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Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA
Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA
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1.
Thermo- and galvanomagnetic properties of heterophase materials at high pressure
机译:
高压下异相材料的热磁电特性
作者:
Vladimir V. Shchennikov
;
Sergey V. Ovsyannikov
;
Grigorii V. Vorontsov
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
heterostructures;
diamond probes;
thermoelectric power;
variable inclusion configuration;
semiconductor micro-devices;
quality control;
high pressures;
Nernst-Ettingshausen effects;
2.
WAFER THINNING FOR HIGH-DENSITY, THROUGH-WAFER INTERCONNECTS
机译:
硅片稀化,实现高密度,硅片互连
作者:
L.Wang
;
C.C.G.Visser
;
C.de Boer
;
M. Laros
;
W.van der Vlist
;
J. Groeneweg
;
G.Craciunt
;
P.M. Sarro
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
wafer thinning;
lapping;
chemical-mechanical polishing;
through-wafer interconnects;
3.
Vacuum wafer-level packaging for MEMS applications
机译:
MEMS应用的真空晶圆级封装
作者:
Stephane CAPLET
;
Nicolas SILLON
;
Marie-Therese DELAYE
;
Pascale BERRUYER
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
vacuum packaging;
MEMS;
wafer bonding;
outgassing;
getter;
4.
Three dimensional polymer MEMS with functionalized carbon nanotubes by microstereolithography
机译:
通过微立体光刻技术实现具有功能化碳纳米管的三维聚合物MEMS
作者:
Vijay K. Varadan
;
J. Xie
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
5.
Thin Film Metal Surface Micromachining: a new enabling foundry technology
机译:
薄膜金属表面微加工:一种新的铸造技术
作者:
H. van Heeren
;
T. Andringa
;
K. Attenborough
;
M. Eisenberg
;
P. Meeuws
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
6.
Thick SU-8 Photolithography For BioMEMS
机译:
适用于BioMEMS的厚SU-8光刻
作者:
Marc Rabarot
;
Jacqueline Bablet
;
Marine Ruty
;
Matthieu Kipp
;
Isabelle Chartier
;
Christophe Dubarry
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
SU-8;
high aspect ratio;
Ultra-thick resist;
multilevel microstructures;
stress;
UV-LIGA;
MIEL;
DRIE;
7.
MODELING OF SECONDARY RADIATION DAMAGE IN LIGA PMMA RESIST EXPOSURE
机译:
LIGA PMMA抗蚀剂暴露中的二次辐射损伤建模
作者:
Aili Ting
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
LIGA;
resist exposure;
secondary radiation damage;
undercutting;
substrate metalization;
8.
Sacrificial layer for the fabrication of electroformed cantilevered LIGA microparts
机译:
用于制造电铸悬臂式LIGA微型零件的牺牲层
作者:
Alfredo M. Morales
;
Georg Aigeldinger
;
Michelle A. Bankert
;
Linda A. Domeier
;
John Hachman
;
Cheryl Hauck
;
Patrick N. Keifer
;
Karen L. Krafcik
;
Dorrance E. McLean
;
Peter C. Yang
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
LIGA;
electro forming;
sacrificial layer;
PMMA;
metal-filled polymer;
9.
Microfabrication services at INO
机译:
INO的微细加工服务
作者:
Christine Alain
;
Hubert Jerominek
;
Patrice Topart
;
Timothy D. Pope
;
Francis Picard
;
Felix Cayer
;
Carl Larouche
;
Sebastien Leclair
;
Bruno Tremblay
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
MEMS foundry;
microelectroforming;
microphotonic;
thick resist;
micromirrors;
IR bolometers;
bulk and surface micromachining;
wafer level packaging;
10.
MEMS and MOEMS for National Security Applications
机译:
适用于国家安全应用的MEMS和MOEMS
作者:
Marion Scott
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
MOEMS;
MEMS;
microsystems;
national security;
defense;
market strategy;
commercialization roadmap;
11.
Reduction in Surface Roughness and Aperture Size Effect for XeF_2 Etching of Si
机译:
Si XeF_2刻蚀的表面粗糙度和孔径尺寸效应的减小
作者:
K. Sugano
;
O. Tabata
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
12.
Polymer protective coating for wet deep silicon etching processes
机译:
用于湿法深硅蚀刻工艺的聚合物保护涂层
作者:
Mary Spencer
;
Kim Ruben
;
Chenghong Li
;
Paul Williams
;
Tony Flaim
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
deep silicon etching;
potassium hydroxide etchant;
hydrofluoric acid;
bulk micromachining;
13.
Planarization of a CMOS die for an integrated metal MEMS
机译:
用于集成金属MEMS的CMOS芯片的平面化
作者:
Hocheol Lee
;
Michele H. Miller
;
Thomas G. Bifano
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
chemical mechanical planarization;
MEMS mirror array;
sputtering;
polishing;
MEMS integration;
14.
Processable high carbon-yielding polymer for micro- and nanofabrication
机译:
可加工的高碳产量聚合物,用于微米和纳米加工
作者:
Mark W. Perpall
;
Huseyin Zengin
;
K. Prasanna U. Perera
;
Wensheng Zhou
;
Hiren Shah
;
Xinyu Wu
;
Stephen E. Creager
;
Dennis W. Smith
;
Stephen H. Foulger
;
John Ballato
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
bis-ortho-diynyl arene (BODA);
processable carbon precursor polymer;
micro-transfer molding;
photonic crystal;
inverse carbon opal;
15.
Performance enhancement and evaluation of deep dry etching on a production cluster platform
机译:
生产集群平台上深干蚀刻的性能增强和评估
作者:
Mark McNie
;
Christopher Pickering
;
Alexandra Rickard
;
Iain Young
;
Janet Hopkins
;
Huma Ashraf
;
Serrita McAuley
;
Glenn Nicholls
;
Richard Barnett
;
Fred Roozeboom
;
Anton Kemmeren
;
Eric van den Heuvel
;
Jan Verhoeven
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
MEMS;
microsystems;
manufacturing;
silicon;
SOI;
deep dry etching;
DRIE;
ICP;
high aspect ratio;
micromachining;
16.
NEXUS: Roadmaps Applications
机译:
NEXUS:路线图和应用
作者:
Ayman El-Fatatry
;
BAE SYSTEMS
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
17.
Novel Micromolded Structures
机译:
新型微成型结构
作者:
J.G.Fleming
;
Seethambal S. Mani
;
Michael S. Baker
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
micromolding;
tungsten MEMS;
silicon nitride MEMS;
trench etch;
18.
Improved Resolution of Thick Film Resist
机译:
改进的厚膜抗蚀剂分辨率
作者:
Yoshihisa Sensu
;
Atsushi Sekiguchi
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
Thick-film resist;
resolution;
Pre-bake;
solvent;
N_2;
PAC;
benard cell;
development rate measurement system;
mask aligner;
lithography simulations;
19.
High Resolution X-ray Masks for High Aspect Ratio Microelectromechanical Systems (HARMS)
机译:
高纵横比微机电系统(HARMS)的高分辨率X射线掩模
作者:
Lin Wang
;
Flavio Aristone
;
Jost Goettert
;
Jong Ren Kong
;
Keith Bradshaw
;
Todd Christenson
;
Yohannes M. Desta
;
Yoonyoung Jin
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
e-beam lithography;
x-ray lithography;
intermediate mask;
HARMS;
20.
Generation and application of opto-mechanical microstructures on glass
机译:
玻璃上的光机械微结构的产生和应用
作者:
Volker Schmidt
;
Winfried Arens
;
Ulrich Kriems
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
microstructures;
ion beam etching;
sand blasting;
deep drawing;
21.
Expansion of SU-8 application scope by PAG concentration modification
机译:
通过PAG浓度调整扩展SU-8应用范围
作者:
Zhong-geng Ling
;
Kun Lian
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
SU-8 modification;
PAG concentration;
minimum bottom dose;
PEB temperature and time;
UV absorption;
22.
Fabrication of a porous membrane for the Gas Pre-Combustion
机译:
制备用于气体预燃烧的多孔膜
作者:
Joerg Stuermann
;
Andre Boedecker
;
Alexandra Splinter
;
Wolfgang Benecke
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
membrane reactor;
porous silicon;
microreactor;
porous membrane;
heterogeneous catalyst;
CO oxidation;
gas pre-processing μTAS;
23.
Evaluation of a Rapid Prototyping Process for Silicon Microstructures
机译:
硅微结构快速成型工艺的评估
作者:
Stefan Bange
;
Mark Herding
;
Peter Woias
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
micro rapid prototyping;
wet etching;
laser ablation;
silicon;
24.
Fabrication of Microchannels for Compliant Wafer Level Packaging Using Sacrificial Materials
机译:
使用牺牲材料制造符合晶圆级封装的微通道
作者:
H. A. Reed
;
J. P. Jayachandran
;
R. A. Shick
;
L. F. Rhodes
;
J. Krotine
;
E. Elce
;
S. A. Allen
;
P. A. Kohl
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
25.
European MEMS Foundries
机译:
欧洲MEMS代工厂
作者:
Patric R. Salomon
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
MEMS;
MST;
MPW;
fab;
foundry;
manufacturing;
silicon;
europractice;
microsystem;
micromachining;
26.
Embossing of microscale features in Pb and Zn
机译:
铅和锌中微尺度特征的压花
作者:
Dean J. Guidry
;
Dong Mei Cao
;
Tao Wang
;
Wen Jin Meng
;
Kevin W. Kelly
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
MEMS;
HARMs;
LIGA;
molding;
lead;
pb;
zinc;
zn;
DLC;
embossing;
27.
Direct thin-film imaging, DTFI, based on PMOD~(TM) (photochemical metal-organic deposition) methodology
机译:
基于PMOD〜(TM)(光化学金属有机沉积)方法的直接薄膜成像DTFI
作者:
Harold O. Madsen
;
Seigi Suh
;
Leo G. Svendsen
;
Shyama P. Mukherjee
;
Paul J. Roman
;
Michael A. Fury
;
Katy Ip
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
28.
Cyclotene~R Diaphragm for MEMS-Based IR Detectors
机译:
用于基于MEMS的红外探测器的Cyclotene〜R膜片
作者:
Shuwen Guo
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
cyclotene~R;
BCB;
diaphragm;
thermopile;
infrared detector;
29.
Borosilicate Glass Based X-ray Masks for LIGA Microfabrication
机译:
用于LIGA微加工的硼硅酸盐玻璃X射线掩模
作者:
Yohannes M. Desta
;
Martin Bednarzik
;
Michael Bryant
;
Jost Goettert
;
Linke Jian
;
Yoonyoung Jin
;
Daejong Kim
;
Sanghoon Lee
;
Bernd Loechel
;
Heinz-Ulrich Scheunemann
;
Zhengchun Peng
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
X-ray mask;
borosilicate;
glass;
LIGA;
30.
Chip on flex with 5-micron features
机译:
具有5微米功能的柔性上芯片
作者:
Peter C. Salmon
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
WLP;
stud bump;
hermetic module;
shielded module;
glass panel manufacturing;
release layer;
compliant packaging;
thermal package;
high-density interconnect (HDI);
Tester-On-Board (TOB);
31.
Alignment and fabrication of micro-optic assemblies using fiber fusion
机译:
使用光纤熔合的微光学组件的对准和制造
作者:
James M. Florence
;
James T. Hoggins
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
fiber fusion;
micro-optic assembly;
fiber optic components;
32.
A modular process for integrating thick poly silicon MEMS devices with sub-micron CMOS
机译:
用于将厚的多晶硅MEMS器件与亚微米CMOS集成的模块化过程
作者:
John Yasaitis
;
Michael Judy
;
Tim Brosnihan
;
Peter Garone
;
Nikolay Pokrovskiy
;
Debbie Sniderman
;
Scott Limb
;
Roger Howe
;
Bernhard Boser
;
Moorthi Palaniapan
;
Xuesong Jiang
;
Sunil Bhave
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
MEMS IC integration;
selective epi;
CMP;
surface micromachining;
deep si etch;
33.
A new process to fabricate DXRL x-ray mask by direct pattern writing
机译:
通过直接图案写入制造DXRL X射线掩模的新工艺
作者:
Zhong-geng Ling
;
Kun Lian
;
Shirong Wen
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
x-ray mask;
DXRL;
UDXRL;
direct pattern writing;
mask membrane;
x-ray absorber;
34.
SU-8 based deep x-ray lithography/LIGA
机译:
基于SU-8的深层X射线光刻/ LIGA
作者:
Linke Jian
;
Yohannes M. Desta
;
Jost Goettert
;
Martin Bednarzik
;
Bernd Loechel
;
Jin Yoonyoung
;
Georg Aigeldinger
;
Varshni Singh
;
Gisela Ahrens
;
Gabi Gruetzner
;
Ralf Ruhmann
;
Reinhard Degen
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
SU-8;
X-ray lithography;
3D-lithography;
MEMS;
LIGA;
35.
Scalloping Minimization in Deep Si Etching On Unaxis DSE Tools
机译:
在Unaxis DSE工具上进行深硅蚀刻时的扇贝最小化
作者:
Shouliang Lai
;
Dave Johnson
;
Russ Westerman
;
John Nolan
;
David Purser
;
Mike Devre
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
deep si etch;
MEMS devices;
scallop minimization;
smooth sidewall;
gas switching;
36.
Microjoining of dissimilar materials for optoelectronic and biomedical applications
机译:
用于光电和生物医学应用的异种材料的微连接
作者:
Reiner Witte
;
Hans J. Herfurth
;
Ingo Bauer
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
laser micromachining;
glass;
silicon;
sapphire;
polymers;
implantable microsystems;
37.
Mathematical model for simulating axisymmetric rod growth with kinetically limited and mass transport limited rates
机译:
用于模拟具有动力学限制和质量传输限制速率的轴对称杆增长的数学模型
作者:
Hong Lan
;
Raja Nassar
;
Weizhong Dai
;
Chaoyang Zhang
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
Laser-induced chemical vapor deposition (LCVD);
mass transport limited reaction;
kinetically limited reaction;
mathematical modeling;
38.
Microfabrication of ultra-thick SU-8 photoresist for microengines
机译:
用于微型发动机的超厚SU-8光致抗蚀剂的微细加工
作者:
Peng Jin
;
Kyle Jiang
;
Nianjun Sun
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
microengine;
actuator;
ultra-thick SU-8 photoresist;
transmission spectra;
high aspect ratio;
39.
Quartz Substrate Infrared Photonic Crystal
机译:
石英基板红外光子晶体
作者:
Khosrow Ghadiri
;
Jalel Rejeb
;
Vladimir Vitchev
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
planar photonic crystal (p~2c);
infrared spectrum operation;
optical micro-cavity;
finite-difference time-domain;
photonic band gap (PBG) material;
40.
Plasma etching of polymers like SU8 and BCB
机译:
等离子蚀刻聚合物,如SU8和BCB
作者:
Helge Mischke
;
Gabi Gruetzner
;
Mark Shaw
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
SU8;
BCB;
plasma etching;
polymer removing;
residues;
electroforming;
41.
Process Conditions and Lithographic Performance of Arch Durimide~(TM) Polyimides in the Ultra-thick Film Regime
机译:
超厚膜条件下Arch Durimide〜(TM)聚酰亚胺的工艺条件和平版印刷性能
作者:
S. I. Misat
;
R. Pellens
;
R. Voets
;
A. van Klaveren
;
J.P. v/d Heuvel
;
L. Peterson
;
P. Waterson
;
D. Racicot
;
D. Roza
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
MEMS;
polyimides;
durimide;
thick resists;
processing;
42.
Optimization of EDP solutions for feature size independent silicon etching
机译:
优化EDP解决方案以实现与特征尺寸无关的硅蚀刻
作者:
C. Yellampalli
;
K. N. Bhat
;
N. DasGupta
;
A. DasGupta
;
P. R. Rao
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
anisotropic etching;
EDP solutions;
micromachining;
MEMS;
etch rate;
hillock density;
43.
Novel MEMS technology based silicon and polymer hybrid actuator and applications as a tunable filter in telecom and in IR chemical detector
机译:
基于新型MEMS技术的硅和聚合物混合执行器,并在电信和红外化学探测器中用作可调滤波器
作者:
Ping Li
;
Kusol Lee
;
Weijie Wang
;
Jon Peters
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
actuator;
MEMS;
MOEMS;
compliant-MEMS;
micro fabrication;
tunable filter;
Fabry-Perot;
tunable laser;
IR detector;
chemical detector;
44.
Novel micro-machining method basing on AFM and high accuracy stage
机译:
基于AFM和高精度平台的新型微加工方法
作者:
Yongda Yan
;
Tao Sun
;
Shen Dong
;
Kai Cheng
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
atomic force microscope (AFM);
micro-parts;
high accuracy stage;
45.
Novel Through-Die Connections for MEMS Applications
机译:
适用于MEMS应用的新型直通芯片连接
作者:
S. Kommera
;
W. Woods
;
J.P. Krusius
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
through-die hole;
deep silicon etching;
CMP based patterning;
patterning on stepped surface;
micro-fluidics;
3D integration;
46.
High-aspect-ratio microstructures for magnetoelectronic applications
机译:
磁电子应用的高纵横比微结构
作者:
Tao Wang
;
Andrew B. McCandless
;
Sean Ford
;
Kevin W. Kelly
;
Richard Lienau
;
Dale Hensley
;
Yohannes Desta
;
Zhong G. Ling
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
HARM;
aligned x-ray lithography;
x-ray mask;
electrodeposition;
NiFe;
multilevel ferromagnetic device;
47.
High-aspect ratio microfabrication of crosslinked polytetra-fluoroethylene using synchrotron radiation direct photo-etching
机译:
同步辐射直接光刻法高纵横比交联聚四氟乙烯的微细加工
作者:
Takanori Katoh
;
Yasunori Sato
;
Daichi Yamaguchi
;
Shigetoshi Ikeda
;
Yasushi Aoki
;
Akihiro Oshima
;
Masakazu Washio
;
Yoneho Tabata
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
PTFE;
synchrotron radiation;
high-aspect ratio;
direct etching;
MEMS;
crosslinking;
microfabrication;
48.
Micropackaging Technologies for Integrated Microsystems: Applications to MEMS and MOEMS
机译:
集成微系统的微包装技术:应用于MEMS和MOEMS
作者:
Khalil Najafi
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
49.
Inverse model for optimizing the process of fabricating a microstructure by Laser Chemical Vapor Deposition
机译:
用于优化通过激光化学气相沉积制备微结构的过程的逆模型
作者:
Chaoyang Zhang
;
Weizhong Dai
;
Raja Nassar
;
Hong Lan
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
laser-induced chemical vapor deposition (LCVD);
inverse model;
scanning pattern;
three dimensional numerical simulation;
50.
Microstructure and mechanical properties of nickel microparts electroformed in replicated LIGA molds
机译:
在复制的LIGA模具中电铸的镍微零件的组织和力学性能
作者:
Alfredo M. Morales
;
Linda A. Domeier
;
Marcela Gonzales
;
John Hachman
;
Jill M. Hruby
;
Steven H. Goods
;
Dorrance E. McLean
;
Nancy Yang
;
Andrew D. Gardea
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
LIGA;
electroforming;
replication;
embossing;
injection molding;
microscreen;
51.
Micromolding and sintering of nanoparticle preforms into microparts
机译:
纳米颗粒预成型件的微成型和烧结成微零件
作者:
Alfredo M. Morales
;
Terry J. Garino
;
Brad L. Boyce
;
Linda A. Domeier
;
Anne K. Gutmann
;
Dorrance E. McLean
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
LIGA;
replication;
nanoparticle;
micromolding;
microcasting;
sintering;
injection molding;
52.
Fabrication of PZT actuated cantilevers on silicon-on-insulator wafers for a RF microswitch
机译:
在射频微动开关的绝缘体上硅晶片上制造PZT驱动的悬臂
作者:
Hong Wen Jiang
;
Paul Kirby
;
Qi Zhang
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
PZT thin film;
MEMS;
RF switch;
SOI;
RIE;
DRIE;
BOE;
micromachining;
cantilever;
53.
Fabrication of Planar Grating by direct ablation using Ultrashort Pulse Laser with a novel optical configuration
机译:
使用具有新颖光学配置的超短脉冲激光通过直接烧蚀制造平面光栅
作者:
N. R. Sivakumar
;
K. Venkatakrishnan
;
B. Tan
;
B. K. A. Ngoi
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
optical system design;
interference;
planar gratings;
ultrafast lasers;
direct ablation;
industrial applications;
54.
Double-sided MEMS mirror for L-switching Matrix
机译:
用于L开关矩阵的双面MEMS镜
作者:
T.W. Yeow
;
K.L.E. Law
;
A.A. Goldenberg
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
micromachining;
microfabrication;
MEMS;
MOEM;
DRIE;
RIE;
SOI;
optical switch;
mirror;
55.
Depth And Surface Roughness Control On Laser Micromachined Polyimide For Direct-Write Deposition
机译:
激光微加工聚酰亚胺直接写入沉积的深度和表面粗糙度控制
作者:
B. Pratap
;
C.B. Arnold
;
A. Pique
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
pulsed laser micromachining;
laser forward transfer;
polyimide;
56.
Design Rules for Fabrication of Binary Half Tone Masks Used for MEMS and Photonic Devices
机译:
用于MEMS和光子器件的二元半音掩模的设计规则
作者:
Peter Rhyins
;
Christopher Progler
;
Glenn S. Claydon
;
Ernest W. Batch
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
57.
DESIGN CONCEPT FOR TONG GRIPPERS FOR AUTOMATED MICRO-ASSEMBLY
机译:
自动化微组件钳夹的设计概念
作者:
Jochen Schlick
;
Detlef Zuehlke
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
micro-assembly;
micro gripper;
gripping force;
flexure hinges;
spring guiding device;
58.
Chemical Mechanical Planarization of Large Area Wells for MEMS and MOEMS
机译:
用于MEMS和MOEMS的大面积井的化学机械平面化
作者:
Juikun Lee
;
Heinz Busta
;
Ronald Myers
;
Tina Dear
;
Mehmet R. Dokmeci
;
Jonathan Bernstein
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
MEMS;
MOEMS;
CMP;
RME;
planarization;
large area well;
high aspect ratio;
59.
Chemical Mechanical Planarization: an effective microfabrication and micromachining technology for MEMS
机译:
化学机械平面化:MEMS的有效微加工和微加工技术
作者:
Juikun Lee
;
Ronald Myers
;
Tina Dear
;
Carl Gensler
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
MEMS;
MOEMS;
CMP;
planarization;
polymer;
metal;
ceramic;
60.
Bi/In as Patterning and Masking Layers for Alkaline-Based Si Anisotropic Etching
机译:
Bi / In作为碱性Si各向异性刻蚀的构图和掩膜层
作者:
Yuqiang Tu
;
Glenn Chapman
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
micromachining;
anisotropic etching;
TMAH etching;
etching mask;
thermal resist;
61.
Batch fabricated silicon electrostatic micropositioner for dual stage actuation
机译:
批量制造的硅静电微型定位器,用于双级驱动
作者:
M. Del Sarto
;
Simone Sassolini
;
Lorenzo Baldo
;
Mauro Marchi
;
Martin J. McCaslin
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
MEMS;
actuator;
electrostatic;
silicon process;
FEM;
hard disk drive;
dual stage;
bandwidth;
62.
Application of the Technology of the Excimer Laser Etching to Fabricate the Three-Dimensional Microstructures
机译:
准分子激光刻蚀技术在三维微观结构制造中的应用
作者:
Jingqiu Liang
;
Zichun Le
;
Jinsong Yao
;
Yushu Zhang
;
Shurong Wang
;
Ping Zhang
;
Yihui Wu
;
Ming Xuan
;
Lijun Wang
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
excimer laser;
direct etching;
adhering mask;
63.
Advanced Dry Etching for Oxide Deep-Trench
机译:
氧化物深冲的高级干法蚀刻
作者:
Yveline GOBIL
;
Patrice NOEL
;
Muriel MOREAU
;
Marc van der REIJDEN
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
dry etching;
silicon dioxide;
trench;
selectivity;
profile;
aspect ratio;
etch stop;
microsystems;
64.
A blazed silicon grating made of (111) silicon wafer
机译:
由(111)硅片制成的炽热硅光栅
作者:
Hui Ju
;
Ping Zhang
;
Shurong Wang
;
Jingqiu Liang
;
Yihui Wu
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology VIII, Jan 27-29, 2003, San Jose, California, USA》
|
2003年
关键词:
(111) silicon wafer;
blazed grating;
bulk silicon technology;
microfabrication;
MEMS;
wet etching;
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