水素高速排気型クライオポンプ

摘要

本機は，イオン注入装置向けクライオポンプとして，客先rnの生産性向上やイオンの注入量シフト対策として水素排気速rn度の大幅な向上を図り，低消費電力にも対応して開発を行っrnたものである。rn要求仕様達成には水素を排気する活性炭面を拡大するととrnもに，排気するガスの流れ性を阻害しないようパネル形状のrn最適化を行った。