Applied Materials Inc., 3050 Bowers Ave., Santa Clara, CA 95054;
机译:闪光灯退火和激光尖峰退火对15 nm金属氧化物半导体器件随机掺杂波动的影响
机译:尖峰退火作为第二快速热退火,可防止纯硅化镍在门上分解
机译:通过一次,多次快速退火和尖峰快速热退火相结合,硼和砷的活化趋势更先进
机译:毫秒退火(MSA)诱导的布局依赖于45 nm高性能技术的多重MSA方案中的闪光灯退火(FLA)和激光尖峰退火(LSA)
机译:铟镓锌氧化物:毫秒激光尖峰退火过程中的相形成和结晶动力学
机译:固溶钙钛矿太阳能电池固溶TiO2电子传输层的低温退火工艺研究
机译:低温退火对纳米结构合金ZR1NB力学性能和演化的影响