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Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore
Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore
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1.
Dynamic Characteristics Measurement System for Optical Scanning Micromirror
机译:
光学扫描微镜动态特性测量系统
作者:
J.C. Chiou
;
Yu-Chen Lin
;
Yi-Cheng Chang
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
scanning micromirror;
scan speed;
scan angle;
scan non-linearity;
optical performance of micromirror;
2.
High Aspect Ratio Structures Formation in X-ray Lithography
机译:
X射线光刻中高纵横比结构的形成
作者:
Vladimir Kudryashov
;
Sing Lee
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
X-ray lithography;
high aspect ratio structures;
resist;
x-ray masks;
UVIII;
SU8;
MEMS;
x-ray tube;
3.
Micrometalforming Technology Using Specially Designed Microtool
机译:
使用特殊设计的微工具进行微金属成形技术
作者:
Ismau Aoki
;
Masahiro Sasada
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
end-mill;
microcutting;
oblique-cut mill;
cutting force;
4.
4x4 Non-Blocking Matrix Switch based on MOEMS
机译:
基于MOEMS的4x4无阻塞矩阵开关
作者:
Laurent Dellmann
;
Cornel Marxer
;
Nico F. de Rooij
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
fiber optic switch;
optical cross connect;
non-blocking switch;
5.
A 4 x 4 MEMS optical crossconnections (OXCs)
机译:
4 x 4 MEMS光学交叉连接(OXC)
作者:
A.Q. Liu
;
X.M. Zhang
;
Y.L. Lam
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
optical switch;
optical crossconnects (OXCs);
WDM and all-optical network;
6.
Micromachined Muscle Cell Analysis Chip
机译:
微机械化肌肉细胞分析芯片
作者:
Weijie Wang
;
Paul C. H. Li
;
Ash M. Parameswaran
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
microfluidic biochip;
single cardiac muscle cells;
AT-cut quartz;
Thickness-Shear mode;
impedance analysis;
7.
Microfabrication Technology for High-Speed Si-Based Systems
机译:
高速硅基系统的微细加工技术
作者:
Hiromu Ishii
;
Shouji Yagi
;
Kunio Saito
;
Akihiko Hirata
;
Kazuhisa Kudo
;
Masaki Yano
;
Tadao Nagatsuma
;
Katsuyuki Machida
;
Hakaru Kyuragi
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
RF;
millimeter-wave;
Si;
ULSI;
plating;
CMP;
passive device;
inductor;
transmission line;
CPW;
antenna;
8.
Optimised Layout Generator for Microgyroscope
机译:
优化的陀螺仪布局生成器
作者:
Francis E.H. lay
;
Li Shifeng
;
Logeeswaran V.J
;
David C.K Ng
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
optimisation;
microgyroscope;
synthesis;
layout generator;
9.
Electroplated solenoid-type inductors for CMOS RF VCO
机译:
用于CMOS RF VCO的电镀螺线管型电感器
作者:
Chul Nam
;
Wonseo Choi
;
Kukjin Chun
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
electroplating;
solenoid;
inductors;
VCO;
RF;
MEMS;
capacitor;
10.
A micro sensor for non-contact temperature measurement
机译:
用于非接触式温度测量的微传感器
作者:
X. P. Li
;
W. F. Chan
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
micro sensor;
non-contact measurement;
temperature;
radiation wavelength;
11.
A MEMS Variable Capacitor for one-chip RF front end
机译:
用于单芯片RF前端的MEMS可变电容器
作者:
Seonho Seok
;
Chul Nam
;
Kukjin Chun
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
RF MEMS;
capacitor;
tunable;
Q-factor;
micromachining;
CMP;
communication;
filtering;
IF;
anodic bonding;
12.
Reactive Ion Etching of CVD Diamond Films for MEMS Applications
机译:
MEMS应用的CVD金刚石薄膜的反应离子刻蚀
作者:
Ding guifu
;
Zhao xiaolin
;
Yu aibin
;
Yang chunsheng
;
Cai Bingchu
;
Yao xiang
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
CVD diamond films;
reactive ion etching;
surface micromachining;
diamond tips MEMS applications;
13.
Preparation of crystalline TiNi shape-memory alloy thin film for MEMS applications
机译:
用于MEMS的TiNi形状记忆合金晶体薄膜的制备
作者:
Yongqing Fu
;
Hejun Du
;
Weimin Huang
;
Xu Huang
;
Jianmin Miao
;
Yong Liu
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
Ti-Ni;
shape-memory;
sputtering;
thin film;
MEMS;
14.
Thermal modeling of low power micromachined solid state integrated gas sensor
机译:
低功率微加工固态集成气体传感器的热模型
作者:
Liu Yanju
;
Du Hejun
;
Fu Yongqing
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
micromachining;
microheater;
gas sensor;
simulation;
15.
The Study on mask technology of CVD diamond thin films by RIE etching
机译:
RIE刻蚀CVD金刚石薄膜的掩膜技术研究
作者:
Yang Chun-Sheng
;
Ding Gui-Fu
;
Yao Xiang
;
Zhao Xiao-Lin
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
diamond thin film;
RIE etching;
mask;
16.
Tools and Processes for MEMS and Nanotechnology
机译:
MEMS和纳米技术的工具和过程
作者:
P D Prewett
;
S E Huq
;
M C Ward
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
MEMS;
nanotechnology;
lithography;
LIGA;
vacuum microelectronics;
17.
Tunable Fabry-Perot Cavities
机译:
可调法布里-珀罗型腔
作者:
K. Winchester
;
S.M.R. Spaargaren
;
J.M. Dell
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
microcavity;
silicon nitride membrane;
MEMS;
Fabry-Perot cavity;
18.
High frequency RF microswitches using MEMS integrated fabrication process
机译:
使用MEMS集成制造工艺的高频RF微动开关
作者:
A.Q. Liu
;
G.I. Ng
;
Y.L. Lam
;
S.T. Chew
;
S.K. Ting
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
MEMS;
RF MEMS;
capacitive switch;
microwave;
19.
Laser Patterning Indium Tin Oxide (ITO) Coated on PET Substrate
机译:
在PET基板上激光图案化氧化铟锡(ITO)
作者:
Hung-Yin Tsai
;
Hsiharng Yang
;
Cheng-Tang Pan
;
Min-Chieh Chou
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
ITO;
excimer laser ablation;
PET substrate;
20.
Integrated WDM frequency tuner using polysilicon surface micromachining process
机译:
使用多晶硅表面微加工工艺的集成式WDM频率调谐器
作者:
X.M. Zhang
;
Y.L. Lam
;
A.Q. Liu
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
fiber-optic communication;
WDM;
frequency tuner;
tunable laser;
optical MEMS;
MOEMS;
21.
Microfabrication of 32x32 uncooled IR focal plane array
机译:
32x32非冷却红外焦平面阵列的微细加工
作者:
Weiguo Liu
;
Lingling Sun
;
Weiguang Zhu
;
Ooi Kiang Tan
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
uncooled IR sensor;
ferroelectric thin film;
sol-gel;
KOH micromachining;
22.
MEMS Atomizer based on Rayleigh instability-driven breakup of filaments
机译:
基于瑞利不稳定性驱动细丝断裂的MEMS雾化器
作者:
Y. Kong
;
Francis E.H. Tay
;
Y. Xu
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
23.
Optimisation Methodology for Low-g Microaccelerometer
机译:
低克微加速度计的优化方法
作者:
Francis E.H. Tay
;
Xu Jun
;
Logeeswaran V.J.
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
spreadsheet optimisation;
electrostatic spring constant;
modelling;
microaccelerometer;
ratiometricity;
24.
Novel self-oscillating anemometer with capacitance-based sensing
机译:
新型基于电容感应的自振荡风速计
作者:
Y. Kong
;
Francis E.H. Tay
;
Y. Xu
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
MEMS;
anemometer;
von karman vortex street;
25.
Frequency tunable micromachined RF oscillators
机译:
频率可调微加工RF振荡器
作者:
Y.C. Loke
;
K. M. Liew
;
Q. Zou
;
A. Q. Liu
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
RF MEMS;
bandpass filter;
superheterodyne receiver;
tunable oscillators;
26.
Improvements of an X-ray microcalorimeter for detecting cosmic rays
机译:
用于探测宇宙射线的X射线微热量计的改进
作者:
Yuichi Yokoyama
;
Shuichi Shoji
;
Kazuhisa Mitsuda
;
Ryuichi Fujimoto
;
Toshiyuki Miyazaki
;
Tohru Oshima
;
Masahiro Yamazaki
;
Naoko lyomoto
;
Kazuo Futamoto
;
Yoshinao Ishizaki
;
Tomohiro Kagei
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
radiation sensor;
calorimeter;
x-ray;
TES;
superconductor;
image sensor;
27.
A New Design Concept for Vibrating Microgyroscope
机译:
振动微陀螺仪的新设计理念
作者:
Logeeswaran V. J
;
David C.K Ng
;
Francis E.H. Tay
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
vibrating microgyroscope;
dynamic vibration absorber;
dynamic vibration magnifier;
tuning;
coriolis force;
28.
Patterning of diamond microstructures on Si substrate by bulk and surface micromachining
机译:
通过体和表面微加工在硅衬底上金刚石微结构的图案化
作者:
Yongqing Fu
;
Hejun Du
;
Jianmin Miao
;
Yanju Liu
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
diamond;
MEMS;
surface;
bulk machining;
29.
Realization of Multi-fiber Ferrule Mold Inserts Fabricated by the LIGA Process
机译:
LIGA工艺制造的多纤维套圈模具嵌件的实现
作者:
Ruey Fang Shyu
;
Hsiharng Yang
;
Ming-Chieh Chou
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
multi-fiber ferrule;
optical fiber connector;
LIGA process;
x-ray mask;
30.
Process monitoring of LPCVD silicon nitride and polysilicon by variable angle spectroscopic ellipsometry
机译:
变角光谱椭圆偏振法监测LPCVD氮化硅和多晶硅的工艺
作者:
S.Y. Loh
;
T.K.S. Wong
;
M.S. Tse
;
W.L. Goh
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication, Nov 28-30, 2000, Singapore》
|
2000年
关键词:
spectroscopic ellipsometry;
silicon nitride;
polysilicon;
chemical vapor deposition;
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