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Annual semiconductor pure water and chemicals conference
Annual semiconductor pure water and chemicals conference
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1.
Performance Characteristics of Membrane Pre-filters
机译:
膜预滤波器的性能特征
作者:
Christopher Shields
会议名称:
《Annual semiconductor pure water and chemicals conference》
|
2003年
2.
Post-CMP Cleaning of Hydrophilic and Hydrophobic Films Using Aqueous Assisted Co_2 Cryogenic Cleaning
机译:
使用含水辅助CO_2低温清洗后CMP清洗亲水和疏水膜
作者:
Souvik Banerjee
;
Andrea Via
;
Harlan F. Chung
;
Robert Small
;
Cass Shang
会议名称:
《Annual semiconductor pure water and chemicals conference》
|
2003年
3.
STI Ceria Slurries: Challenges for Post CMP Cleaning Processes
机译:
STI Ceria Slurries:CMP清洁过程后的挑战
作者:
Robert Small
;
Pascal Berar
;
Brandon Scott
;
Cass Shang
会议名称:
《Annual semiconductor pure water and chemicals conference》
|
2003年
4.
Resolution of Permeation Issues in Liquid-handling Systems
机译:
液体处理系统中渗透问题的解决
作者:
Don Grant
会议名称:
《Annual semiconductor pure water and chemicals conference》
|
2003年
5.
On-Line Monitoring Of BTA In Copper CMP
机译:
铜CMP中BTA的在线监测
作者:
Todd A. Cerni
会议名称:
《Annual semiconductor pure water and chemicals conference》
|
2003年
6.
Characterization of Organics in UPW with LC-OCD (Liquid Chromatography ― Organic Carbon Detection) Using Sample Pre-Concentration: Preliminary Results
机译:
使用样品预浓度的LC-OCD(液相色谱 - 有机碳检测)对有机物的特征:初步结果
作者:
Stefan A. Huber
会议名称:
《Annual semiconductor pure water and chemicals conference》
|
2003年
7.
Particle Performance of Modified SC-1 Solutions
机译:
改性SC-1解决方案的粒子性能
作者:
Christopher Beaudry
;
Jennifer Baker
;
Steven Verhaverbeke
会议名称:
《Annual semiconductor pure water and chemicals conference》
|
2003年
8.
The Anticipated Behavior of Bubbles in Semiconductor Process Liquids
机译:
半导体工艺液体中气泡的预期行为
作者:
Don Grant
会议名称:
《Annual semiconductor pure water and chemicals conference》
|
2003年
9.
A Fast Auto-titration Method to Determine the Content of BTA in Slurry
机译:
一种快速自动滴定方法,以确定浆料中BTA的含量
作者:
Berry S. R. Tseng
;
C. F. Wang
;
Richard Wu
;
S. L. Chen
会议名称:
《Annual semiconductor pure water and chemicals conference》
|
2003年
10.
Surface Electrical Charge on a Liquid-Dispensed Spinning Wafer in Single-Wafer Wet Processing
机译:
单晶片湿法加工中液体分配的旋转晶片上的表面电荷
作者:
Han-Wen Chen
;
Steven Verhaverbeke
;
Fadzli Hassan
;
Renhe Jia
会议名称:
《Annual semiconductor pure water and chemicals conference》
|
2003年
11.
Determination of Anions on Silicon Wafer by Vapor Phase Decomposition - Ion Chromatography
机译:
气相分解 - 离子色谱法测定硅晶片阴离子
作者:
I. H. Chang
;
Berry S. R. Tseng
;
S. J. Chang
;
S. L. Chen
会议名称:
《Annual semiconductor pure water and chemicals conference》
|
2003年
12.
Selective Wet Etching for High-K Material by Organic Solvent Containing Hydrofluoric Acid
机译:
通过含有氢氟酸的有机溶剂的高k材料选择性湿法蚀刻
作者:
Dasiuke. Watanabe
;
Hiroshi. Momota
;
Takehiko. Kezuka
;
Takashi. Kanemura
;
Mitsushi. Itano
;
Deborah Riley
;
Joel Barnett
会议名称:
《Annual semiconductor pure water and chemicals conference》
|
2003年
13.
Contamination Monitoring of Semiconductor Processes by VPD HR-ICPMS
机译:
VPD HR-ICPMS的半导体过程污染监测
作者:
Meike Hamester
;
Juergen Lerche
;
Anton Huber
会议名称:
《Annual semiconductor pure water and chemicals conference》
|
2003年
14.
Correlation of HF Assay and Standard-Free ICP-MS Determination of Trace Metals in Process Chemicals
机译:
HF测定和无标准ICP-MS的相关性测定过程化学品中痕量金属的测定
作者:
Y. P. Lin
;
Y. P. Fun
;
W. S. Lai
;
Y. J. Tseng
;
Y. L. Lo
;
Y. C. Ka
;
S. C. Huang
;
S. F. Tseng
;
C. L. Chen
;
S. C. Yang
;
K. H. Fan
;
S. H. Liu
;
S. L. Chen
会议名称:
《Annual semiconductor pure water and chemicals conference》
|
2003年
15.
Obtaining Greater Process Control While Minimizing Particle Contamination
机译:
在最小化粒子污染的同时获得更大的过程控制
作者:
Chuck Gould
会议名称:
《Annual semiconductor pure water and chemicals conference》
|
2003年
16.
Purification of Wet Etch and Cleaning Chemicals and DI Rinse water Using High Performance Membrane Purifiers
机译:
使用高性能膜净化器纯化湿蚀刻和清洁化学品和DI漂洗水
作者:
Bipin Parekh
;
Yukio Hashimoto
;
Mutsuhiro Amari
会议名称:
《Annual semiconductor pure water and chemicals conference》
|
2003年
17.
Improvements in Advanced Gate Oxide Electrical Performance by the use of an Ozonated Water Clean Process
机译:
通过使用臭氧水清洁工艺进行先进的栅极氧化物电气性能的改进
作者:
Joel Barnett
;
Naim Moumen
;
Deborah Riley
;
Christiane Gottschalk
会议名称:
《Annual semiconductor pure water and chemicals conference》
|
2003年
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