ПОВЕРХНОСТНЫЕ СВОЙСТВА НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК SnO_(2-x) С ДОБАВКАМИ Yb И Sb, ПРЕДНАЗНАЧЕННЫХ ДЛЯ РЕЗИСТИВНЫХ ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ

摘要

Нанокристаллические пленки диоксида олова с добавками иттербия и сурьмы получены методом реактивного магнетронного напыления составной мишени. Сопротивление пленок возрастало при нагреве от 180 до 400° С вследствие эффекта поля, вызванного адсорбированным на поверхность кислородом с последующим захватом им электронов из пленки. Сопротивление пленок уменьшалось в результате реакции ионов кислорода с парами органических реагентов. Резистивные газовые сенсоры имеют повышенную чувствительность и селективность к ряду органических растворителей.