掌桥科研
一站式科研服务平台
科技查新
收录引用
专题文献代查
外文数据库(机构版)
更多产品
首页
成为会员
我要充值
退出
我的积分:
中文会员
开通
中文文献批量获取
外文会员
开通
外文文献批量获取
我的订单
会员中心
我的包量
我的余额
登录/注册
文献导航
中文期刊
>
中文会议
>
中文学位
>
中国专利
>
外文期刊
>
外文会议
>
外文学位
>
外国专利
>
外文OA文献
>
外文科技报告
>
中文图书
>
外文图书
>
工业技术
基础科学
医药卫生
农业科学
教科文艺
经济财政
社会科学
哲学政法
其他
工业技术
基础科学
医药卫生
农业科学
教科文艺
经济财政
社会科学
哲学政法
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
马克思主义、列宁主义、毛泽东思想、邓小平理论
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
文化、科学、教育、体育
语言、文字
文学
艺术
历史、地理
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
生物科学
医药、卫生
农业科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
综合性图书
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
美国国防部AD报告
美国能源部DE报告
美国航空航天局NASA报告
美国商务部PB报告
外军国防科技报告
美国国防部
美国参联会主席指示
美国海军
美国空军
美国陆军
美国海军陆战队
美国国防技术信息中心(DTIC)
美军标
美国航空航天局(NASA)
战略与国际研究中心
美国国土安全数字图书馆
美国科学研究出版社
兰德公司
美国政府问责局
香港科技大学图书馆
美国海军研究生院图书馆
OALIB数据库
在线学术档案数据库
数字空间系统
剑桥大学机构知识库
欧洲核子研究中心机构库
美国密西根大学论文库
美国政府出版局(GPO)
加利福尼亚大学数字图书馆
美国国家学术出版社
美国国防大学出版社
美国能源部文献库
美国国防高级研究计划局
美国陆军协会
美国陆军研究实验室
英国空军
美国国家科学基金会
美国战略与国际研究中心-导弹威胁网
美国科学与国际安全研究所
法国国际关系战略研究院
法国国际关系研究所
国际宇航联合会
美国防务日报
国会研究处
美国海运司令部
北约
盟军快速反应部队
北约浅水行动卓越中心
北约盟军地面部队司令部
北约通信信息局
北约稳定政策卓越中心
美国国会研究服务处
美国国防预算办公室
美国陆军技术手册
一般OA
科技期刊论文
科技会议论文
图书
科技报告
科技专著
标准
其它
美国卫生研究院文献
分子生物学
神经科学
药学
外科
临床神经病学
肿瘤学
细胞生物学
遗传学
公共卫生&环境&职业病
应用微生物学
全科医学
免疫学
动物学
精神病学
兽医学
心血管
放射&核医学&医学影像学
儿科
医学进展
微生物学
护理学
生物学
牙科&口腔外科
毒理学
生理学
医院管理
妇产科学
病理学
生化技术
胃肠&肝脏病学
运动科学
心理学
营养学
血液学
泌尿科学&肾病学
生物医学工程
感染病
生物物理学
矫形
外周血管病
药物化学
皮肤病学
康复学
眼科学
行为科学
呼吸学
进化生物学
老年医学
耳鼻喉科学
发育生物学
寄生虫学
病毒学
医学实验室检查技术
生殖生物学
风湿病学
麻醉学
危重病护理
生物材料
移植
医学情报
其他学科
人类生活必需品
作业;运输
化学;冶金
纺织;造纸
固定建筑物
机械工程;照明;加热;武器;爆破
物理
电学
人类生活必需品
作业;运输
化学;冶金
纺织;造纸
固定建筑物
机械工程;照明;加热;武器;爆破
物理
电学
马克思主义、列宁主义、毛泽东思想、邓小平理论
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
文化、科学、教育、体育
语言、文字
文学
艺术
历史、地理
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
生物科学
医药、卫生
农业科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
综合性图书
主题
主题
题名
作者
关键词
摘要
高级搜索 >
外文期刊
外文会议
外文学位
外国专利
外文图书
外文OA文献
中文期刊
中文会议
中文学位
中国专利
中文图书
外文科技报告
清除
历史搜索
清空历史
首页
>
外文会议
>
Conference on micromachining and microfabrication process technology
Conference on micromachining and microfabrication process technology
召开年:
1998
召开地:
Santa Clara, CA(US)
出版时间:
-
会议文集:
-
会议论文
热门论文
全部论文
全选(
0
)
清除
导出
1.
Anisotropic etching of (111)-oriented silicon and a
机译:
(111)取向硅和硅的各向异性刻蚀
作者:
Bruce C. Chou
;
Precision Instrument Development Ctr.
;
Hsinchu
;
Taiwan
;
Chun-Nan Chen
;
National Chiao Tung Univ.
;
Hsinchu
;
Taiwan
;
Jin S. Shie
;
National Chiao Tung Univ.
;
Hsinchu
;
Taiwan
;
Wen-Hsiung Huang
;
Precision Instrument Development Ctr.
;
Hsinchu
;
Taiwan
;
Chien-Jen Chen
;
Precision Instrument Development Ctr.
;
Hsinchu
;
Taiwan.
会议名称:
《》
|
1998年
2.
Automatic microassembly of radar sensors for automotive a
机译:
汽车微雷达传感器的自动微装配
作者:
M.Nienhaus
;
Institut fuer Mikrotechnik Mainz GmbH
;
Mainz
;
Germany
;
Wolfgang Ehrfeld
;
Institut fuer Mikrotechnik Mainz GmbH
;
Mainz
;
Germany
;
Frank Michel
;
Institut fuer Mikrotechnik Mainz GmbH
;
Mainz
;
Germany
;
V.Graeff
;
Institut fuer Mikrotechnik Mainz GmbH
;
Mainz
;
Germany
;
Andrej Wolf
;
Institut fuer Mikrotechnik Mainz GmbH
;
Mainz
;
Germany.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
3.
Diffusion-induced dislocations in highly boron-doped silicon layers used for bulk micromachining a
机译:
高扩散硼掺杂硅层中的扩散诱导位错,用于体微加工
作者:
Florin Gaiseanu
;
National Institute for Research
;
Development of Mi crotechnology
;
Bellaterra
;
Spain
;
Jaume Esteve
;
Ctr. Nacional de Microelectronica
;
Bellaterra
;
Spain
;
Gudrun Kissinger
;
Institute of Semiconductor Physics
;
Frankfurt Oder
;
Germany
;
D.Kruger
;
Institute of Semiconductor Physics
;
Frankfurt Oder
;
Germany.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
4.
MEMS assembly a
机译:
MEMS组装
作者:
Dunwu Lu
;
Shanghai Institute of Optics
;
Fine Mechanics
;
Shanghai
;
China
;
Huijie Huang
;
Shanghai Institute of Optics
;
Fine Mechanics
;
Shanghai
;
China
;
Beijun Shen
;
Shanghai Institute of Optics
;
Fine Mechanics
;
Shanghai
;
China
;
Liangmin Yang
;
Shanghai Institute of Optics
;
Fine Mechanics
;
Shanghai
;
China
;
Zengshui Liu
;
Shanghai Institute of Optics
;
Fine Mechanics
;
Shanghai
;
China
;
Longlong Du
;
Shanghai Institute of Optics
;
Fine Mechanics
;
Shanghai
;
China.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
5.
Advanced silicon trench etching in MEMS a
机译:
MEMS中的先进硅沟槽蚀刻
作者:
Karl Kuehl
;
Fraunhofer-Institut fuer Festkoerpertechnologie
;
Muenchen
;
Germany
;
Stefan Vogel
;
Fraunhofer-Institut fuer Festkoerpertechnologie
;
Muenchen
;
Germany
;
Ulrich Schaber
;
Fraunhofer-Institut fuer Festkoerpertechnologie
;
Muenchen
;
Germany
;
Rainer Schafflik
;
Surface Technology Systems GmbH
;
Ulm
;
Germany
;
Bernhard Hillerich
;
Fraunhofer-Institut fuer Festkoerpertechnologie
;
Muenchen
;
Germany.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
6.
Fabrication of polycrystalline diamond film resonators
机译:
多晶金刚石薄膜谐振器的制造
作者:
Xiaodong Wang
;
Shanghai Institute of Metallurgy
;
Shanghai
;
China
;
Yirong Yang
;
Shanghai Institute of Metallurgy
;
Shanghai
;
China
;
Jianfang Xie
;
Shanghai Institute of Metallurgy
;
Shanghai
;
China
;
Weiyuan Wang
;
Shanghai Institute of Metallurgy
;
Shanghai
;
China
;
Zongxin Ren
;
Shanghai Institute of Metallurgy
;
Shanghai
;
China.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
7.
Antistiction coatings for surface micromachines
机译:
表面微机械的防粘涂料
作者:
Roya Maboudian
;
Univ. of California/Berkeley
;
Univ of Calif
;
CA
;
USA.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
8.
Galvanic etching of silicon
机译:
硅的电腐蚀
作者:
Colin M. Ashruf
;
Delft Univ. of Technology
;
Delft
;
Netherlands
;
Patrick J. French
;
Delft Univ. of Technology
;
Delft
;
Netherlands
;
Pasqualina M. Sarro
;
Delft Univ. of Technology
;
Delft
;
Netherlands
;
John J. Kelly
;
Utrecht Univ.
;
Utrecht
;
Netherlands.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
9.
Microstructures fabricated by laser-induced polymerization
机译:
激光诱导聚合制备的微结构
作者:
Xinming Huang
;
Resonetics
;
Inc.
;
Nashua
;
NH
;
USA
;
Robert O. Warrington
;
Jr.
;
Michigan Technological Univ.
;
Houghton
;
MI
;
USA
;
Craig R. Friedrich
;
Michigan Technological Univ.
;
Houghton
;
MI
;
USA.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
10.
Fabrication of binary microlens array by excimer laser micromachining
机译:
准分子激光微加工技术制备二元微透镜阵列
作者:
Author(s): Frank H. Lin Precision Instrument Development Ctr. and National Ch iao Tung Univ. Hsinchu Taiwan
;
J.H. Huang National Chiao Tung Univ. Hsinchu Taiwan
;
Eric H. Chou Precision Instrument Development Ctr. Hsinchu Taiwan
;
Chii-Rong Yang Precision Instrument Development Ctr. Hsinchu Taiwan
;
Bruce C. Chou Precision Instrument Development Ctr. Hsinchu Taiwan
;
Roger G. Luo Precision Instrument Development Ctr. Hsinchu Taiwan
;
Wen-Kai Kuo Precision Instrument Development Ctr. Hsinchu Taiwan
;
Jer-Wei Chang Precision Instrument Development Ctr. Hsinchu Taiwan
;
Mao-Hong Lu National Chiao Tung Univ. Hsinchu Taiwan
;
Wen-Hsiung Huang Precision Instrument Development Ctr. Hsinchu Taiwan
;
Chien-Jen Chen Precision Instrument Development Ctr. Hsinchu Taiwan.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
11.
Combining the best of bulk and surface micromachining using Si (111) substrates
机译:
使用Si(111)基板结合最佳的体和表面微加工
作者:
James G. Fleming
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
12.
Development of a microforming system using mold technology and cutting technology
机译:
利用模具技术和切割技术开发微成型系统
作者:
Isamu Aoki
;
Kanagawa Univ.
;
Yokohama
;
Japan
;
Toshinori Takahashi
;
Kanagawa Univ.
;
Yokohama
;
Japan.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
13.
Finding markets for microstructures
机译:
寻找微结构市场
作者:
James W. Knutti
;
Extar Corp.
;
Fremont
;
CA
;
USA.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
14.
High-aspect-ratio fine-line metallization
机译:
高纵横比细线金属化
作者:
Chienliu Chang
;
National Taiwan Univ.
;
Taipei
;
Taiwan
;
Peizen Chang
;
National Taiwan Univ.
;
Taipei
;
Taiwan
;
Kaihsiang Yen
;
National Taiwan Univ.
;
Taipei
;
Taiwan
;
Sheyshi Lu
;
National Taiwan Univ.
;
Taipei
;
Taiwan.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
15.
Microfabricated silicon gas chromatographic microchannels: fabrication and performance
机译:
微型硅气相色谱微通道:制造和性能
作者:
Carolyn M. Matzke
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
Richard J. Kottenstette
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
Stephen A. Casalnuovo
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
Gregory C. Frye-Mason
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
M.L. Hudson
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
Darryl Y. Sasaki
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
Ronald P. Manginell
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
C. Channy Wong
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
16.
PMMA microstructure as KrF excimer-laser LIGA material
机译:
PMMA微观结构作为KrF准分子激光LIGA材料
作者:
Chii-Rong Yang
;
Precision Instrument Development Ctr.
;
Hsinchu
;
Taiwan
;
Bruce C. Chou
;
Precision Instrument Development Ctr.
;
Hsinchu
;
Taiwan
;
Hsiao-Yu Chou
;
Precision Instrument Development Ctr.
;
Hsinchu
;
Taiwan
;
Frank H. Lin
;
Precision Instrument Development Ctr.
;
Hsinchu
;
Taiwan
;
Wen-Kai Kuo
;
Precision Instrument Development Ctr.
;
Hsinchu
;
Taiwan
;
Roger G. Luo
;
Precision Instrument Development Ctr.
;
Hsinchu
;
Taiwan
;
Jer-Wei Chang
;
Precision Instrument Development Ctr.
;
Hsinchu
;
Taiwan
;
Z.J. Wei
;
National Tsing Hua Univ.
;
Hsinchu
;
Taiwan.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
17.
Composite cantilever beam-mass structure gyroscope by a novel etching technology
机译:
新型蚀刻技术的复合悬臂梁质量结构陀螺仪
作者:
Xinxin Li
;
Fudan Univ.
;
Shanghai
;
China
;
Minhang Bao
;
Fudan Univ.
;
Shanghai
;
China
;
Heng Yang
;
Fudan Univ.
;
Shanghai
;
China
;
Shaoqun Shen
;
Fudan Univ.
;
Shanghai
;
China
;
Weiyuan Wang
;
Shanghai Institute of Metallurgy
;
Shanghai
;
China.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
18.
Converting MEMS technology into profits
机译:
将MEMS技术转化为利润
作者:
Janusz Bryzek
;
Maxim Integrated Products
;
Sunnyvale
;
CA
;
USA.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
19.
Fabrication of freestanding microstructures using UV lithography and double-electroplating technique
机译:
使用紫外线光刻和双电镀技术制造独立式微结构
作者:
Chang-Wook Baek
;
Seoul National Univ.
;
Kwanak-ku Seoul
;
South Korea
;
Yong-Kweon Kim
;
Seoul National Univ.
;
Kwanak-ku Seoul
;
South Korea.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
20.
Fabrication of ordered nanostructure based on anodic porous alumina
机译:
基于阳极多孔氧化铝的有序纳米结构的制备
作者:
Hideki Masuda
;
Tokyo Metropolitan Univ.
;
Hachiaji
;
Japan
;
Masashi Nakao
;
NTT Opto-Electronics Lab.
;
Kanagawa
;
Japan
;
Toshiaki Tamamura
;
NTT Opto-Electronics Lab.
;
Kanagawa
;
Japan
;
Hidetaka Asoh
;
Tokyo Metropolitan Univ.
;
Tokyo
;
Japan.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
21.
Microfabrication of membrane-based devices by HARSE and combined HARSE/wet etching
机译:
通过HARSE和HARSE /湿法蚀刻相结合的方法对基于膜的器件进行微加工
作者:
Ronald P. Manginell
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
Gregory C. Frye-Mason
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
W.K. Schubert
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
Randy J. Shul
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
Christi G. Willison
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
22.
Novel and high-yield fabrication of electroplated 3D microcoils for MEMS and microelectronics
机译:
用于MEMS和微电子学的电镀3D微线圈的新颖,高产量制造
作者:
Jun-Bo Yoon
;
Korea Advanced Institute of Science
;
Technology
;
Taejon
;
South Korea
;
Chul-Hi Han
;
Korea Advanced Institute of Science
;
Technology
;
Taejon
;
South Korea
;
Euisik Yoon
;
Korea Advanced Institute of Science
;
Technnology
;
Taejon
;
South Korea
;
Choong-Ki Kim
;
Korea Advanced Institute of Science
;
Technology
;
Taejon
;
South Korea.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
23.
Novel fabrication of comb actuator using RIE of polysilicon and (110) Si anisotropic bulk etching in KOH
机译:
在KOH中使用多晶硅RIE和(110)Si各向异性块刻蚀的新型梳齿执行器制造
作者:
Hyung-Taek Lim
;
Seoul National Univ.
;
Kwanak-Ku Seoul
;
South Korea
;
Yong-Kweon Kim
;
Seoul National Univ.
;
Kwanak-ku Seoul
;
South Korea.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
24.
Optical properties of micromachined polysilicon reflective surfaces with etching holes
机译:
具有蚀刻孔的微加工多晶硅反射表面的光学特性
作者:
Jun Zou
;
Univ. of Illinois/Urbana-Champaign
;
Urbana
;
IL
;
USA
;
Colin Byrne
;
Univ. of Illinois/Urbana-Champaign
;
Urbana
;
IL
;
USA
;
Chang Liu
;
Univ. of Illinois/Urbana-Champaign
;
Urbana
;
IL
;
USA
;
David J. Brady
;
Univ. of Illinois/Urbana-Champaign
;
Urbana
;
IL
;
USA.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
25.
Photographic method for the fabrication of surface-relief diffractive optical elements
机译:
用于制造表面浮雕衍射光学元件的照相方法
作者:
Enrique Navarrete-Garcia
;
Ctr. de Investigaciones en Optica
;
Leon
;
GU
;
Mexico
;
Sergio Calixto
;
Ctr. de Investigaciones en Optica
;
Leon
;
GU
;
Mexico.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
26.
Silicon surface micromachining by anhydrous HF gas-phase etching with methanol
机译:
甲醇无水HF气相刻蚀硅表面微加工
作者:
Won I. Jang
;
Electronics
;
Telecommunications Research Institute
;
Yusong Taejon
;
South Korea
;
Chang A. Choi
;
Electronics
;
Telecommunications Research Institute
;
Yusong Taejon
;
South Korea
;
Chang S. Lee
;
Electronics
;
Telecommunications Research Institute
;
Yusong
;
Taejon
;
South Korea
;
Yoon S. Hong
;
Electronics
;
Telecommunications Research Institute
;
Taejon
;
South Korea
;
Jong-Hyun Lee
;
Electronics
;
Telecommunications Research Institute
;
Yusong
;
Taejeon
;
South Korea
;
Jong T. Baek
;
Electronics
;
Telecommunications Research Institute
;
Yusong Taejon
;
South Korea
;
Bo Woo Kim
;
Electronics
;
Telecommunications Research Institute
;
Yusong
;
Taejon
;
South Korea.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
27.
Square microchannel arrays for focusing neutrons and x rays
机译:
方形微通道阵列,用于聚焦中子和X射线
作者:
Alberto Cimmino
;
Univ. of Melbourne
;
Parkville VIC
;
Australia
;
Brendan E. Allman
;
Univ. of Melbourne
;
Parkville VIC
;
Australia
;
S.P. Brumby
;
Univ. of Melbourne
;
Parkville
;
Australia
;
T.H. Irving
;
Univ. of Melbourne
;
Parkville
;
Australia
;
Anthony G. Klein
;
Univ. of Melbourne
;
Parkville VIC
;
Australia
;
Keith A. Nugent
;
Univ. of Melbourne
;
Parkville
;
Australia
;
Ian S. Anderson
;
Institut Laue-Langevin
;
Grenoble Cedex 9
;
France
;
Peter Hoghoj
;
Institut Laue-Langevin
;
Grenoble
;
France
;
Andrew G. Peele
;
NASA Goddard Space Flight Ctr.
;
Greenbelt
;
MD
;
USA.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
28.
CMOS compatibiltity of high-aspect-ratio micromachining (HARM) in bonded silicon-on-insulator (BSOI)
机译:
绝缘体上键合硅(BSOI)中高纵横比微加工(HARM)的CMOS兼容性
作者:
Mark E. McNie
;
Defence Evaluation
;
Research Agency Malvern
;
Malvern Worcestershire
;
United Kingdom
;
David O. King
;
Defence Evaluation
;
Research Agency Malvern
;
Malvern Worcestshire
;
United Kingdom.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
29.
Design criteria of buckling microbridges
机译:
屈曲微桥的设计准则
作者:
Weileun Fang
;
National Tsing Hua Univ.
;
Hsinchu
;
Taiwan
;
Hsin-hwa Hu
;
National Tsing Hua Univ.
;
Hsinchu
;
Taiwan
;
Chun-Hsien Lee
;
National Tsing Hua Univ.
;
Hsinchu
;
Taiwan.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
30.
Growth and characterization of shape memory alloy thin films for micropositioning and microactuation
机译:
用于微定位和微驱动的形状记忆合金薄膜的生长和表征
作者:
Sam T. Davies
;
Univ. of Warwick
;
Coventry Warks
;
United Kingdom
;
Kazuyoshi Tsuchiya
;
Univ. of Warwick
;
Coventry Warks
;
United Kingdom.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
31.
Microarray collimators for x rays and neutrons
机译:
用于X射线和中子的微阵列准直仪
作者:
Alberto Cimmino
;
Univ. of Melbourne
;
Parkville VIC
;
Australia
;
Brendan E. Allman
;
Univ. of Melbourne
;
Parkville VIC
;
Australia
;
Anthony G. Klein
;
Univ. of Melbourne
;
Parkville VIC
;
Australia
;
William A. Hamilton
;
Oak Ridge National Lab.
;
Oak Ridge
;
TN
;
USA
;
Ian S. Anderson
;
Institut Laue-Langevin
;
Grenoble Cedex 9
;
France
;
B.Hamelin
;
Institut Laue-Langevin
;
Grenoble
;
France
;
Peter Hoghoj
;
Institut Laue-Langevin
;
Grenoble
;
France
;
P.Bastie
;
Univ. Joseph Fourier-Grenoble I
;
Saint-Martin-dHeres
;
France.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
32.
Control and modeling of stress in multistacked polysilicon films considering oxidation effect
机译:
考虑氧化效应的多层多晶硅膜中应力的控制和建模
作者:
Chang S. Lee
;
Electronics
;
Telecommunications Research Institute
;
Yusong
;
Taejon
;
South Korea
;
Won I. Jang
;
Electronics
;
Telecommunications Research Institute
;
Yusong Taejon
;
South Korea
;
Chang A. Choi
;
Electronics
;
Telecommunications Research Institute
;
Yusong Taejon
;
South Korea
;
Yoon S. Hong
;
Electronics
;
Telecommunications Research Institute
;
Taejon
;
South Korea
;
Jong-Hyun Lee
;
Electronics
;
Telecommunications Research Institute
;
Yusong
;
Taejeon
;
South Korea
;
Kwang-Soo No
;
Korea Advanced Institute of Science
;
Technology
;
Yusunggu
;
Taejon
;
South Korea
;
Dang M. Wee
;
Korea Advanced Institute of Science
;
Technology
;
Taejon
;
South Korea.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
33.
Fabrication of miniaturized biotechnical devices
机译:
微型生物技术设备的制造
作者:
Monika Niggemann
;
Institut fuer Mikrotechnik Mainz GmbH
;
Mainz Hechtsheim
;
Germany
;
Wolfgang Ehrfeld
;
Institut fuer Mikrotechnik Mainz GmbH
;
Mainz
;
Germany
;
Lutz Weber
;
Institut fuer Mikrotechnik Mainz GmbH
;
Mainz Hechtsheim
;
Germany.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
34.
High-aspect-ratio single-crystal Si microelectromechanical systems
机译:
高纵横比单晶硅微机电系统
作者:
Jason W. Weigold
;
Univ. of Michigan
;
Ann Arbor
;
MI
;
USA
;
Stella W. Pang
;
Univ. of Michigan
;
Ann Arbor
;
MI
;
USA.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
35.
High-yield assembly of hinged 3D optical MEMS devices using magnetic actuation
机译:
使用磁驱动的铰接式3D光学MEMS器件的高产量组装
作者:
Yong Yi
;
Univ. of Illinois/Urbana-Champaign
;
Urbana
;
IL
;
USA
;
Chang Liu
;
Univ. of Illinois/Urbana-Champaign
;
Urbana
;
IL
;
USA.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
36.
Planarization and trench filling on severe surface topography with thick photoresist for MEMS
机译:
使用用于MEMS的厚光刻胶在严重的表面形貌上进行平坦化和沟槽填充
作者:
Jun-Bo Yoon
;
Korea Advanced Institute of Science
;
Technology
;
Taejon
;
South Korea
;
Gilbert Y. Oh
;
Korea Advanced Institute of Science
;
Technology
;
Taejon
;
South Korea
;
Chul-Hi Han
;
Korea Advanced Institute of Science
;
Technology
;
Taejon
;
South Korea
;
Euisik Yoon
;
Korea Advanced Institute of Science
;
Technology
;
Taejon
;
South Korea
;
Choong-Ki Kim
;
Korea Advanced Institute of Science
;
Technology
;
Taejon
;
South Korea.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
37.
Selective deep-Si-trench etching with dimensional control
机译:
尺寸控制的选择性深硅沟槽蚀刻
作者:
Randy J. Shul
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
Christi G. Willison
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
Lei Zhang
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
38.
Silicon microlenses for IR image sensors
机译:
用于红外图像传感器的硅微透镜
作者:
Nuggehalli M. Ravindra
;
New Jersey Institute of Technology
;
Summit
;
NJ
;
USA
;
Fei Ming Tong
;
New Jersey Institute of Technology
;
Paramus
;
NJ
;
USA
;
Dhiren K. Pattnaik
;
New Jersey Institute of Technology
;
Newark
;
NJ
;
USA
;
Dentcho V. Ivanov
;
New Jersey Institute of Technology
;
First Natl State Bk of Nj
;
NJ
;
USA
;
Ronald A. Levy
;
New Jersey Institute of Technology
;
Newark
;
NJ
;
USA
;
K.Aryusook
;
New Jersey Institute of Technology
;
Newark
;
NJ
;
USA
;
Vipulkumar Patel
;
Sarnoff Corp.
;
Princeton
;
NJ
;
USA.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
39.
NC-controlled production of smooth 3D surfaces in brittle materials with 193-nm excimer laser
机译:
用193 nm受激准分子激光数控加工脆性材料中的光滑3D表面
作者:
Hans K. Toenshoff
;
Laser Zentrum Hannover e.V.
;
Hannover
;
Germany
;
Christoph Graumann
;
Laser Zentrum Hannover e.V.
;
Hannover
;
Germany
;
Hanno Hesener
;
Laser Zentrum Hannover e.V.
;
Hannover
;
Germany
;
Marcus Rinke
;
Laser Zentrum Hannover e.V.
;
Hannover
;
Germany.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
40.
Thin Teflon-like films for MEMS: film properties and reliability studies
机译:
MEMS用类聚四氟乙烯薄膜:薄膜性能和可靠性研究
作者:
Bradley K. Smith
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
Craig D. Brown
;
Intel Corp.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
Glen LaVigne
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA
;
Jeffry J. Sniegowski
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
41.
Uniform and simultaneous fabrication of high-precision and high-density orifice channel and reservoirs for ink-jet printheads
机译:
喷墨打印头的高精度,高密度孔口通道和容器的均匀且同时制造
作者:
Jun-Bo Yoon
;
Korea Advanced Institute of Science
;
Technology
;
Taejon
;
South Korea
;
Jae-Duk Lee
;
Korea Advanced Institute of Science
;
Technology
;
Taejon
;
South Korea
;
Chul-Hi Han
;
Korea Advanced Institute of Science
;
Technology
;
Taejon
;
South Korea
;
Euisik Yoon
;
Korea Advanced Institute of Science
;
Technology
;
Taejon
;
South Korea
;
Choong-Ki Kim
;
Korea Advanced Institute of Science
;
Technology
;
Taejon
;
South Korea.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
42.
Advances in LIGA-based post mold fabrication
机译:
基于LIGA的后模具制造的进展
作者:
Todd R. Christenson
;
Sandia National Labs.
;
Albuquerque
;
NM
;
USA.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
43.
Transport limitations in electrodeposition for LIGA microdevice fabrication
机译:
LIGA微型器件制造中电沉积中的传输限制
作者:
Stewart K. Griffiths
;
Sandia National Labs.
;
Livermore
;
CA
;
USA
;
R.H. Nilson
;
Sandia National Labs.
;
Livermore
;
CA
;
USA
;
R.W. Bradshaw
;
Sandia National Labs.
;
Livermore
;
CA
;
USA
;
Aili Ting
;
Sandia National Labs.
;
Livermore
;
CA
;
USA
;
William D. Bonivert
;
Sandia National Labs.
;
Livermore
;
CA
;
USA
;
J.T. Hachmann
;
Sandia National Labs.
;
Livermore
;
CA
;
USA
;
Jill M. Hruby
;
Sandia National Labs.
;
Livermore
;
CA
;
USA.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
44.
Microassembly technologies for MEMS
机译:
MEMS的微装配技术
作者:
Michael B. Cohn
;
Univ. of California/Berkeley
;
Berkeley
;
CA
;
USA
;
Karl F. Boehringer
;
Univ. of California/Berkeley
;
Univ. of Washington
;
Seattle
;
WA
;
USA
;
J. Mark Noworolski
;
Univ. of California/Berkeley
;
San Francisco
;
CA
;
USA
;
Angad Singh
;
Univ. of California/Berkeley
;
Berkeley
;
CA
;
USA
;
Chris G. Keller
;
MEMS Precision Instruments
;
Berkeley
;
CA
;
USA
;
Kenneth Y. Goldberg
;
Univ. of California/Berkeley
;
Berkeley
;
CA
;
USA
;
Roger T. Howe
;
Univ. of California/Berkeley
;
Berkeley
;
CA
;
USA.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
45.
Micromachining technologies for miniaturized communication devices
机译:
小型通信设备的微加工技术
作者:
Clark T. Nguyen
;
Univ. of Michigan
;
U of M
;
MI
;
USA.
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
46.
Fabrication of polycrystalline diamond film resonators
机译:
生产多晶金刚石膜谐振器的制造
作者:
Xiaodong Wang
;
Yirong Yang
;
Jianfang Xie
;
Weiyuan Wang
;
Zongxin Ren
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
47.
High-aspect-ratio fine-line metallization
机译:
高纵横比细线金属化
作者:
Chienliu Chang
;
Peizen Chang
;
Kaihsiang Yen
;
Sheyshi Lu
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
48.
PMMA microstructure as KrF excimer-laser LIGA material
机译:
PMMA微观结构作为KRF准分子激光LigA材料
作者:
Chii-Rong Yang
;
Bruce C. Chou
;
Hsiao-Yu Chou
;
Frank H. Lin
;
Wen-Kai Kuo
;
Roger G. Luo
;
Jer-Wei Chang
;
Z.J. Wei
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
49.
Combining the best of bulk and surface micromachining using Si (111) substrates
机译:
使用Si(111)基板结合最佳的散装和表面微机器
作者:
James G. Fleming
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
50.
Development of a microforming system using mold technology and cutting technology
机译:
使用模具技术和切割技术开发微铸造系统
作者:
Isamu Aoki
;
Toshinori Takahashi
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
51.
Finding markets for microstructures
机译:
寻找微观结构的市场
作者:
James W. Knutti
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
52.
Microfabricated silicon gas chromatographic microchannels: fabrication and performance
机译:
微制造硅气体色谱微通道:制造和性能
作者:
Carolyn M. Matzke
;
Richard J. Kottenstette
;
Stephen A. Casalnuovo
;
Gregory C. Frye-Mason
;
M.L. Hudson
;
Darryl Y. Sasaki
;
Ronald P. Manginell
;
C. Channy Wong
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
53.
Novel and high-yield fabrication of electroplated 3D microcoils for MEMS and microelectronics
机译:
用于MEMS和微电子的电镀3D微膜的新颖和高产制造
作者:
Jun-Bo Yoon
;
Chul-Hi Han
;
Euisik Yoon
;
Choong-Ki Kim
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
54.
Fabrication of ordered nanostructure based on anodic porous alumina
机译:
基于阳极多孔氧化铝的有序纳米结构的制造
作者:
Hideki Masuda
;
Masashi Nakao
;
Toshiaki Tamamura
;
Hidetaka Asoh
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
55.
Fabrication of freestanding microstructures using UV lithography and double-electroplating technique
机译:
使用UV光刻和双电镀技术制造独立式微观结构
作者:
Chang-Wook Baek
;
Yong-Kweon Kim
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
56.
Square microchannel arrays for focusing neutrons and x rays
机译:
用于聚焦中子和X光线的方形微通道阵列
作者:
Alberto Cimmino
;
Brendan E. Allman
;
S.P. Brumby
;
T.H. Irving
;
Anthony G. Klein
;
Keith A. Nugent
;
Ian S. Anderson
;
Peter Hoghoj
;
Andrew G. Peele
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
57.
Optical properties of micromachined polysilicon reflective surfaces with etching holes
机译:
具有蚀刻孔的微机械多晶硅反射表面的光学性能
作者:
Jun Zou
;
Colin Byrne
;
Chang Liu
;
David J. Brady
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
58.
Composite cantilever beam-mass structure gyroscope by a novel etching technology
机译:
通过新颖的蚀刻技术复合悬臂梁质量结构陀螺仪
作者:
Xinxin Li
;
Minhang Bao
;
Heng Yang
;
Shaoqun Shen
;
Weiyuan Wang
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
59.
Converting MEMS technology into profits
机译:
将MEMS技术转换为利润
作者:
Janusz Bryzek
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
60.
Microfabrication of membrane-based devices by HARSE and combined HARSE/wet etching
机译:
通过HARSE和组合钩静蚀刻的基于膜的装置的微制造
作者:
Ronald P. Manginell
;
Gregory C. Frye-Mason
;
W.K. Schubert
;
Randy J. Shul
;
Christi G. Willison
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
61.
Photographic method for the fabrication of surface-relief diffractive optical elements
机译:
用于制造表面浮雕衍射光学元件的摄影方法
作者:
Enrique Navarrete-Garcia
;
Sergio Calixto
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
62.
Novel fabrication of comb actuator using RIE of polysilicon and (110) Si anisotropic bulk etching in KOH
机译:
使用多晶硅的RIE和(110)Si各向异性散装蚀刻梳状致动器的新颖制造
作者:
Hyung-Taek Lim
;
Yong-Kweon Kim
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
63.
Silicon surface micromachining by anhydrous HF gas-phase etching with methanol
机译:
用甲醇的无水HF气相蚀刻硅表面微机器
作者:
Won I. Jang
;
Chang A. Choi
;
Chang S. Lee
;
Yoon S. Hong
;
Jong-Hyun Lee
;
Jong T. Baek
;
Bo Woo Kim
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
64.
Growth and characterization of shape memory alloy thin films for micropositioning and microactuation
机译:
形状记忆合金薄膜用于微定位和微动的生长和表征
作者:
Sam T. Davies
;
Kazuyoshi Tsuchiya
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
65.
CMOS compatibiltity of high-aspect-ratio micromachining (HARM) in bonded silicon-on-insulator (BSOI)
机译:
CMOS兼容性高纵横比微机械线(伤害)在粘结的硅 - 绝缘体(BSOI)中
作者:
Mark E. McNie
;
David O. King
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
66.
Design criteria of buckling microbridges
机译:
屈曲微生物的设计标准
作者:
Weileun Fang
;
Hsin-hwa Hu
;
Chun-Hsien Lee
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
67.
Microarray collimators for x rays and neutrons
机译:
用于X射线和中子的微阵列准直器
作者:
Alberto Cimmino
;
Brendan E. Allman
;
Anthony G. Klein
;
William A. Hamilton
;
Ian S. Anderson
;
B.Hamelin
;
Peter Hoghoj
;
P.Bastie
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
68.
Silicon microlenses for IR image sensors
机译:
IR图像传感器的硅片微透镜
作者:
Nuggehalli M. Ravindra
;
Fei Ming Tong
;
Dhiren K. Pattnaik
;
Dentcho V. Ivanov
;
Ronald A. Levy
;
K.Aryusook
;
Vipulkumar Patel
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
69.
Selective deep-Si-trench etching with dimensional control
机译:
用尺寸控制选择性深沟沟蚀刻
作者:
Randy J. Shul
;
Christi G. Willison
;
Lei Zhang
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
70.
Planarization and trench filling on severe surface topography with thick photoresist for MEMS
机译:
用厚的光致抗蚀剂为MEMS填充严重表面形貌的平坦化和沟槽
作者:
Jun-Bo Yoon
;
Gilbert Y. Oh
;
Chul-Hi Han
;
Euisik Yoon
;
Choong-Ki Kim
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
71.
High-aspect-ratio single-crystal Si microelectromechanical systems
机译:
高纵横比单晶SI微机电系统
作者:
Jason W. Weigold
;
Stella W. Pang
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
72.
Fabrication of miniaturized biotechnical devices
机译:
小型化生物装置的制造
作者:
Monika Niggemann
;
Wolfgang Ehrfeld
;
Lutz Weber
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
73.
High-yield assembly of hinged 3D optical MEMS devices using magnetic actuation
机译:
铰接3D光学MEMS器件的高产量组装使用磁动力
作者:
Yong Yi
;
Chang Liu
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
74.
Control and modeling of stress in multistacked polysilicon films considering oxidation effect
机译:
考虑氧化效应的多层次多晶硅膜中应力的控制和建模
作者:
Chang S. Lee
;
Won I. Jang
;
Chang A. Choi
;
Yoon S. Hong
;
Jong-Hyun Lee
;
Kwang-Soo No
;
Dang M. Wee
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
75.
Thin Teflon-like films for MEMS: film properties and reliability studies
机译:
用于MEMS的薄Teflon薄膜:薄膜性能和可靠性研究
作者:
Bradley K. Smith
;
Craig D. Brown
;
Glen LaVigne
;
Jeffry J. Sniegowski
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
76.
NC-controlled production of smooth 3D surfaces in brittle materials with 193-nm excimer laser
机译:
NC控制生产脆性材料的平滑3D表面与193-NM准分子激光器
作者:
Hans K. Toenshoff
;
Christoph Graumann
;
Hanno Hesener
;
Marcus Rinke
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
77.
Uniform and simultaneous fabrication of high-precision and high-density orifice channel and reservoirs for ink-jet printheads
机译:
用于喷墨打印头的高精度和高密度孔口通道和储存器的均匀和同时制造
作者:
Jun-Bo Yoon
;
Jae-Duk Lee
;
Chul-Hi Han
;
Euisik Yoon
;
Choong-Ki Kim
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
78.
Transport limitations in electrodeposition for LIGA microdevice fabrication
机译:
LIGA Microdevice制造电沉积的运输限制
作者:
Stewart K. Griffiths
;
R.H. Nilson
;
R.W. Bradshaw
;
Aili Ting
;
William D. Bonivert
;
J.T. Hachmann
;
Jill M. Hruby
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
79.
Advances in LIGA-based post mold fabrication
机译:
基于LIGA的后模具制造的进展
作者:
Todd R. Christenson
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
80.
Micromachining technologies for miniaturized communication devices
机译:
小型通信设备的微机械线技术
作者:
Clark T. Nguyen
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
81.
Microassembly technologies for MEMS
机译:
MEMS的微包装技术
作者:
Michael B. Cohn
;
Karl F. Boehringer
;
J. Mark Noworolski
;
Angad Singh
;
Chris G. Keller
;
Kenneth Y. Goldberg
;
Roger T. Howe
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1998年
82.
Electrokinetic microfluidic systems
机译:
电动微流体系统
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1999年
83.
Novel fabrication and simple hybridization of exotic material MEMS
机译:
外来材料的新型制造和简单的杂交
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1999年
84.
Economic fabrication of microscale features in thick resists using scanning projection lithography
机译:
使用扫描投影光刻厚抗蚀剂的微观特征经济制造
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1999年
85.
Excimer laser micromachining of structures using SU-8
机译:
使用SU-8的结构激光微机械线
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1999年
86.
Various uses of ion chromatography in the manufacture of MEMS
机译:
离子色谱在MEMS制造中的各种用途
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1999年
87.
Laser welding: providing alignment precision and accuracy to substrate-level packaging
机译:
激光焊接:为基板级包装提供对准精度和精度
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1999年
88.
Processing variables for the reduction of stiction on MEMS devices
机译:
用于减少MEMS设备静态的处理变量
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1999年
89.
SCALPEL mask blank fabrication
机译:
手术刀面具空白制作
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1999年
90.
Micropattern fabrication by a specially designed microtool
机译:
MicroPattern由专门设计的微池制造
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1999年
91.
Ion beam sputter deposition of TiNi shape memory alloy thin films
机译:
TINI形状记忆合金薄膜的离子束溅射沉积
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1999年
92.
Evidence of dislocations for the control of roughness of highly thermal boron-doped diffused silicon layers
机译:
用于控制高热硼 - 掺杂扩散硅层的粗糙度脱位的证据
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1999年
93.
Materials characterization for MEMS: a comparison of uniaxial and bending tests
机译:
MEMS的材料表征:单轴和弯曲试验的比较
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1999年
94.
Femtosecond-pulse laser ablation and surface microstructuring of aluminum alloy 2024
机译:
铝合金2024的飞秒脉冲激光烧蚀和表面微结构
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1999年
95.
Which etchant used and whether an etching mask exists: how they make differences on convex-corner undercutting configuration and compensation criteria
机译:
使用哪种蚀刻剂以及是否存在蚀刻面罩:如何对凸角削弱配置和补偿标准进行差异
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1999年
96.
Innovations in molding technologies for microfabrication
机译:
微型制造模型技术的创新
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1999年
97.
Effects of metal impuritites on the etch rate selectivity of (110)/(111) in (110) Si anisotropic etching
机译:
金属二尿素对(110)Si各向异性蚀刻蚀刻速率选择性的影响(110)/(111)
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1999年
98.
W-coating for MEMS
机译:
W-涂层MEMS
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1999年
99.
Development behavior of irradiated foils and microstructures
机译:
辐照箔和微观结构的发展行为
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1999年
100.
New fabrication methodology for fine-feature high-aspect-ratio structures made from high-Z materials
机译:
新型制造方法,用于高Z材料制成的细型高纵横比结构
会议名称:
《Conference on micromachining and microfabrication process technology》
|
1999年
意见反馈
回到顶部
回到首页