МИКРОСТРУКТУРА И ПЛОТНОСТЬ ПЛЕНОК Мо В МНОГОСЛОЙНЫХ ЗЕРКАЛАХ Mo/Si

摘要

Using the wide-angle and small-angle X-ray diffraction techniques, the Mo density dependence on the layer thickness in periodic X-ray Mo/Si mirrors synthesized by magnetron sputtering in an argon atmosphere has been obtained. On the example of the simulated aperiodic multilayer mirror Mo/Si, the necessity to take into account the real density of Mo and the incorrect use of its tabulated densities have been demonstrated.%С использованием методов малоугловой рентгеновской дифракции и дифракции в области больших углов получена зависимость плотности Мо от толщины слоя в периодических рентгеновских зеркалах Mo/Si, синтезированных методом магнетронного распыления в атмосфере аргона. На примере смоделированного апериодического многослойного зеркала Mo/Si продемонстрирована необходимость учета реальной плотности Мо и некорректность использования ее табличных значений.