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New regs on sub-atmospheric gas sources reduce risk, improve safety

机译:低于大气压气源的新法规降低了风险,提高了安全性

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摘要

Ion implant has traditionally been hazardous due to the toxic materials and high-pressure cylinders. However, sub-atmospheric gas sources (SAGs) have been proven to help improve safety. Due to the growing adoption of SAGs, the National Fire Protection Association (NFPA) recently published definitions and guidelines for their use. This article describes the two primary types of SAGs and their differences as they relate to safety and efficacy.
机译:由于有毒材料和高压气瓶,传统上离子注入是有害的。但是,已证明低于大气压的气体源(SAG)有助于提高安全性。由于SAG的采用越来越广泛,美国国家消防协会(NFPA)最近发布了其使用的定义和指南。本文介绍了两种主要的SAG类型及其与安全性和有效性相关的区别。

著录项

  • 来源
    《Solid state technology》 |2009年第8期|10-1113|共3页
  • 作者

    Al Brown; Karl Olander;

  • 作者单位
  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
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