ПОВЫШЕНИЕ ТОЧНОСТИ ОПРЕДЕЛЕНИЯ МЕТОДАМИ РЭМ-РСМА ЭЛЕМЕНТНОГО СОСТАВА УРАНСОДЕРЖАЩИХ МИКРОЧАСТИЦ

摘要

Представлены результаты применения методов растровой электронной микроскопии и рентгено-спектрального микроанализа (РЭМ-РСМА) для исследования состава и внутренней структуры микрочастиц тетрафторида урана после травления поверхности образцов ионным пучком. Показано, что точностные показатели анализа рельефных образцов могут быть существенно улучшены, если их рельеф предварительно сгладить ионным пучком. Стандартное отклонение измеренного массового содержания урана в микрочастицах тетрафторида урана после сглаживания их поверхности ионным пучком уменьшается с (6.1-8.7) до (1.3-2.7)%.