.
Yield Management Enhanced Advanced Process Control - (PPT)
机译:
产量管理增强高级过程控制 - (PPT)
作者:
James Moyne
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
18.
Feed-Forward Run-to-Run Control to Reduce Parametric Transistor Variation for 65 nm Technology
机译:
前馈运行控制以减少65 nm技术的参数晶体管变化
作者:
Severine MARQUET
;
Sabrina KOHLER
;
Franck ARNAUD
;
Cyrille LAVIRON
;
Francois PASQUALINI
;
Vincent TIRARD
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
19.
Novel Fault Detection and Classification Method for High-Mix Semiconductor Manufacturing Processes - (PPT)
机译:
高混合半导体制造工艺的新型故障检测与分类方法 - (PPT)
作者:
Young-Hak Lee
;
Jong-Hyun Lee
;
Munhee Lee
;
Taejin Yun
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
关键词:
FDC;
MSPC;
High-Mix Manufacturing;
20.
Dynamic Sampling in Automated Process Control - (PPT)
机译:
自动过程控制中的动态采样 - (PPT)
作者:
John Stuber
;
Chris Harrison
;
Hyung Lee
;
Thomas F. Edgar
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
21.
FDC application in Wet area: EtchRate test reduction - (PPT)
机译:
FDC应用在潮湿区域:蚀刻试验减少 - (PPT)
作者:
Roberto BUCARI
;
Giuseppe FAZIO
;
Luca PASTORI
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
22.
Introducing a Unified PCA Algorithm for Model Size Reduction - (PPT)
机译:
介绍统一PCA算法,用于造型尺寸减小 - (PPT)
作者:
Richard Good
;
Daniel Kost
;
Greg Cherry
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
23.
Method for Calculating Variable Influences on the Mahalanobis Distance - (PPT)
机译:
计算Mahalanobis距离的变量影响的方法 - (PPT)
作者:
Girish Ghimire
;
Todd Stutts
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
24.
New Technique for Generating OES Emissions for Semiconductor Process Control - (PPT)
机译:
半导体过程控制OES排放的新技术 - (PPT)
作者:
Jimmie Hosch
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
25.
Predictive diagnostics for plasma power delivery systems - (PPT)
机译:
等离子电力输送系统的预测诊断 - (PPT)
作者:
Dan Carter
;
Randy Heckman
;
Victor Brouk
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
26.
Metrology Prediction Based on Recursive PLS Algorithm - (PPT)
机译:
基于递归PLS算法的计量预测 - (PPT)
作者:
Young-Hak Lee
;
Hakchul Shin
;
Jong-Hyun Lee
;
Seok Rip Kang
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
关键词:
Model Update;
Recursive PLS;
27.
R2R loop implementation methodology for Gate Patterning in an industrial environment - (PPT)
机译:
R2R环路实施方法在工业环境中的门图案化 - (PPT)
作者:
L. Babaud
;
E. Aparicio
;
P. Gourand
;
B. Le-Gratiet
;
K. Dabertrand
;
S. Marqaet
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
28.
Performance Testing Manufacturing Execution System (MES) - (PPT)
机译:
性能测试制造执行系统(MES) - (PPT)
作者:
Susanta Dash
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
29.
Smart Sampling - Intricate Balance of Integrated Process Variability Control with Manufacturing Moves in a dynamic Technology-Product-Mix Environment - (PPT)
机译:
智能采样 - 具有动态技术 - 产品混合环境中的制造综合处理变异控制的复杂平衡 - (PPT)
作者:
KUMAR Sanjay
;
THANGAPPAN Krishnamurthi
;
Quek Meng Yong
;
Lim Chet Ping
;
Yong Chee Meng
;
Tang Howard
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
30.
APPLICATION OF MULTIVARIABLE CONTROL IN WAFER-TO-WAFER CONTROL OF PLASMA ETCHING SYSTEMS - (PPT)
机译:
多变量控制在等离子体蚀刻系统晶片到晶圆控制中的应用 - (PPT)
作者:
Blake Parkinson
;
Hyung Lee
;
Thomas Edgar
;
Merritt Funk
;
Dan Prager
;
Radha Sundararajan
;
Asao Yamashita
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
关键词:
APC;
SISO;
MISO;
MIMO;
Optimization;
Integrated metrology;
NRGA;
RGA;
31.
Loading Effect Model and Automation - (PPT)
机译:
加载效果模型和自动化 - (PPT)
作者:
Chen Hui
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
32.
Model-Based Control for Precise Blending of Semiconductor Processing Solutions - (PPT)
机译:
基于模型的控制控制,精确混合半导体处理解决方案 - (PPT)
作者:
Matthew Fowler
;
Thomas F. Edgar
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
33.
Adaption of Multivariate Control for Semiconductor Processes - (PPT)
机译:
半导体过程的多变量控制适应 - (PPT)
作者:
Tamara Byrne
;
Joe Byrne
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
34.
APC - A System Integrator's Perspective - (PPT)
机译:
APC - 系统集成商的透视 - (PPT)
作者:
Thomas Muller
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
35.
Endpoint Detection with an RF Detector
机译:
具有RF检测器的端点检测
作者:
Michael Bonner
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
36.
Arc Detection in RF Plasma Systems - (PPT)
机译:
射频等离子体系统中的电弧检测 - (PPT)
作者:
Dave Coumou
;
Ray Choueiry
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
37.
Factory-wide EDA Data Quality Performance Simulation for APC Capabilities Analysis - (PPT)
机译:
用于APC能力分析的工厂宽的EDA数据质量仿真 - (PPT)
作者:
Sulaiman Hussaini
;
Ya-Shian Li-Baboud
;
James Moyne
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
38.
ADAPTIVELY TUNED VARIABLE-STRUCTURE EWMA CONTROL - (PPT)
机译:
自适应调整的可变结构EWMA控制 - (PPT)
作者:
Zhijie Sun
;
S. Joe Qin
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
关键词:
Run-to-run control;
EWMA;
Double EWMA;
Disturbance modeling;
Optimal control;
39.
Automated Testing Strategies for Real-Time Embedded Medical Systems - (PPT)
机译:
实时嵌入式医疗系统的自动测试策略 - (PPT)
作者:
Tim Bosch
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
40.
A Thru-Window Remote Wafer Temperature Sensing Technology and Its Applications In Process Monitoring - (PPT)
机译:
通过窗口远程晶片温度传感技术及其在过程监测中的应用 - (PPT)
作者:
MEi-WEI TSAO
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
41.
Monitoring plasma stability using PCA-based methods on OES data in etching processes - (PPT)
机译:
使用基于PCA的方法监视等离子体稳定性在蚀刻过程中的OES数据上 - (PPT)
作者:
Il-Gyo Chong
;
Soo-Yeon Jeong
;
Keun-Hee Bai
;
Yongjin Kim
;
Byounghoon Seung
;
Jisoong Park
;
Hyukjoo Kwon
;
Chanuk Jeon
;
Hanku Cho
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
42.
High-speed RF Arc Detection in Etch Processing - (PPT)
机译:
蚀刻处理中的高速RF电弧检测 - (PPT)
作者:
Michael Bonner
;
WeiGuang Wang
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
43.
PRINTING ASSESSMENT AND SCATTEROMETRY CALIBRATION OF PROBE PATTERN GRATING FOCUS MONITOR - (PPT)
机译:
探针图案光栅焦点监测器的印刷评估和散射校准 - (PPT)
作者:
Jing Xue
;
Andrew R. Neureuther
;
Costas J. Spanos
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
关键词:
Focus monitor;
Electric field spill over;
Interferometric probe;
Scatterometry;
ODP;
44.
Assessment of Industry Research Priorities for Intelligent Sensors and Control - (PPT)
机译:
评估智能传感器和控制的行业研究优先级 - (PPT)
作者:
Ya-Shian Li-Baboud
;
Alan Weber
;
Paul McGuire
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
45.
300mm Prime: Reaching for the Next Generation Factory Vision with 300M Classic Techniques - (PPT)
机译:
300mm Prime:达到下一代工厂愿景,具有300米的经典技术 - (PPT)
作者:
Rebecca Cooper
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
46.
Using a Compact Process Monitor (CPM) Residual Gas Analyzer to Optimize Tool Throughput at Rapid Thermal Anneal - (PPT)
机译:
使用紧凑的过程监视器(CPM)残留的气体分析仪在快速热退火时优化工具吞吐量 - (PPT)
作者:
Courtney Fowler
;
Michael Neel
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
47.
Fault Detection Benefits for Metrology Equipment - (PPT)
机译:
计量设备的故障检测益处 - (PPT)
作者:
Matthew Castelo
;
Jasen Moffitt
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
48.
Data Quality Initiative for Accurate and Precise Decision-Making - (PPT)
机译:
准确和精确决策的数据质量倡议 - (PPT)
作者:
Gino Crispieri
;
Harvey Wohlwend
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
49.
Recipe Management Strategies for Next Generation Factories - (PPT)
机译:
下一代工厂的食谱管理策略 - (PPT)
作者:
Lance Rist
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
50.
Radio Frequency Optical Emission - (PPT)
机译:
射频光发射 - (PPT)
作者:
Herb Litvak
;
Gary Powell
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
51.
Study on the Gate Oxide Reliability Degradation by Metal Pad Etch-Induced Plasma Damage on Charge Pumping Transistor in Flash Memory Devices
机译:
金属焊盘蚀刻型等离子体损伤在闪存器件中电荷泵送晶体管损伤的栅极氧化物可靠性降解研究
作者:
Jeongyun Lee
;
Wan Jae Park
;
Haksun Lee
;
Dong Hwan Kim
;
Jung Dong Choi
;
Kyoungsub Shin
;
Il Sup Chung
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
关键词:
Plasma damage;
Metal pad;
Flash memory;
FN stress;
Charge trap;
Simple-plasma-damage-monitoring;
Protection diode;
Reliability;
Plasma non-uniformity;
52.
A Novel Non-threaded FDC Framework for High-Mix Semiconductor Manufacturing - (PPT)
机译:
一种用于高混合半导体制造的新型非线性FDC框架 - (PPT)
作者:
Q. Peter He
;
Jin Wang
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
53.
Control of Multi-zone Thermal Processing System in Lithography
机译:
光刻中多区热处理系统的控制
作者:
Low Hui Qing Elysia
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
关键词:
Lithography;
Temperature Control;
Ratio Control;
Generalized Predictive Control;
54.
Principles for Writing SEMI Standards - (PPT)
机译:
编写半标题的原则 - (PPT)
作者:
Chris Winemiller
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
55.
Semiconductor APC: What does the third decade hold? - (PPT)
机译:
半导体APC:第三十年举行什么? - (PPT)
作者:
Alan Weber
会议名称:
《AEC/APC Symposium》
|
2011年
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