Reacteurs a plasmas pour le nettoyage des surfaces

摘要

Il est decrite differents reacteurs a plasmas qui sont utilises pour le nettoyage et le deca- page (gravure) des surfaces de materiaux metalliques, semi-conducteurs ou isolants (polymeres). Ce sont les reacteurs diodes RF pour la gravure en microelectronique, les reacteurs En flux pour les traitements de metaux, les reacteurs RCE microondes pour le decapage De polymeres et les reacteurs a barriere dielectrique, fonctionnant a la pression Atmospherique, pour les traitements de films de polymeres.