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【24h】

Dielectric film deposition for optical applications

机译:用于光学应用的介电膜沉积

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摘要

Le depot chimique en phase vapeur assiste par plasma micro-onde a ete utilise pour realiser des filtres pour l'optique. Deux exemples ont ete choisis pour illustrer les per- formances de cette technique. Premierement, un filtre rugate a base d'oxynitrure de sili- cium a ete depose sur un substrat de verre en utilisant SiH_4 comme precurseur.
机译:微波等离子体辅助的化学气相沉积被用于制造光学滤光片。选择了两个示例来说明此技术的性能。首先,使用SiH_4作为前体,在玻璃基板上沉积基于氧氮化硅的皱褶滤光片。

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