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ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)
ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)
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1.
Semiconductor Cleaning Technology –Past and Future
机译:
半导体清洗技术–过去与未来
作者:
Jerzy Ruzyllo
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
2.
Use of MIR-FTIR and κ-value Measurements to Assess Potential Solutions to Reduce Damage During Porous Low-κ Integration
机译:
使用MIR-FTIR和κ值测量来评估潜在的解决方案以减少多孔低κ积分期间的破坏
作者:
J. Beynet
;
D. De Roest
;
N. Rochat
;
K. Kellens
;
P. Verdonck
;
H. Sprey
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
3.
Performance Improvement of CuOx RRAM for Non-volatile Applications
机译:
用于非易失性应用的CuOx RRAM的性能改进
作者:
Y.Y. Lin
;
P. Zhou
;
M. Yin
;
H. B. Lv
;
S. Song
;
R.Huang
;
J.G.Wu
;
H. M. Wu
;
M. H. Chi
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
4.
Optimization of Nickel Salicide Strip Process Using Taguchi Method
机译:
田口法优化硅化镍剥离工艺。
作者:
Shelby Yu
;
Wenshen Li
;
Chi-Liang Lin
;
Yii-Chian Lu
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
5.
Trefoil Aberration Measurement of Lithographic Projection Optics Based on Linewidth Asymmetry of the Aerial Image
机译:
基于航空影像线宽不对称的光刻投影光学三叶像差测量
作者:
Qiongyan Yuan
;
Xiangzhao Wang
;
Zicheng Qiu
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
6.
EUV SOURCE SYSTEM DEVELOPMENT FOR 22NM GENERATION AND BEYOND
机译:
用于22NM生成及以后的EUV源系统开发
作者:
Benjamin Szu-Min Lin
;
David Brandt
;
Nigel Farrar
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
7.
A Cost-effective Spin on Sidewall Material Alternative to the CVD Sidewall Process
机译:
一种经济高效的侧壁材料旋转方法,可替代CVD侧壁工艺
作者:
Bang-Ching HO
;
Daisuke MARUYAMA
;
Rikimaru SAKAMOTO
;
Yasushi SAKAIDA
;
Hiroaki YGUCHI
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
8.
Residue Testing of Developer-Soluble Bottom Anti-Reflective Coatings
机译:
可溶于显影剂的底部抗反射涂层的残留测试
作者:
Carlton Washburn
;
April Evers
;
Brian Smith
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
9.
Investigation on Chemical Mechanical Polishing of GeSbTe for High Density Phase Change Memory
机译:
用于高密度相变存储器的GeSbTe化学机械抛光的研究
作者:
Min Zhong
;
Zhi-Tang Song
;
Bo Liu
;
Song-Lin Feng
;
Zhi-Feng Xie
;
Fu-Xiong Zhang
;
Yang-Hui Xiang
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
10.
Study on CMP Mechanism and Technology of Sapphire Substrate for Photoconducting Device
机译:
光电导器件蓝宝石衬底的CMP机理与技术研究
作者:
X.H. Niu
;
T. Wu
;
X. H. Zhao
;
B. M. Tan
;
Y. L. Liu
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
11.
Study on the Electro-Chemical Cleaning Technique with BDD Film Anode to Preparation of Electronic Devices
机译:
BDD膜阳极电化学清洗技术制备电子器件的研究
作者:
Baohong Gao
;
Yadong Zhu
;
Yuling Liu
;
Xinhuan Niu
;
Jianxin Zhang
;
Xiaoyan Liu
;
Li Li
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
12.
Calibration of the Enthalpy-Porosity Based Method for CZ Silicon Growth
机译:
基于焓孔隙度的CZ硅生长方法的校准
作者:
Bing Dai
;
Balaji Devulapalli
;
Prashant Gunjal
;
Milind Kulkarni
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
13.
Advances in the Understanding of Oxide Precipitate Nucleation in Silicon
机译:
硅中氧化物沉淀成核的认识进展
作者:
G. Kissinger
;
D. Kot
;
V. Akhmetov
;
A. Sattler
;
T. Müller
;
W. von Ammon
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
14.
Oxygen Precipitation in Heavily Phosphorus-doped Czochralski Silicon
机译:
重磷掺杂的直拉硅中的氧析出
作者:
Yuheng Zeng
;
Deren Yang
;
Xiangyang Ma
;
Xinpeng Zhang
;
Lixia Lin
;
Duanlin Que
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
15.
Influence of Polymeric Gas on Sidewall Profile and Defect Performance of Aluminum Metal Etch
机译:
聚合气体对金属铝蚀刻侧壁轮廓和缺陷性能的影响
作者:
Xin-Peng Wang
;
Hai-Yang Zhang
;
Man-Hua Shen
;
Wu Sun
;
Shih-Mou Chang
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
16.
Etch Arts of Dual Damascus Structure and Their Impacts on WAT/VBD in 65nm Cu Interconnects
机译:
65nm Cu互连中双大马士革结构的蚀刻艺术及其对WAT / VBD的影响
作者:
Wu Sun
;
Shih-Mou Chang
;
Hai-Yang Zhang
;
Xiaoming Yin
;
Liya Fu
;
Baodong Han
;
Xinpeng Wang
;
Yongqin Wu
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
17.
Challenges and Opportunities for Optical CD Metrology in Future Lithography Process
机译:
未来光刻技术中光盘CD计量学的挑战与机遇
作者:
Junwei Bao
;
Jason Ferns
;
Youxian Wen
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
18.
Electroless Nickel/Gold Under-Bump-Metallization Cost Comparisons
机译:
化学镍/金凸点金属化成本比较
作者:
A.J.G. Strandjord
;
A. Scheffler
;
E. Zakel
;
T. Oppert
;
T. Teutscha
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
19.
Material Solutions for Advanced Thin Packages
机译:
先进薄包装的材料解决方案
作者:
Hiroyuki Tanaka
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
20.
Development of Epoxy-Silicone Hybrid Polymer and Application for Semiconductor Assembly
机译:
环氧有机硅杂化聚合物的开发及其在半导体组装中的应用
作者:
Kazutoshi Tomiyoshi
;
Tatsuya Kanamaru
;
Kenji.Fukui
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
21.
Simulation Analysis of Point Defects in a Silicon Ingot during a Unidirectional Solidification Process for Solar Cells
机译:
太阳能电池单向凝固过程中硅锭点缺陷的模拟分析
作者:
X. J. Chen
;
S. Nakano
;
L. J. Liu
;
K. Kakimoto
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
22.
Throughput Enhanced Flip-Chip to Wafer Bonding: The Advanced Chip to Wafer Bonding
机译:
吞吐量增强的倒装芯片到晶圆键合:先进的芯片到晶圆键合
作者:
A. Sigl
;
S. Pargfrieder
;
T. Matthias
;
M. Wimplinger
;
P. Kettner
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
23.
Dippable Paste: A Robust Assembly Material and Enabling Technology
机译:
可浸膏:坚固的装配材料和使能技术
作者:
H.G. Sy
;
R.R. Lathrop
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
24.
Grooved Ball Pad Structure (GBPS) to Improve FBGA Solder Joint Reliability (SJR) Performance
机译:
沟槽式球垫结构(GBPS)可提高FBGA焊点可靠性(SJR)性能
作者:
ZHOU Wei
;
Tom JIANG
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
25.
Cu2 Process Development For Cost Effective SOT Package
机译:
具有成本效益的SOT封装的Cu2工艺开发
作者:
Soh Yuen Chun
;
Lim Tian Hing
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
26.
Enabling Technology in Thin Wafer Dicing
机译:
薄晶圆划片中的使能技术
作者:
Jeroen van Borkulo
;
Rogier Evertsen
;
Rene Hendriks
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
27.
Exploratory NEMS-CMOS Hybrid Devices for Post CMOS era
机译:
后CMOS时代的探索性NEMS-CMOS混合设备
作者:
B.H. Lee
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
28.
Evaluation of InAs QWFET for Low Power Logic Applications
机译:
低功耗逻辑应用中InAs QWFET的评估
作者:
Edward Yi Chang
;
Chien-I Kuo
;
Heng-Tung Hsu
;
Yasuyuki Miyamoto
;
Chia-Ta Chang
;
Chien-Ying Wu
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
29.
Translucent Polymer Solar Cells
机译:
半透明聚合物太阳能电池
作者:
G. M. Ng
;
C. Vijila
;
W. P. Goh
;
F. R. Zhu
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
30.
PV Efficiency Improved Large-area Dye-sensitized Solar Cells
机译:
光伏效率提高了大面积染料敏化太阳能电池
作者:
H.Y. Yin
;
T.S. Zhang
;
X. Wang
;
L.F. Liu
;
Y. Wang
;
X.Y. Liu
;
J.F. Kang
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
31.
Single Dispersion to Polish both Bulk Cu and Residual Cu along with Barrier Layers
机译:
单一分散体可抛光大块铜和残留铜以及势垒层
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
32.
Ultra-High Removal Rate Copper CMP Slurry Development for 3D Application
机译:
用于3D应用的超高去除率铜CMP浆料开发
作者:
B. Hu
;
H. Kim
;
R. Wen
;
D. Mahulikar
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
33.
Effect of H2O2 Concentration and Slurry Dilution on Removal Rate and Surface Quality for a Cu Slurry
机译:
H2O2浓度和稀浆稀释度对Cu稀浆去除率和表面质量的影响
作者:
Jie Lin and Tianbao Du
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
34.
Controlled DI Water Gasification System For Advanced Semiconductor Cleaning Processes
机译:
用于先进半导体清洗工艺的受控去离子水气化系统
作者:
A. Xia
;
K. Niermeyer
;
G. Conner
;
R. Mollica
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
35.
Bistable resistance switching of Cu/Ti:ZrO2/Pt for Nonvolatile memory application
机译:
用于非易失性存储应用的Cu / Ti:ZrO2 / Pt的双稳态电阻切换
作者:
Qi Liu
;
Shibing Long
;
Qin Wang
;
Ming Liu
;
Sen Zhang
;
Junning Chen
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
36.
The Design Features of Ultimate Diamond Disks (UDD): W CMP with In-Situ Dressing of Metal Free Diamond Disks
机译:
终极金刚石盘(UDD)的设计特征:W CMP与无金属金刚石盘原位修整
作者:
James C. Sung
;
Shao-Chung Hu
;
Wei Huang
;
Cheng-Shiang Chou
;
Chih-Chung Chou
;
Yang-Liang Pai
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
37.
Slurry Development Challenges and Solutions for Advanced Node Copper CMP
机译:
高级节点铜CMP的浆料开发挑战和解决方案
作者:
Deepak Mahulikar
;
Technical Director
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
38.
Advanced Process Control of HfxSi1-xO2 Composition using Co-injection Atomic Layer Deposition
机译:
使用共注入原子层沉积技术对HfxSi1-xO2组成进行高级过程控制
作者:
L. D. Bartholomew
;
A. Bavin
;
T. Lazerand
;
V. Rao
;
M. Weldon
;
L.Wang
会议名称:
《》
|
2009年
39.
Study on Bit Line TiCl4 TIN Process Optimization for Stack DRAM IDDS Standby Failure Improvement
机译:
用于堆栈DRAM IDDS备用故障改善的位线TiCl4 TIN工艺优化研究
作者:
Liang Chen
;
Zhi-Chao Li
;
Xing-Hua Song
;
Lei Xu
;
Yi-Hui Lin
;
Hsueh-Hung Wei
;
Paul-Chang Lin
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
40.
Computation lithography: virtual reality and virtual virtuality
机译:
计算光刻:虚拟现实和虚拟虚拟化
作者:
Alfred K. K. Wong
;
Edmund Y. Lam
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
41.
OPC Accuracy and Development Time Improvement for Advanced Technology Nodes
机译:
先进技术节点的OPC精度和开发时间的缩短
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
42.
Hot-Spots Aware Inverse Lithography Technology
机译:
热点感知反光刻技术
作者:
YANG Yiwei
;
SHI Zheng
;
SHEN Shanhu
;
XIE Chunlei
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
|
2009年
43.
Yield Enhancement with Optimized Offset Spacer Etch for 65nm Logic Low-leakage Process
机译:
通过针对65nm逻辑低泄漏工艺优化的偏移垫片蚀刻来提高良率
作者:
Bao-Dong Han
;
Shihmou Chang
;
Hai-Yang Zhang
;
Lin-Lin Zhao
;
Ya-Li Fu
;
Wu Sun
;
Bing-Wu Liu
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
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2009年
44.
Pre-clean Study for Both Damascene SiN and N-Blok to Resolve Queue-time-dependent Dielectric Barrier VBD Degradation
机译:
镶嵌SiN和N-Blok的预清洁研究,以解决依赖于排队时间的介电势垒VBD退化
作者:
Jerry Xu
;
Ziying Zhang
;
Emily Bei
;
Rong Gao
;
Hongjie Wang
;
Xianyuan Li
;
Sang Lee
;
David Cui
;
Mehul Naik
;
Li-qun Xia
;
Qiang Xu
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
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2009年
45.
A Study on PVD Co Pre-clean Chamber RF Reflect Power Improvement
机译:
PVD Co预清洗室射频反射功率改善的研究
作者:
Kun Gui
;
Pin-Sheng Hu
;
Dong Ouyang
;
Chi-Hsien Peng
;
Huang-Her Yang
;
Paul-Chang Lin
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
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2009年
46.
Robust HfxSi1-xO2 Gate Dielectric using Co-injection Atomic Layer Deposition
机译:
使用共注入原子层沉积的坚固HfxSi1-xO2栅极电介质
作者:
Larry Bartholomew
;
Andy Bavin
;
Thierry Lazerand
;
Vivek Rao
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
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2009年
47.
Plasma Charging Damage Affecting Flash Memory Device Encountered at Pad Etch
机译:
等离子充电损坏影响焊盘蚀刻时的闪存设备
作者:
S. F. Chong
;
K. A. Mohammad
;
F.S. Ng
;
L.J. Liu
;
D.G. Lee
;
S. F. Lee
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
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2009年
48.
A Novel Approach for Electro Chemical Plating (ECP) Process Swirl Defect Reduction
机译:
电化学电镀(ECP)工艺涡流减少的新方法
作者:
Ri-Hui Sun
;
Ji-Wei Zhang
;
Jian-Yong Jiang
;
Yi-Jun Bian
;
Paul-Chang Lin
;
Cheng Xing
;
Xiao Li
;
Hua Zhou
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
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2009年
49.
Material Etch Rate Control in the Fluoride Containing Stripper for Post Etch and Ashing Residue Removal
机译:
含氟剥离剂中的蚀刻后灰渣残留物的材料蚀刻率控制
作者:
Bing Liu
;
Libbert Peng
;
Julia Peng
;
Joey Yu
;
Shumin Wang
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
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2009年
50.
High-Speed Cu-TSV for 5:1 iTSV Applications
机译:
适用于5:1 iTSV应用的高速Cu-TSV
作者:
R. Beica
;
P. Siblerud
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
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2009年
51.
Advanced Technologies for In-Line and Post-Processed TSV Integration
机译:
在线和后处理TSV集成的先进技术
作者:
Eric Beyne
;
Bart Swinnen
;
Jan Van Olmen
;
Deniz S. Tezcan
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
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2009年
52.
High Volume, Low Cost Multi Die Packaging Using Conductive Polymer Interconnect
机译:
使用导电聚合物互连的大批量,低成本多芯片封装
作者:
M. E. Robinson
;
J.S.Leal
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
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2009年
53.
3D DRAM in Server Application
机译:
服务器应用中的3D DRAM
作者:
Biao Cai
;
Vipinchandra Patel
;
Edmund D. Blackshear
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
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2009年
54.
pMOSFET Off-state Leakage and Junction Leakage Current in Ge-based Devices
机译:
Ge基器件中的pMOSFET断态泄漏和结泄漏电流
作者:
E. Simoen
;
F. De Stefano
;
G. Eneman
;
B. De Jaeger
;
C. Claeys
;
F. Crupi
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
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2009年
55.
A Study of Stress technology for 65nm Generic CMOS technology
机译:
65nm通用CMOS技术的应力技术研究
作者:
Xinfu Liu
;
Wenjun Dai
;
Xing Yu
;
Louis Lim
;
Bin Xue
;
Boyong He
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
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2009年
56.
Silicon Nanocrystals Synthesized by Electron-beam Co-evaporation Method and Their Application for Nonvolatile Memory
机译:
电子束共蒸发法合成硅纳米晶及其在非易失性存储器中的应用
作者:
Chen Chen
;
Tian Chun Ye
;
Rui Jia
;
Ming Liu
;
Wei Long Li
;
Chen Xin Zhu
;
Hao Feng Li
;
Pei Wen Zhang
;
Chang Qing Xie
;
Qin Wang
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
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2009年
57.
Halo Implantation Optimization for 65nm Low Power PMOS Device Inverse Narrow Width Effect Improvement
机译:
用于65nm低功率PMOS器件的反向注入宽度优化反窄宽度效应改善
作者:
Haohua Ye
;
Jianhua Ju
;
Xuejie Shi
;
Bingwu Liu
;
Jay Ning
;
I. C. Chen
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
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2009年
58.
Electrical Defect Issues of Hetero-Epitaxy for Advanced Nanometric CMOS Technologies
机译:
先进的纳米CMOS技术的外延外延的电缺陷问题
作者:
C. Claeys
;
M. Bargallo Gonzalez
;
G. Eneman
;
A. Hikavyy
;
R. Loo
;
E. Simoen
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
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2009年
59.
Shallow Trench Isolation Stress Effect on NMOS Transistor Leakage, SRAM Standby Current and VCCMIN
机译:
浅沟槽隔离应力对NMOS晶体管泄漏,SRAM待机电流和VCCMIN的影响
作者:
Jianhua Ju
;
Jay Ning
;
Eric Liu
;
ZhaoXu Shen
;
Allan Zhou
;
Jinhua Liu
;
Daniel Deng
;
Cathy Ren
;
Susu Wei
;
Hokmin Ho
会议名称:
《ISTC/CSTIC 2009 (CISTC)》
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2009年
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