Production of active-species in N_2-CH_4 flowing microwave discharges

P. Peze-Bourdarie; A. Ricard; A. R. De Souza

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Production of active-species in N_2-CH_4 flowing microwave discharges

机译：N_2-CH_4流动微波放电中活性物种的产生

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The purpose of this work is to determine: -the best distance of CH_4 inlet in the flowing discharge and post-discharge, -the best CH_4/N_2 ratio in a microwave nitrogen plasma to create CN in order to produce carbonitride layers in a post-discharge reactor.

机译：这项工作的目的是确定：-流动放电和后放电中CH_4入口的最佳距离，-微波氮等离子体中产生CN的最佳CH_4 / N_2比，以便在后处理中产生碳氮化物层-放电反应器。

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来源
《Le Vide》 |1999年第294期|p.456-460|共5页
作者
P. Peze-Bourdarie; A. Ricard; A. R. De Souza;
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正文语种 eng
中图分类真空技术;
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