Analyse spectroscopique de I'erosion de ceramiques par magnetron RF

摘要

Cet article presente le travail effecture pour controler la pulverisation de ceramiques a l'aide d'une technique de spectroscopie d'emission optique. La detection de l'erosion d'echantillons de BN-SiO_2 a ete analysee dans une decharge magnetron RF fonctionnant dans l'argon. Des raies typiques d'erosion ont ete detectees dans les domaines de l'U. V et du V. U. V. La variation de l'intensite de ces raies, don't des raies de radicaux moleculaires, a ete etudiee en fonction du temps pour une decharge pulsee et en fonction de la puissance RF injectee dans le plasma.