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Neue Niederdruck-CVD-Technologie

机译:新型低压CVD技术

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摘要

In den letzten Jahrzehnten haben kubisch flächenzentrierte (kfz) Ti_(1-x)AI_xN-Beschichtungen einen signifikanten Stellenwert im Verschleißschutz erlangt. Bis heute können diese metastabilen Strukturen aber nur mit Beschichtungsmethoden abgeschieden werden, die bei vergleichbar niedrigen Temperaturen ablaufen, den Aluminiumanteil bei kfz-Strukturen auf 67 Prozent begrenzen und so die Oxidationsbeständigkeit einschränken. IHI lonbond, Olten/Schweiz, hat einen speziellen CVD-Prozess entwickelt, der in kubisch flächenzentrierten Ti_(1-x)Al_xN-Schichten einen AI-Anteil von 91 Prozent ermöglicht und harte, verschleißbeständige Schichten erzeugt. Das Bild zeigt eine Beschichtung, die bei Raumtemperatur die hohe Härte von circa 29 GPa sowie moderate Druckeigenspannungen von bis zu -3 GPa aufweist.
机译:在过去的几十年中,面心(汽车)Ti_(1-x)AI_xN涂层在磨损防护中发挥了重要作用。然而,迄今为止,只能使用在较低温度下运行的涂覆方法来沉积这些亚稳结构,从而将汽车结构中的铝含量限制为67%,从而限制了抗氧化性。瑞士奥尔滕的IHI lonbond公司开发了一种特殊的CVD工艺,该工艺可使面心立方Ti_(1-x)Al_xN层中的Al含量达到91%,并形成坚硬的耐磨层。图片显示了在室温下具有约29 GPa的高硬度以及高达-3 GPa的适度残余压应力的涂层。

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  • 来源
    《Werkstatt + Betrieb》 |2014年第2期|124-124|共1页
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  • 收录信息 美国《工程索引》(EI);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 ger
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