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Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems
Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems
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1.
Optical System Properties of a Reconfigurable MEMS Interconnect
机译:
可重新配置MEMS互连的光学系统属性
作者:
S.A. Kemme
;
O.B. Spahn
;
F.R. Gass
;
D.J. Dagel
;
G. Grossetete
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
optical MEMS;
MOEMS;
optical interconnects;
micro-mirrors;
surface micromachining;
2.
DWDM variable attenuator and multiple-channel power equalizer using MEMS technology
机译:
DWDM可变衰减器和多通道功率均衡器使用MEMS技术
作者:
A. Q. Liu
;
X. M. Zhang
;
C. W. Chan
;
C. S. Thian
;
F. Wang
;
C. Lu
;
Z. S. Liu
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
variable optical attenuator (VOA);
optical MEMS;
DWDM;
fibre-optic communication;
3.
Integrated Optical Monitoring of MEMS for Closed-Loop Control
机译:
用于闭环控制的MEMS的集成光学监控
作者:
J. M. Dawson
;
L. Wang
;
W.B. McCormick
;
S.A. Rittenhouse
;
P. F. Famouri
;
L. A. Hornak
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
MEMS;
integrated optical moitoring;
diffractive optics;
fault tolerance;
linear control;
4.
Design and Fabrication of a Continuous Membrane Deformable Mirror
机译:
连续膜可变形镜的设计和制作
作者:
Jay A. Hammer
;
Michele R. Banish
;
Michael R. Whitley
;
Zhili Hao
;
Keith O. Warren
;
Sharon Sanchez
;
John Harchanko
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
deformable mirror;
vertical comb drive;
membrane;
adaptive optics;
5.
MOEMS device design, development and integration for interconnect applications
机译:
互连应用程序的MoEMS设备设计,开发和集成
作者:
James Castracane
;
Bai Xu
;
Seth Madison
;
Jaap Verheggen
;
Dong Yan
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
MOEMS;
nanotechnology;
diffraction gratings;
optical scanner;
optical interconnect;
6.
THIN FILM TECHNOLOGY BASED MICRO-FOURIER SPECTROMETER
机译:
基于薄膜技术的微傅里叶光谱仪
作者:
D. Knipp
;
H. Stiebig
;
S.R. Bhalotra
;
H.L. Kung
;
D.A.B. Miller
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
fourier spectrometer;
spectrometer;
thin films;
optical sensor;
multispectral imaging;
MEMS;
7.
SOI/DRIE All-Fiber Optical Switch for High Power Applications
机译:
高功率应用的SOI / DRIE全光纤光开关
作者:
Jing Liu
;
Lawrence Fan
;
Don L. DeVoe
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
optical switching;
power transfer;
fiber optics;
8.
Development of 1x4 micro optical switch based on SOI vertical micromirror technology
机译:
基于SOI垂直微镜技术的1x4微光开关的开发
作者:
ZF Wang
;
XC Shan
;
ZP Wang
;
WQ Cao
;
JF Xu
;
SP Lim
;
W Noell
;
N de Rooij
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
micro-optical-electro-mechanic system (MOEMS);
fiber optical switch;
deep reactive ion etching (DRIE);
silicon-on-insulator (SOI);
9.
Novel optoelectronic methodology for testing of MOEMS
机译:
用于测试MoEMS的新型光电方法
作者:
Ryszard J. Pryputniewicz
;
Cosme Furlong
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
emerging technologies;
MEMS;
multiphysics analysis;
submicron deformations;
optoelectronic methodology;
micromirror device;
testing of MOEMS;
10.
DLP~(TM) Switched Blaze Grating; the Heart of Optical Signal Processing
机译:
DLP〜(TM)开关发光光栅;光信号处理的核心
作者:
Walter Duncan
;
Benjamin Lee
;
Paul Rancuret
;
Bryce Sawyers
;
Lynn Endsley
;
Don Powell
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
11.
Micromachined near-field probe arrays
机译:
Micromachined近场探针阵列
作者:
Pradeep Srinivasan
;
Fred R. Beyette
;
Ian Papautsky
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
near-field optics;
optical MEMS;
data storage;
tapered glass fiber arrays;
fluorescent imaging;
12.
A Micromachined Deformable Mirror for Adaptive Optics
机译:
用于自适应光学器件的微机械可变形镜
作者:
Wilfrid Schwartz
;
Claire Divoux
;
Jacques Margail
;
Laurent Jocou
;
Julien Charton
;
Eric Stadler
;
Thomas Jager
;
Fabrice Casset
;
T. Enot
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
adaptive optics;
MEMS;
MOEMS;
deformable mirror;
electrostatic actuator;
13.
Development of 1 * 4 micro optical switch based on SOI vertical micromirror technology
机译:
基于SOI垂直微镜技术的1 * 4微型光学开关的开发
作者:
ZF Wang
;
XC Shan
;
ZP Wang
;
WQ Cao
;
JF XU
;
SP Lim
;
W Noell
;
N de Rooij
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
micro-optical-electro-mechanic system (MOEMS);
fiber optical switch;
deep reactive ion etching (DRIE);
silicon-insulator (SOI);
14.
Electrostatically actuated membrane mirrors for adaptive optics
机译:
适自适应光学静电膜镜
作者:
Peter Kurczynski
;
Gregory R. Bogart
;
Warren Y-C. Lai
;
Victor Lifton
;
William M. Mansfield
;
J. Anthony Tyson
;
Bernard Sadoulet
;
David R. Williams
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
adaptive optics;
MEMS;
MOEMS;
optical MEMS;
micromirrors;
deformable mirrors;
15.
Improved Vision by Eye Aberration Correction using an Active-Matrix Addressed Micromirror Array
机译:
使用Active-Matrix寻址微镜阵列通过眼睛像差校正改善了视觉
作者:
Andreas Gehner
;
Michael Wildenhain
;
Wolfgang Doleschal
;
Andreas Elgner
;
Harald Schenk
;
Hubert Lakner
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
adaptive optics;
wavefront correction;
eye aberration;
vision science;
spatial light modulator;
piston-type micromirrors;
surface micromachining;
active-matrix addressing;
MOEMS;
16.
Stress and Curvature in MEMS Mirrors
机译:
MEMS镜中的压力和曲率
作者:
Fawn R. Gass
;
Daryl J. Dagel
;
David P. Adams
;
Grant D. Grossetete
;
Olga Blum Spahn
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
MEMS;
micro-mirrors;
stress gradient;
residual stress;
curvature;
SUMMiT~(TM) process;
17.
Characterization of Spatial Light Modulators for Micro Lithography
机译:
微光刻空间光调制器的表征
作者:
Peter Duerr
;
Ulrike Dauderstaedt
;
Detlef Kunze
;
Marine Auvert
;
Thor Bakke
;
Harald Schenk
;
Hubert Lakner
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
optical MEMS;
spatial light modulator;
DUV;
uniformity of deflection;
18.
Nodal model for continuous face sheet deformable mirrors
机译:
连续面板可变形镜的节点模型
作者:
Alexandros P. Papavasiliouauthor_name/
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
adaptive optics;
spatial light modulators;
deformable mirrors;
nodal analysis;
19.
Technological approaches for fabrication of elastomer based spatial light modulators
机译:
基于弹性体的空间光调制器的制造技术方法
作者:
S.Sakarya
;
G.Vdovin
;
P.M.Sarro
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
spatial light modulators;
SLMs;
MOEMS;
displays;
viscoelastic layers;
elastomers;
20.
Micropackaging Technologies for Integrated Microsystems: Applications to MEMS and MOEMS
机译:
集成MicroSystems的微量化技术:MEMS和MEMS的应用
作者:
Khalil Najafiauthor_name/
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
21.
Single-Chip 1x84 MEMS Mirror Array For Optical Telecommunication Applications
机译:
用于光电信应用的单芯片1x84 MEMS镜像阵列
作者:
Thor Juneau
;
Tony Chen
;
Tim Brosnihan
;
Swaminathan Rajaraman
;
Kevin Chau
;
Mike Judy
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
MEMS;
MOEMS;
mirror;
optics;
SOI;
22.
European Roadmaps for MOEMS Applications
机译:
欧姆斯应用程序的欧洲路线图
作者:
Patric R. Salomonauthor_name/
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
MEMS;
NEXUS;
roadmap;
manufacturing;
microsystem;
technology;
europe;
MOEMS;
foundry;
design;
23.
Concept, Modeling and Fabrication Techniques for Large-Stroke Piezoelectric Unimorph Deformable Mirrors
机译:
大冲程压电维护可变形镜的概念,建模与制造技术
作者:
Eui-Hyeok Yang
;
Kirill Shcheglov
;
Susan Trolier-McKinstry
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
deformable mirror (DM);
microelectromechanical systems (MEMS);
adaptive optics (AO);
piezoelectric actuator;
unimorph membrane;
continuous mirror;
wafer-scale membrane transfer;
24.
Fiber optic switch concept with analog micromirror device
机译:
光纤开关概念与模拟微镜器件
作者:
Christine Lausch
;
Rolf Goering
;
Frank Wippermann
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
multimode;
fiber optic switch;
analog micromirror;
large core fiber;
25.
Widely tunable lasers using MEMS gratings and mirrors
机译:
使用MEMS光栅和镜子的广泛可调激光器
作者:
X. M. Zhang
;
J. Li
;
D. Y. Tang
;
C. Lu
;
A. Q. Liu
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
tunable laser;
external-cavity tunable laser;
blazed grating;
DWDM;
optical MEMS;
26.
Out-of-plane, rotary micromirrors for reconfigurable photonic applications
机译:
用于可重新配置的光子应用的平面外,旋转微镜
作者:
Daryl J. Dagel
;
Olga Blum Spahn
;
James J. Allen
;
Shanalyn A. Kemme
;
Grant D. Grossetete
;
Fawn R. Gass
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
MEMS;
MOEMS;
micromirrors;
surface micromachining;
SUMMiT V~(TM);
27.
MEMS and MOEMS for National Security Applications
机译:
用于国家安全应用的MEMS和MOEMS
作者:
Marion Scottauthor_name/
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
MOEMS;
MEMS;
microsystems;
national security;
defense;
market strategy;
commercialization roadmap;
28.
High-power optical micro switch fabricated by deep reactive ion etching (DRIE)
机译:
深度反应离子蚀刻(Drie)制造的高功率光学微型开关
作者:
Kevin R. Cochran
;
Lawrence Fan
;
Don L. DeVoe
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
DRIE;
micro optical switch;
Samp;
A;
thermal actuator;
comb drive;
MOEMS;
29.
A Miniature Thermoacoustic Cryo-cooler Driven by a Vertical Comb-Drive
机译:
由垂直梳状驱动驱动的微型热声冷冻机
作者:
Zhili Hao
;
Mark Fowler
;
Jay Hammer
;
Michael Whitley
;
David Brown
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
thermoacoustic;
vertical comb-drive;
gray scale technology;
cryogenic cooling;
heat transfer;
30.
MEMS spatial light modulators with integrated electronics
机译:
MEMS具有集成电子产品的空间光调制器
作者:
Thomas Becker
;
Thomas Bifano
;
Hocheol Lee
;
Michele Miller
;
Paul Bierden
;
Steven Cornelissen
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
spatial light modulator;
MEMS;
micromirror;
31.
Single-Chip 1 * 84 MEMS Mirror Array For Optical Telecommunication Applications
机译:
单芯片1 * 84 MEMS光电信应用镜阵列
作者:
Thor Juneau
;
Tony Chen
;
Tim Brosnihan
;
Swaminathan Rajaraman
;
Kevin Chau
;
Mike Judy
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
MEMS;
MOEMS;
mirror;
optics;
SOI;
32.
Measurement of thermal-mechanical noise in MEMS microstructures
机译:
MEMS微结构中热机械噪声的测量
作者:
T. H. Stievater
;
W. S. Rabinovich
;
H. S. Newman
;
R. Mahon
;
P. G. Goetz
;
J. L. Ebel
;
D. J. McGee
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
MEMS, MOEMS;
optical MEMS;
thermal-mechanical noise;
microcavity;
interferometry;
33.
Novel Micro Fiber Spectrometer
机译:
新型微纤维光谱仪
作者:
Zhiyu Wen
;
Gang Chen
;
Shanglian Huang
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
micro spectrometer;
holographic concave grating;
spectrum;
34.
A Tunable Fabry-Perot-Interferometer for 3 - 4.5 μm Wavelength with Bulk Micromachined Reflector Carrier
机译:
用于3-4.5μm波长的可调谐法布里 - 珀罗干涉仪,散装微机械反射器载体
作者:
Steffen Kurth
;
Karla Miller
;
Norbert Neumann
;
Matthias Heinze
;
Wolfram Doetzel
;
Thomas Gessner
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
spectrometer;
interferometer;
tunable optical filter;
dielectric layer stack;
35.
A Micromachined VOA with Perpendicularly Aligned Tapered Optic Fibers
机译:
具有垂直对齐的锥形光纤的微机械型VOA
作者:
Sungcheon Jung
;
Yoonshik Hong
;
Junghyun Lee
;
Yeoungyu Lee
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
VOA;
a micromirror with ultra-smooth surface;
the optical characteristics;
optical fiber alignment;
36.
NEXUS: Roadmaps Applications
机译:
Nexus:路线图和应用
作者:
Ayman El-Fatatryauthor_name/
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
37.
Microelectromechanical optical switch
机译:
微机电光学开关
作者:
Nikolay Mukhurov
;
Georgy Efremov
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
MOEMS;
electrostatic;
optic;
micro-switching devices;
38.
Fabrication of Micromachined Focusing Mirrors with Seamless Reflective Surface
机译:
使用无缝反射表面的微机械聚焦镜的制造
作者:
Max Ti-Kuang Hou
;
Ke-Min Liao
;
Hong-Zhen Yeh
;
Bo-Wen Cheng
;
Pei-Yuan Hong
;
Rongshun Chen
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
MOEMS;
reflective elements;
focusing micromirrors;
thermal actuator;
micro bilayer structure;
39.
Off-axis variable focus and aberration control mirrors
机译:
轴外可变焦点和像差控制镜
作者:
Phillip A. Himmer
;
David L. Dickensheets
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
off-axis;
elliptical;
deformable mirror;
variable focus;
MEMS;
MOEMS;
micro-optics;
40.
A Micromachined In-Plane Tunable Optical Filter Using Thermo-Optic Effect
机译:
使用热视光效应的微机芯线式可调滤光器
作者:
Sung Sik Yun
;
Jong Hyun Lee
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
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2003年
关键词:
MEMS;
tunable optical filter (TOF);
thermo-optic effect;
vertically etched;
in-plane fiber alignment;
41.
Operation of spatial light modulators in DUV light
机译:
杜夫光线光调制器的操作
作者:
Ulrike Dauderstaedt
;
Peter Duerr
;
Mathias Krellmann
;
Tord Karlin
;
Uldis Berzinsh
;
Lars Leonardsson
;
Horst Wendrock
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
|
2003年
关键词:
optical MEMS;
spatial light modulator;
DUV;
42.
MOEMS spatial light modulator development at the Center for Adaptive Optics
机译:
自适应光学中心的MOEMS空间光调制器开发
作者:
Peter Krulevitch
;
Paul Bierden
;
Thomas Bifano
;
Emily Carr
;
Clara Dimas
;
Harold Dyson
;
Michael Helmbrecht
;
Peter Kurczynski
;
Richard Muller
;
Scot Olivier
;
Yves-Alain Peter
;
Bernard Sadoulet
;
Olav Solgaard
;
E.H. Yang
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
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2003年
关键词:
center for adaptive optics;
spatial light modulator;
adaptive optics;
astronomy;
vision science;
43.
Bionics: Precise color tuning by interference in nature and technology ― applications in surface-micromachined 1.55μm vertical air-cavity filters
机译:
仿生学:精确的颜色调整自然和技术的干扰 - 表面微磨1.55μm立式空气腔滤波器中的应用
作者:
H. Hillmer
;
J. Daleiden
;
C. Prott
;
S. Irmer
;
F. Roemer
;
E. Ataro
;
A. Tarraf
;
H. Ruehling
;
M. Maniak
;
M. Strassner
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
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2003年
关键词:
surface micromachining;
electrostatic tuning;
optical micro-cavity filters;
scaling;
bionics;
butterfly colors;
44.
Large-Scale Pohysilicon Surface Micro-Machined Spatial Light Modulator
机译:
大型Pohysilicon表面微加工的空间光调制器
作者:
Clara Dimas
;
Julie Perreault
;
Steven Cornelissen
;
Harold Dyson
;
Peter Krulevitch
;
Paul Bierden
;
Thomas Bifano
会议名称:
《Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers Conference on MOEMS and Miniaturized Systems》
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2003年
关键词:
spatial light modulators;
micro mirrors;
actuator frequency response;
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