ОРГАНИЗАЦИЯ ПОСЛЕРАЗРЯДНОГО РЕЖИМА ПРИ ИМПУЛЬСНОЙ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКЕ

摘要

Post-discharge processes in the electrical supply circuit of technological system with a pulsed glow discharge used for ion-plasma processing of materials are analyzed, in which a direct current glow discharge is maintained in the pauses between the processing pulses. The variants of connection of a pulse generator through a separating capacitor or a separating diode are considered and the formulas for determining time parameters of direct current discharge recovery process after the end of the processing pulses are obtained. Recommendations for organization of the electric mode for quick restoration of the direct current discharge are given, as well as for preventing arc discharge on the negative electrode and extinguishing the arc if it occurs.%Проанализированы послеразрядные процессы в цепи электрического питания технологической системы с импульсным тлеющим разрядом, используемой для ионно-плазменной обработки материалов, при которой в паузах между рабочими импульсами поддерживается разряд постоянного тока. Рассмотрены варианты подключения импульсного генератора через разделительный конденсатор или разделительный диод, и получены формулы для определения временных параметров процесса восстановления разряда постоянного тока после окончания рабочего импульса. Даны рекомендации по организации электрического режима с целью быстрого восстановления разряда постоянного тока, а также по предотвращению дугового разряда на отрицательном электроде и по гашению дуги в случае ее возникновения.