Ablation par laser impulsionnel et dépôt de couches minces

摘要

The principles of laser ablation are presented with emphasis on the transport of ejected material. The principal theoretical approches and the diagnostic methods generaly used for the plasma plume characterisation are described/ The application to thin films deposition of various materials by pulsed laser deposition (PLD) and ion beam assisted pulsed laser deposition (IBAPLD), is then developed.%Les principes de l'ablation par laser sont présentés en insistant particulièrement sur le transport de la matière éjectée. Les principales approches le décrivant sont succintement exposées, ainsi que les méthodes de diagnostic généralement employées pour caractériser le panache plasma. L'application au dépôt de couches minces de divers matériaux par ablation par laser impulsionnel classique (PLD) et assistée par faisceau d'ions IBAPLD), est ensuite développée.