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Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China
Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China
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1.
Reduction of the thermal nonreciprocity in fiber-optic Sagnac interferometer via hybrid winding pattern
机译:
通过混合绕组模式减少光纤Sagnac干涉仪中的热不可逆性
作者:
Xuhan Dai
;
Xiaolin Zhao
;
Bingchu Cai
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
2.
Wafer level packaging for gyroscope by Au/Si eutectic bonding
机译:
通过Au / Si共晶结合的陀螺仪晶圆级包装
作者:
Yong Ruan
;
DaCheng Zhang
;
ZhenChuan Yang
;
Xiang Wang
;
Xiaomei Yu
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
wafer level packaging;
anodic bonding;
Au/Si eutectic bonding;
MEMS gyroscope;
MEMS pressure sensor;
3.
An error compensation technology to deal with axis-misalignment of multi-MEMS-sensors
机译:
一种用于补偿多MEMS传感器轴不对中的误差补偿技术
作者:
Rong Zhu
;
Zhaoying Zhou
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
micro electro-mechanical system (MEMS);
axis-misalignment;
multi-sensors;
optical alignment;
error compensation;
4.
Capacitive RF MEMS switch with composite beam
机译:
具有复合梁的电容式RF MEMS开关
作者:
Min MIAO
;
Zhiyong XIAO
;
Guoying WU
;
Yilong HAO
;
Haixia ZHANG
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
MEMS;
radio frequency;
switch;
composite beam;
phase shifter;
microwave;
millimeter wave;
5.
Design and Simulation of a bulk micromachined relay with lateral contact
机译:
具有侧面接触的块状微机械继电器的设计与仿真
作者:
Zhenchuan Yang
;
Zhihong Li
;
Yilong Hao
;
Guoying Wu
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
micro electromechanical systems (MEMS);
relay;
coupled analysis;
6.
Comparison of theoretical and experimental determination of the flexing of scratch drive actuator plates
机译:
刮擦驱动器执行器板挠度的理论和实验确定的比较
作者:
Lijie Li
;
J Gordon Brown
;
Deepak Uttamchandani
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
scratch drive actuator;
contact;
non-contact;
simulation;
7.
Designing a diffractive optical element used as a ring-beam convertor to control the wave-front propagation in a three-dimensional space
机译:
设计用作环形光束转换器的衍射光学元件,以控制三维空间中的波前传播
作者:
Lue Junfeng
;
Zhang Jingjuan
;
Zhang Yan
;
SiTu Guohai
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
diffractive optical element;
ring-beam convertor;
simulated annealing algorithm;
block-iterative weighted projections algorithm;
8.
Design and simulation of integrated CMOS-compatible capacitive absolute pressure-sensing Microsystems
机译:
集成CMOS兼容电容式绝对压力传感微系统的设计和仿真
作者:
Min-Xin Zhou
;
Qing-An Huang
;
Ming Qin
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
microsystem;
CMOS-compatible;
integrated absolute pressure sensors;
9.
Fabrication of 1.3 μm Si-based MEMS tunable optical filter
机译:
1.3μm硅基MEMS可调光学滤波器的制造
作者:
Y. H. Zuo
;
C. J. Huang
;
B. W. Cheng
;
R. W. Mao
;
L. P. Luo
;
J. H. Gao
;
Y. X. Bai
;
L. Ch. Wang
;
J. Zh. Yu
;
Q. M. Wang
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
fabry-perot;
tunable filter;
surface micromaching;
10.
Intelligent Vision Systems
机译:
智能视觉系统
作者:
Natalie Clark
;
Upendra N. Singh
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
11.
Microfluidics related researches and applications
机译:
微流体相关研究与应用
作者:
Zhaoying Zhou
;
Yanying Feng
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
microfluidic;
MEMS;
scaling effect;
coupled-field;
12.
MEMS Microrotor Technology and Aerodynamics for a Hovering Micro Air Vehicle
机译:
悬停式微型飞行器的MEMS微转子技术和空气动力学
作者:
Yang Liu
;
Jiapin Chen
;
Yongli Xiao
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
MEMS;
hovering MAVs;
four-rotor micro rotorcraft;
aerodynamics;
microrotor;
13.
Micro-fabrication of color filter for liquid crystal display by inkjet-based method
机译:
基于喷墨的方法微制造液晶显示器的彩色滤光片
作者:
Chin-Tai Chen
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
color filter;
liquid crystal display;
ink-jet;
micro-fabrication;
surface tension;
14.
Laterally Driven Variable Capacitor for Displacement Measurement of Microactuators
机译:
横向驱动可变电容器,用于微执行器的位移测量
作者:
Qingquan Liu
;
Qing-An Huang
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
variable capacitors;
microactuators;
MEMS;
surface micromachining;
finite element analysis;
capacitance sensors;
measurement;
MEMDAC;
15.
Micro-translation-table for near-field data storage using inverted-scratch-drive-actuators
机译:
微型平移表,用于使用反向刮擦驱动执行器进行近场数据存储
作者:
Yoshiaki Kanamori
;
Hiroto Yahagi
;
Minoru Sasaki
;
Takahito Ono
;
Kazuhiro Hane
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
scratch drive actuator;
micro-translation-table;
micromachining;
optical storage;
16.
Microstructures of PMMA sheet fabricated by RIE
机译:
RIE制造的PMMA板的微观结构
作者:
LongWang Huang
;
ChunSheng Yang
;
GuiFu Ding
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
PMMA;
RIE;
microstructure;
sidewall passivation;
17.
A Micromechanical Variable Optical Attenuator based on EDM micromachining
机译:
基于EDM微加工的微机械可变光衰减器
作者:
Zhonghui Cao
;
Ye Yuan
;
Junfeng Bao
;
X. Wu
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
optical attenuators;
MEMS;
EDM (electrical discharge machining);
WDM networks;
18.
Nano-stepper driven optical shutter for applications in free-space micro-optics
机译:
纳米步进驱动的光学快门,用于自由空间微光学
作者:
Justyna
;
Zawadzka
;
Lijie Li
;
Anartz Unamuno
;
Deepak Uttamchandani
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
attenuator;
nano-stepper;
micro-mirror;
collimation;
nano-positioning;
19.
A Novel Structure of passive ring waveguide resonator on silicon substrate
机译:
硅衬底上无源环形波导谐振器的新型结构
作者:
Wei Guo
;
Huilian Ma
;
Zhonghe Jin
;
Yanzhe Tang
;
Yuelin Wang
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
ring resonator;
optical gyroscope;
optical waveguides;
silicon-on-insulator;
20.
A Novel Device of Passive and Fixed Alignment of Optical Fiber Using SU-8 Photoresist
机译:
SU-8光刻胶对光纤进行无源和固定对准的新型装置
作者:
Liu Jing-quan
;
Cai Bing-chu
;
Zhu Jun
;
Chen Di
;
Li Yigui
;
Zhang Jiliang
;
Ding Gui-pu
;
Zhao Xiao-lin
;
Yang Chun-sheng
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
SU-8 resist;
UV-LIGA;
optical fiber;
passive and fixed alignment;
MOEMS;
21.
Optimal design for the alignment of single mode fibres using thermal microactuators
机译:
使用热微致动器对单模光纤进行对准的最佳设计
作者:
J Yao
;
D Uttamchandani
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
thermal microactuator;
fibre alignment;
coupling loss;
22.
Optimum Design of Levitating Coil and Stability Coils in the Micromachined Gyroscope of Electromagnetic Levitated Rotor
机译:
电磁悬浮转子微机械陀螺仪中悬浮线圈和稳定线圈的优化设计
作者:
Xiaosheng Wu
;
Wenyuan Chen
;
Weiping Zhang
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
micromachined gyroscope;
electromagnetic levitation;
optimum design;
coil;
finite element;
23.
A new test structure for measuring thermal conductivity of polysilicon thin films
机译:
一种测量多晶硅薄膜热导率的新测试结构
作者:
Gaobin Xu
;
Qing-An Huang
;
Yanfeng Jiang
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
thermal conductivity;
surface micromachining process;
test structure;
polysilicon thin films;
24.
Optical-electromechanical performance of MEMS tilting micro-mirrors for AON communication system
机译:
用于AON通信系统的MEMS倾斜微镜的光机电性能
作者:
Dachao Li
;
Wengang Wu
;
Shijiu Jin
;
Jinjie Shi
;
Yilong Hao
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
MEMS;
tilting micro-mirrors;
optical properties;
electromechanical performance;
25.
Optical MEMS for High-End Micro-Spectrometers
机译:
高端微光谱仪的光学MEMS
作者:
Rainer Riesenberg
;
Andreas Wuttig
;
Guenter Nitzsche
;
Bernd Haraisch
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
optical sensor;
spectrophotometer;
MEMS;
subpixel analysis;
spatial light modulator;
slit mask;
26.
Research on the important theory of array microjet based on MEMS
机译:
基于MEMS的阵列微喷重要理论研究
作者:
Songmei Yuan
;
Zhaoying Zhou
;
Guohui Wang
;
Changgeng Liu
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
microjet;
MEMS;
theory;
27.
Research on the design-optimization and fabrication process of MEMS micro magnetometer based on tunneling effect
机译:
基于隧穿效应的MEMS微磁强计的设计优化与制造工艺研究
作者:
Zhaoying Zhou
;
Xing Yang
;
Junhua Zhu
;
Xiongying Ye
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
magnetometer;
tunneling effect;
MEMS;
28.
Silicon MicroChannel Array Based on MEMS Process
机译:
基于MEMS工艺的硅微通道阵列
作者:
Qingduo Duanmu
;
Ye Li
;
Delong Jiang
;
Yanjun Gao
;
Lichen Fu
;
Jingquan Tian
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
silicon;
microchannel;
arrays;
electrochemical etching;
aspect ratio;
29.
Study on the Silicon Micro-mechanical Accelerometer Using an Optical Fiber
机译:
光纤硅微机械加速度计的研究
作者:
Tongyu
;
Wang
;
Shuren
;
Zhang
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
accelerometer;
optical-fiber;
micro-mechaning;
30.
Structural Design of Novel Low-Actuation MEMS Switches for X-band Application
机译:
用于X波段应用的新型低激励MEMS开关的结构设计
作者:
Wei-Bin Zheng
;
Qing-An Huang
;
Fu-Xiao Li
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
corrugated membrane;
MEMS;
switch;
finite element analysis;
X-band;
31.
The designing, fabrication and test of a MEMS colloid thruster
机译:
MEMS胶体推进器的设计,制造和测试
作者:
Zhaoying Zhou
;
Jijun Xiong
;
Xiongying Ye
;
Xiaohao Wang
;
Yanyin Feng
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
colloid thruster;
micro thruster;
MEMS;
micro thrust;
emitter;
array;
32.
An equivalent circuit macromodel for a beam-structure electromechanical system in F-I analogy
机译:
F-I类比的梁结构机电系统的等效电路宏模型
作者:
Hua Rong
;
QingAn Huang
;
Weihua Li
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
|
2002年
关键词:
modal analysis;
lagrange's equation;
equivalent circuit macromodel;
F-I analogy;
33.
Excimer Laser Micromachining Technology in Biochip
机译:
生物芯片中的准分子激光微加工技术
作者:
Tao Chen
;
Jimin Chen
;
Yu Zhang
;
Bohua Ying
;
Tao Jing
;
Tiechuan Zuo
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
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2002年
关键词:
excimer laser;
micromachining technology;
biochip;
34.
Error Analysis of Micro Strain Gauge with a Mechanical Amplifier
机译:
机械放大器的微应变仪的误差分析
作者:
Zutao Liu
;
Qing-An Huang
;
Yanfeng Jiang
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
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2002年
关键词:
error analysis;
residual strain;
microstructure;
residual stress;
measurement;
35.
Development of micro-vision system for manipulation robot
机译:
操纵机器人微视觉系统的开发
作者:
Lining Sun
;
Liguo Chen
;
Weibin Rong
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
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2002年
关键词:
micromanipulation;
robot;
micro-vision;
micro-assembly;
stereoscopic microscope;
36.
Fabrication of integrated microlens array mold/ mold insert for mass production
机译:
集成微透镜阵列模具/模具插件的制造,以实现批量生产
作者:
Ruey Fang Shyu
;
Feng-Tsai Weng
;
Cheng-Tang Pan
;
Hsiharng Yang
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
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2002年
关键词:
microlens array;
molding technology;
thermal reflow;
micro-optics;
37.
Laser fabrication technology for micro-machine
机译:
微型机器的激光制造技术
作者:
Jimin Chen
;
Tao Chen
;
Xubao Wang
;
Tiechuan Zuo
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
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2002年
关键词:
micro-machine laser micro-fabrication micro-meter nano powder;
38.
Fabrication of reflective micromirror in micromechanical optical switches
机译:
微机械光开关中反射微镜的制作
作者:
Wei Dong
;
Weiyou Chen
;
Han Yang
;
Long Zhang
;
Ping Ji
;
Wenbin Guo
;
Caixia Liu
;
Xindong Zhang
;
Dongming Sun
;
Cuiping Jia
;
Jianxuan Pan
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
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2002年
关键词:
optical switches;
micromirror;
surface roughness;
reflectivity;
39.
Micro Gripper for Handling and Assembly in MEMS produced by SU8-Technology
机译:
SU8-Technology生产的用于MEMS的处理和组装的微型夹具
作者:
Dragan Petrovic
;
Gordana Popovic
;
Tatjana Petrovic
;
Andreas Schneider
;
Ejaz Huq
;
Helmut Detter
;
Friedrich Franek
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
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2002年
关键词:
handling;
assembly;
gripper;
MEMS;
SU8;
40.
A low voltage micromachining based scalable optical switch
机译:
基于低压微加工的可扩展光开关
作者:
Junfeng Bao
;
Ye Yuan
;
Zhonghui Cao
;
X. Wu
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
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2002年
关键词:
MEMS;
optical switch;
EDM (electrical discharge machining);
fiber optic communication;
41.
A micro mobile robot system for inspection between pipes
机译:
用于管道之间检查的微型移动机器人系统
作者:
Faming Liu
;
Jiapin Chen
;
Jianghua Liu
;
Junshi Cheng
;
Chen Zhang
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
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2002年
关键词:
microrobot;
micromotor;
MEMS;
inspection;
pipe;
control;
42.
Optimization and Simulation of the Surface Acoustic Wave Motor
机译:
表面声波电机的优化与仿真
作者:
Xiquan Cui
;
Lan Wu
;
Haijun Zhang
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
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2002年
关键词:
surface acoustic wave motor;
micro actuator;
MEMS;
position control;
43.
Simulation and optimization of dynamic passive valve micropump
机译:
动态被动阀微型泵的仿真与优化
作者:
Weiping Zhang
;
Wenyuan Chen
;
Xiaomei Chen
;
Xiaosheng Wu
;
Zhengfu Xu
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
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2002年
关键词:
dynamic passive valves micropump;
micro hydrodynamic model;
finite element method;
optimization;
44.
Subwavelength antireflection structure for optical detector fabricated by fast atom beam etching
机译:
快速原子束刻蚀制备的光探测器亚波长减反射结构
作者:
Yoshiaki Kanamori
;
Masahiro Ishimori
;
Kazuhiro Hane
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
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2002年
关键词:
subwavelength grating;
antireflection;
fast atom beam;
rigorous coupled-wave analysis;
photodiode;
45.
Three degrees of freedom precision stage
机译:
三自由度精密载物台
作者:
Yingfei Wu
;
Zhaoying Zhou
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
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2002年
关键词:
precision positioning;
planar stage;
three degrees of freedom motion;
displacement detection system based on image processing;
high resolution;
46.
The Pd/Ni Bilayer Electrochemical Microactuator
机译:
Pd / Ni双层电化学微致动器
作者:
Yao Jinyuan
;
Ding Guifu
;
Cao Ying
;
Yang Chunsheng
;
Shen Tianhui
会议名称:
《Conference on MEMS/MOEMS Technologies and Applications, Oct 17-18, 2002, Shanghai, China》
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2002年
关键词:
an electrochemical microactuator;
Pd/Ni bimorph electrodes;
surface micromachining;
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