電子機械

摘要

当社の電子機械事業部門は，半導体および液晶用レーザアrnニーリング装置，半導体用モールディング装置など最先端のrn製品を提供している。2008年にはメカトロニクス事業部門rnと統合し，半導体および液晶製造装置のキーコンポーネントrnであるXYステージやモーションコントローラなど，ソフトrnからハードまでトータルで提供できる事業となった。