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Micromachinging and microfabrication process technology XVI
Micromachinging and microfabrication process technology XVI
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1.
IR Photodetector Based on an Optically Cooled Micromirror as a Light Pressure Sensor
机译:
基于光学冷却微镜作为压力传感器的红外光电探测器
作者:
Gennady P. Berman
;
Alan R. Bishop
;
Boris M. Chernobrod
;
Umar Mohideen
会议名称:
《Micromachinging and microfabrication process technology XVI》
|
2011年
关键词:
infrared;
terahertz;
detector;
micromechanical device;
microcavity;
2.
MEMS product engineering: methodology and tools
机译:
MEMS产品工程:方法和工具
作者:
Dirk Ortloff
;
Jens Popp
;
Thilo Schmidt
;
Kai Hahn
;
Matthias Mielke
;
et al
会议名称:
《Micromachinging and microfabrication process technology XVI》
|
2011年
关键词:
product engineering;
MNT design;
process design;
information management;
3.
Impact of using filtration on global and local uniformity of spin on glue materials
机译:
使用过滤对胶粘剂材料纺丝整体和局部均匀性的影响
作者:
S. Bernard
;
R.A. Miller
;
V. Pepper
;
J. Braggin
;
F.F.C. Duval
会议名称:
《Micromachinging and microfabrication process technology XVI》
|
2011年
关键词:
bubble defects;
temporary bonding;
filtration;
dispense;
4.
Develop a novel thermal switch through CMOS MEMS fabrication process
机译:
通过CMOS MEMS制造工艺开发新型热开关
作者:
You-Liang Lai
;
Lei-Chun Chou
;
Ying-Zong Juang
;
Hann-Huei Tsai
;
Sheng-Chieh Huang
;
et al
会议名称:
《Micromachinging and microfabrication process technology XVI》
|
2011年
5.
Thermo-optic Coefficients of SiC, GaN, and A1N up to 512℃ from Infrared to Ultraviolet Region for Tunable Filter Applications
机译:
SiC,GaN和AlN的热光系数从红外区到紫外线区的最高温度为512℃,用于可调滤波器
作者:
Naoki Watanabe
;
Tsunenobu Kimoto
;
Jun Suda
会议名称:
《Micromachinging and microfabrication process technology XVI》
|
2011年
关键词:
silicon carbide;
gallium nitride;
aluminum nitride;
thermo-optic coefficient;
refractive index;
tunable optical filter;
6.
Laser processing inside transparent materials: dependence on pulse length and wavelength
机译:
透明材料内部的激光加工:取决于脉冲长度和波长
作者:
U. Loeschner
;
J. Schille
;
R. Ebert
;
H. Exner
会议名称:
《Micromachinging and microfabrication process technology XVI》
|
2011年
关键词:
laser machining;
transparent material;
glass;
polymer;
short pulse;
ultrashort pulse;
7.
Lateral Spread of MEMS WDM Technologies
机译:
MEMS WDM技术的横向扩散
作者:
Hiroshi Toshiyoshi
会议名称:
《Micromachinging and microfabrication process technology XVI》
|
2011年
关键词:
MEMS;
fiber optic application;
VOA;
projection display;
endoscope;
8.
Toy Story: What I have learned from playing with toys about the physics of living cells
机译:
玩具总动员:我从玩玩具中学到的有关活细胞物理的知识
作者:
Robert H. Austin
会议名称:
《Micromachinging and microfabrication process technology XVI》
|
2011年
关键词:
microfabrication;
nanofabrication;
ecology;
evolution;
9.
Endurance analysis of optical master stamps for UV-replication
机译:
用于紫外线复制的光学母模的耐久性分析
作者:
F.C. Wippermann
;
A. Reimann
;
G. Leibeling
会议名称:
《Micromachinging and microfabrication process technology XVI》
|
2011年
10.
Fabrication of Electrostatic-actuated Single-crystalline 4H-SiC Bridge Structures by Photoelectrochemical Etching
机译:
光电化学刻蚀法制备静电致动单晶4H-SiC桥结构
作者:
Naoki Watanabe
;
Tsunenobu Kimoto
;
Jun Suda
会议名称:
《Micromachinging and microfabrication process technology XVI》
|
2011年
关键词:
silicon carbide;
bridge structure;
photoelectrochemical etching;
electrostatic actuating;
harsh-environment MEMS;
11.
Poly-HDDA microstructure fabrication using Microstereolithography for Micro-cantilever based sensor technology
机译:
使用基于微悬臂梁的传感器技术的微立体光刻技术制造聚HDDA微结构
作者:
Ankur Goswami
;
Arindam Phani
;
Ankit Krisna
;
N.Balashanmugam
;
Giridhar Madras
;
et al
会议名称:
《Micromachinging and microfabrication process technology XVI》
|
2011年
关键词:
Microcantilever based sensor;
Microstereolithography;
Poly-HDDA;
Optical diffraction profiling;
12.
Automated measurement of centering errors and relative surface distances for the optimized assembly of micro optics
机译:
自动测量对中误差和相对表面距离,以优化微光学组件
作者:
Patrik Langehanenberg
;
Eugen Dumitrescu
;
Josef Heinisch
;
Stefan Krey
;
Aiko K. Ruprecht
;
et al
会议名称:
《Micromachinging and microfabrication process technology XVI》
|
2011年
关键词:
centering error;
autocollimator;
center thickness measurement;
low coherent interferometry;
13.
Design and fabrication of a CMOS MEMS logic gate
机译:
CMOS MEMS逻辑门的设计与制造
作者:
Chun-Yin Tsai
;
Tsung-Lin Chen
;
Hsin-Hao Liao
;
Chen-Fu Lin
;
Ying-Zong Juang
会议名称:
《Micromachinging and microfabrication process technology XVI》
|
2011年
关键词:
CMOS-MEMS;
logic gate;
tungsten plugs;
metal to metal contact;
non-warping suspended plate;
14.
Large scale micropatteming of multi-walled carbon nanotube/polydimethylsiloxane nanocomposite polymer on highly flexible 12 × 24 inch substrates
机译:
高柔性12×24英寸基板上的多壁碳纳米管/聚二甲基硅氧烷纳米复合聚合物的大规模微图案化
作者:
A. Khosla
;
D. Hilbich
;
C. Drewbrook
;
D. Chung
;
B.L. Gray
会议名称:
《Micromachinging and microfabrication process technology XVI》
|
2011年
关键词:
Nanocomposite polymers, MWCNT;
MEMS;
conductive polymer;
soft lithographylarge scale micropatteming;
flexible electronics;
15.
First results on electrostatic polymer actuators based on UV-replication
机译:
基于紫外线复制的静电聚合物致动器的初步结果
作者:
N. Lange
;
F. Wippermann
;
R. Leitel
;
C. Bruchmann
;
E. Beckert
;
et al
会议名称:
《Micromachinging and microfabrication process technology XVI》
|
2011年
关键词:
electrostatic;
actuator;
polymer;
photoresist;
ORMOCER;
UV-replication;
wafer level;
lithography;
16.
Sub-micron texturing of silicon wafer with fiber laser
机译:
光纤激光器对硅晶片的亚微米制绒
作者:
Hamid Farrokhi
;
Wei Zhou
;
Hong Yu Zheng
;
Zhongli Li
会议名称:
《Micromachinging and microfabrication process technology XVI》
|
2011年
关键词:
Sub-micron texturing;
fiber laser;
laser-induced silicon oxide sub-micron bumps;
SEM;
EDX;
Raman spectroscopy;
XPS;
17.
Commercial Plexiglass mirrors and MEMS:New approach toward low cost polymer microsystems
机译:
商用有机玻璃镜和MEMS:低成本聚合物微系统的新方法
作者:
A. Khosla
;
B.L. Gray
会议名称:
《Micromachinging and microfabrication process technology XVI》
|
2011年
关键词:
PMMA;
PMMA mirrors;
MEMS;
metallization;
micromachining;
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