Проведено исследование влияния фокусировки зонда растрового электронного микроскопа на формирование изображений рельефных структур в режимах сбора вторичных медленных и обратно рассеянных электронов. В экспериментах использовались выступы и канавки в кремнии с трапециевидным профилем и большими углами наклона боковых стенок. В процессе дефокусировки диаметр зонда увеличивался до 8 раз. Показано, что изображение в режиме сбора вторичных медленных электронов значительно меняется, в то время как в режиме сбора обратно рассеянных электронов изображение в пределах шумов не изменилось. Указаны области сигналов, на которые влияет фокусировка растрового электронного микроскопа. Сделан вывод, что фокусировку необходимо осуществлять только в режиме сбора вторичных медленных электронов.
展开▼
