Introduction to the Cameca SIMS instruments

摘要

Cet article presente la derniere generation d'instruments SIMS developper par la societe Cameca. Apres un bref rappel des principes physiques de base qui determinent la sensibilite de l'analyse par spectrometrie de masse de l'emission ionique secondaire, les caracteristiques instrumentales et analytiques des different instruments SIMS sont pas- sees en revue.