ИЗУЧЕНИЕ ПРОЦЕССОВ ЛОКАЛЬНОЙ АККУМУЛЯЦИИ ЗАРЯДА В ПЛЕНКАХ ZrO_2(Y) С НАНОЧАСТИЦАМИ Аu МЕТОДОМ КЕЛЬВИН-ЗОНД-МИКРОСКОПИИ

摘要

Методом сканирующей кельвин-зонд-микроскопии исследована временная динамика пространственного распределения электронов, локально инжектированных из зонда атомно-силового микроскопа в тонкие (толщиной менее 10 нм) пленки ZrO_2(Y) с внедренными наночастицами Аu на подложках Si. Получены и проанализированы профили потенциала поверхности пленок, наведенного инжекцией счетного числа (несколько десятков) электронов в наночастицы Аu в зависимости от времени, прошедшего после инжекции.