Transparentes leitfhiges TiO2:Nb – ein TCO-Material der Zukunft?

摘要

Niob dotiertes Titanoxid ist ein noch weitestgehend unbekanntes TCO-Material. Mittels Gleichstrom- und Puls-Magnetron-Sputtern wurden polykristalline TiO₂:Nb-Schichten in einer produktionshnlichen Beschichtungsanlage abgeschieden und die Eigenschaften der Schichten untersucht. Eine mittels Gleichstrom gesputterte 100 nm dicke TiO₂:Nb-Schicht zeigt nach einer thermischen Behandlung bei 450 °C einen niedrigen spez. elektr. Widerstand von 7,2 × 10−4 Ωcm, einen Extinktionskoeffizienten von 0,02 und eine Transmission im sichtbaren Spektralbereich von 74,8%.Transparent conductive TiO₂:Nb – a TCO material of the future?Niobium doped titania is a widely unknown TCO material. We present the results of TiO₂:Nb thin films deposited by DC and pulse DC sputtering from a ceramic titania target with a content of approximately 6 wt.-percent Nb in a pilot scale in-line sputtering plant. With DC sputtering on Borofloat 33 substrate a 100 nm thin film show after annealing at 450 °C a resistivity of 7.2 × 10−4 Ωcm with a low extinction coefficient of 0.02 and a transmittance in the visible range of 74.8%.