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Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.
Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.
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1.
Young's Modulus and Fracture Strength of Three Polysilicons
机译:
三种多晶硅的杨氏模量和断裂强度
作者:
W. N. Sharpe
;
K. Jackson
;
G. Coles
;
D. A. La Van
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
2.
Wet-etch Patterning of Lead Zirconate Titanate (PZT) Thick Films for Microelectromechanical Systems (MEMS) Applications
机译:
用于微机电系统(MEMS)应用的锆钛酸铅(PZT)厚膜的湿蚀刻图案
作者:
L.-P. Wang
;
R. Wolf
;
Q. Zhou
;
S. Trolier-McKinstry
;
R. J. Davis
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
3.
The Mechanical Properties Of Polycrystalline Silicon Carbide Films Determined Using Bulk Micromachined Diaphragms
机译:
体微机械膜片测定聚碳化硅薄膜的力学性能
作者:
Shuvo Roy
;
Christian Zorman
;
Mehran Mehregany
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
4.
Silicon Germanium Epitaxy: A New Material For MEMS
机译:
硅锗外延:MEMS的新材料
作者:
J.T. Borenstein
;
N.D. Gerrish
;
R. White
;
M.T. Currie
;
E.A. Fitzgerald
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
5.
Temperature-Dependent Internal Friction in Silicon Nanoelectromechanical Systems
机译:
硅纳米机电系统中随温度变化的内摩擦
作者:
Stephane Evoy
;
Anatoli Olkhovets
;
Dustin W. Carr
;
Jeevak M. Parpia
;
Harold G. Craighead
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
6.
Temperature and Doping Dependency of Piezoresistivity in p-type Silicon
机译:
p型硅中压阻的温度和掺杂依赖性
作者:
Eivind Lund
;
Terje G. Finstad
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
7.
Curvature Model for an Ion-Machined Free-Standing Thin Film MEMS Device
机译:
离子加工的自由站立式薄膜MEMS器件的曲率模型
作者:
H.T. Johnson
;
P. Bierden
;
T. G. Bifano
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
8.
Developing a New Material for MEMS: Amorphous Diamond
机译:
开发用于MEMS的新材料:非晶金刚石
作者:
J. P. Sullivan
;
T. A. Friedmann
;
M. P. de Boer
;
D. A. LaVan
;
R. J. Hohlfelder
;
C. I. H. Ashby
;
M. T. Dugger
;
M. Mitchell
;
R. G. Dunn
;
A. J. Magerkurth
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
9.
CONTROL OF STRESS WITH GROWTH CONDITIONS AND MECHANICAL PARAMETERS DETERMINATION OF 3C-SiC HETEROEPITAXIAL THIN FILMS
机译:
生长条件下的应力控制和3C-SiC异外延薄膜的力学参数确定
作者:
C. Gourbeyre
;
T. Chassagne
;
M. Le Berre
;
G. Ferro
;
C. Malhaire
;
Y. Monteil
;
D. Barbier
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
10.
Dielectric and Pulsed Spectroscopy of Shear Mode PZT Microactuator
机译:
剪切模式PZT微致动器的介电和脉冲光谱
作者:
Juergen Bruenahl
;
Alex Grishin
;
Sergey Khartsev
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
11.
Deformation Mechanisms of A Micro-Sized Austenitic Stainless Steel with Fine Grains
机译:
细晶粒奥氏体不锈钢的变形机理
作者:
G. P. Zhang
;
K. Takashima
;
M. Shimojo
;
Y. Higo
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
12.
Effect of La on the Growth of Cu_6Sn_5 Intel-metallic Compound for Improved Sn-Pb Solder Joints
机译:
La对改进Sn-Pb焊点的Cu_6Sn_5英特尔金属化合物生长的影响
作者:
Xin Ma
;
Hongyuan Fang
;
Yiyu Qian
;
Fusahito Yoshida
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
13.
Asymmetrical Polysilicon Electrothermal Microactuators for Achieving Large In-Plane Mechanical Forces and Deflections
机译:
用于实现较大的平面内机械力和挠度的不对称多晶硅电热微致动器
作者:
Edward S. Kolesar
;
Peter B. Allen
;
Noah C. Boydston
;
Jeffery T. Howard
;
Simon Y. Ko
;
Matthew D. Ruff
;
Josh M. Wilken
;
Richard J. Wilks
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
14.
Elastic and Inelastic Properties of Electroplated Nickel Used in LIGA Techniques
机译:
LIGA技术中使用的电镀镍的弹性和非弹性
作者:
Basrour Skandar
;
Delobelle Patrick
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
15.
Issues In The Flexible Integration Of Sputter-Deposited PZT Thin Films With Polysilicon And Ti/Pt Electrode Layers For Use As Sensors And Actuators In Microelectromechanical Systems (MEMS)
机译:
溅射沉积的PZT薄膜与多晶硅和Ti / Pt电极层作为微机电系统(MEMS)的传感器和执行器的柔性集成中的问题
作者:
C.F. Knollenberg
;
T.D. Sands
;
A.S. Nickles
;
R.M. White
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
16.
Low Temperature Si Direct Bonding By Plasma Activation
机译:
等离子体激活的低温Si直接键合
作者:
Yonah Cho
;
Nathan W. Cheung
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
17.
MICROBRIDGE TESTING OF SILICON OXIDE/SILICON NITRIDE BILAYER FILMS
机译:
氧化硅/氮化硅双层膜的微桥测试
作者:
C.-F. Qian
;
Y.-J. Su
;
M.-H. Zhao
;
T.-Y. Zhang
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
18.
On the Fracture Toughness of Polysilicon MEMS Structures
机译:
多晶硅MEMS结构的断裂韧性
作者:
H. Kahn
;
R. Ballaini
;
A.H. Heuer
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
19.
Optical Manipulation of Inorganic and Organic Objects in Soft Microfluidic Devices
机译:
软微流控设备中无机和有机物体的光学操纵
作者:
Cengiz S. Ozkan
;
Erhan Ata
;
Mihrimah Ozkan
;
Sadik C. Esener
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
20.
Phenomenological Model of Non-Evaporated Getter for Micro-electromechanical Systems (MEMS) Applications
机译:
微机电系统(MEMS)应用中非蒸发吸气剂的现象学模型
作者:
Caroline A. Kondoleon
;
Thomas F. Marinis
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
21.
Measurement of Electrical Charge during Nanoindentation of Ferroelectric Thin Films
机译:
铁电薄膜纳米压痕过程中电荷的测量
作者:
M. Alguero
;
A.J. Bushby
;
M.J. Reece
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
22.
Nanoindentation of Microspring Thin Films
机译:
微弹簧薄膜的纳米压痕
作者:
Mary W. Seto
;
Brian Dick
;
Michael J. Brett
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
23.
Challenges in DMD~(TM) Assembly and Test
机译:
DMD〜(TM)组装和测试中的挑战
作者:
S. Joshua Jacobs
;
Joshua J. Malone
;
Seth A. Miller
;
Armando Gonzalez
;
Roger Robbins
;
Vincent C. Lopes
;
Dennis Doane
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
24.
The Characterization of TiNi Shape-Memory Actuated Microvalves
机译:
TiNi形状记忆致动微阀的表征
作者:
B.-K. Lai
;
G. Hahm
;
L. You
;
C.-L. Shih
;
H. Kahn
;
S. M. Phillips
;
A. H. Heuer
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
25.
Unstable Etching Of Si(110)With Potassium Hydroxide
机译:
氢氧化钾对Si(110)的蚀刻不稳定
作者:
Z. Moktadir
;
K. Sato
;
T. Shimizu
;
M. Shikida
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
26.
The Influence of Fabrication Governed Surface Conditions on the Mechanical Strength of Thin Film Materials
机译:
制造控制表面条件对薄膜材料机械强度的影响
作者:
Ioannis Chasiotis
;
Wolfgang G. Knauss
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
27.
Resonating Microelectromechanical Structures for Metrology
机译:
计量学中的共振微机电结构
作者:
A. M. Allen
;
G. C. Johnson
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
28.
Structural and micromechanical assessment of electrochemically grown metal layers for Si magnetic microactuators
机译:
硅磁性微致动器的电化学生长金属层的结构和微机械评估
作者:
Susanna Martinez
;
Nourdin Yaakoubi
;
Christophe Serre
;
Alejandro Perez-Rodriguez Joan Ramon Morante
;
Ismael Diez-Perez
;
Pau Gorostiza
;
Jaume Esleve
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
29.
Simple and Low Cost Patterning Process for Sputtered Pb(Zr,Ti)O_3 Thin Films and Electrodes for Membrane-Based Microsystems Applications
机译:
用于膜型微系统的溅射Pb(Zr,Ti)O_3薄膜和电极的简单低成本构图工艺
作者:
Cyril Millon
;
Christophe Malhaire
;
Emmanuel Defaye
;
Daniel Barbier
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
30.
ANNEALING EFFECTS ON THE MICROSTRUCTURE AND MECHANICAL PROPERTIES OF LIGA NICKEL FOR MEMS
机译:
退火对MEMS用Liga镍的显微组织和力学性能的影响
作者:
H. S. Cho
;
W. G. Babcock
;
H. Last
;
K. J. Hemker
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
31.
Defects And Failure Modes In PZT Films For A MEMS Microengine
机译:
MEMS微引擎的PZT膜中的缺陷和故障模式
作者:
D.F. Bahr
;
B.T. Crozier
;
C.D. Richards
;
R.F. Richards
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
32.
CHARACTERIZATION OF SILICON FUSION BONDS USING A FOUR-POINT BEND SPECIMEN
机译:
用四点弯曲试样表征硅熔合键
作者:
Kevin T. Turner
;
Arturo A. Ayon
;
Dongwon Choi
;
Bruno Miller
;
S. Mark Spearing
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
33.
Double Sided Porous Silicon on Patterned Substrates for Thermal Effect Microsystems
机译:
用于热效应微系统的图案化基板上的双面多孔硅
作者:
S. Perichon
;
V. Lysenko
;
B. Remaki
;
D. Barbier
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
|
2000年
34.
Etch Rate and Surface Morphology of Plasma Etched Glass Substrates
机译:
等离子刻蚀玻璃基板的刻蚀速率和表面形态
作者:
Junting Liu
;
Nikolay I. Nemchuk
;
Dieter G.Ast
;
J. Gregory Couillard
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
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2000年
35.
Corrosion Fatigue Tests of Micro-Sized Specimens
机译:
微型试样的腐蚀疲劳试验
作者:
Y. Mizutani
;
Y. Higo
;
Y. Ichikawa
;
A. Morita
;
K. Takashima
;
M.V. Swain
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
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2000年
36.
Fabrication of MEMS Components Based on Ultrananocrystalline Diamond Thin Films and Characterization of Mechanical Properties
机译:
基于超纳米晶金刚石薄膜的MEMS元件的制备及力学性能表征
作者:
A. V. Sumant
;
O. Auciello
;
A. R. Krauss
;
D. M. Gruen
;
D. Ersoy
;
J. Tucek
;
A. Jayatissa
;
E. Stach
;
N. Moldovan
;
D. Mancini
;
H. G. Busmann
;
E. M. Meyer
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
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2000年
37.
Finite Element Analysis Of The Precracked Line Scratch Test
机译:
预裂线划痕试验的有限元分析
作者:
A.A. Volinsky
;
L. Mercado
;
V. Sarihan
;
W.W. Gerberich
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
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2000年
38.
MEMS Materials and Fabrication Technology on Large Areas: The Example of an X-ray Imager
机译:
大面积的MEMS材料和制造技术:X射线成像仪的示例
作者:
J.H. Daniel
;
B. Kruso
;
R. Lau
;
J.P. Lu
;
Y. Wang
;
M. Mulato
;
R.B. Apte
;
R.A. Street
;
A. Goredema
;
D.C. Boils-Boissier
;
S.E. Silver
;
P.M. Kazmaier
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
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2000年
39.
Micropatterning of Ceramics on Substrates towards Gas Sensing Applications
机译:
陶瓷在基底上的微图案化对气体传感的应用
作者:
Martin Heule
;
Lorenz Meier
;
Ludwig J. Gauckler
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
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2000年
40.
Adjustment of Membrane Stress Using Aluminum Oxide and Silicon Dioxide Multi Layer Structure
机译:
利用氧化铝和二氧化硅多层结构调节膜应力
作者:
Rvuichi Kubo
;
Yukio Yoshino
;
Kazuhiro Inoue
;
Takahiro Makino
;
Seiichi Arai
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
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2000年
41.
NOVEL CHEMISTRY FOR SURFACE ENGINEERING IN MEMS
机译:
MEMS表面工程的新型化学
作者:
X.-Y. Zhu
;
Y. Jun
;
V. Doiadjiev
;
R. Major
;
H. I. Kim
;
J. E. Houston
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
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2000年
42.
Measurements of residual stress in the layers of thin film micro-gas sensors
机译:
薄膜微气体传感器各层中的残余应力的测量
作者:
Youngman Kim
;
Sung-Ho Choo
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
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2000年
43.
Microfabrication of Crevice Corrosion Samples
机译:
缝隙腐蚀样品的微细加工
作者:
Xiaoyan Wang
;
Robert G. Kelly
;
Jason S. Lee
;
Michael L. Reed
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
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2000年
44.
On the Role of the Underlying Microstructure on the Mechanical Properties of Microelectromechanical Systems (MEMS) Materials
机译:
底层微结构对微机电系统(MEMS)材料力学性能的作用
作者:
G. F. Dirras
;
G. Coles
;
A. J. Wagner
;
S. Carlo
;
C. Newman
;
K. J. Hemker
;
W. N. Sharpe
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
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2000年
45.
PREPARATION OF MESOPOROUS OXIDES FOR MEMS STRUCTURES
机译:
用于MEMS结构的介孔氧化物的制备
作者:
Jong-Ah Paik
;
Nobuaki Kitazawa
;
Shih-Kang Fan
;
Chang-Jin Kim
;
Ming C. Wu
;
Bruce Dunn
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
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2000年
46.
ON THE EVOLUTION OF SURFACE MORPHOLOGY OF POLYSILICON MEMS STRUCTURES DURING FATIGUE
机译:
疲劳过程中多晶硅微机电结构表面形态的演变
作者:
S. M. ALLAMEH
;
B. GALLY
;
S. BROWN
;
W.O. SOBOYEJO
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
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2000年
47.
Processing of Thick Dielectric Films for Power MEMS: Stress and Fracture
机译:
用于功率MEMS的厚介电膜加工:应力和断裂
作者:
Kuo-Shen Chen
;
Xin Zhang
;
S. Mark Spearing
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
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2000年
48.
High Temperature, High-Pressure Fluid Connections for Power Micro-Systems
机译:
功率微型系统的高温,高压流体连接
作者:
Todd S. Harrison
;
Adam P. London
;
S. Mark Spearing
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
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2000年
49.
High-Cycle Fatigue of Polycrystalline Silicon Thin Films in Laboratory Air
机译:
实验室空气中多晶硅薄膜的高循环疲劳
作者:
C. L. Muhlstein
;
S.B. Brown
;
R.O. Ritchie
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
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2000年
50.
Multilayer Materials For Electrostatic Switches
机译:
静电开关用多层材料
作者:
Mark A Phillips
;
Brennan L Peterson
;
Christine M Esber
;
Jesse Hwang
;
Bruce M Clemens
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
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2000年
51.
Anelastic Creep Phenomena in Thin Metal Plated Cantilevers for MEMS
机译:
MEMS薄金属悬臂中的非蠕变蠕变现象
作者:
Deborah J. Vickcrs-Kirby
;
Randall L. Kubena
;
Frederic P. Stratton
;
Richard J. Joyce
;
David T. Chang
;
Jinsoo Kim
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
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2000年
52.
Anisotropic Fracture Behavior of Electroless deposited Ni-P Amorphous Alloy Thin Films
机译:
化学沉积Ni-P非晶态合金薄膜的各向异性断裂行为
作者:
Kazuki Takashima
;
Akio Ogura
;
Yusuke Ichikawa
;
Yakichi Higo
会议名称:
《Symposium on Materials Science of Microelectromechanical Systems( MEMS) Devices Ⅲ Nov 27-28, 2000, Boston, Massachusetts, U.S.A.》
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2000年
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