画像処理による液晶パネルの欠陥検査

摘要

近年の液晶パネル大型化に伴い，TFTアレイを二次電子画像として検査するPixelScopeもより高精度で高rn速な検査に対応する必要があった。特に検査画像を処理して欠陥を検出する画像処理アルゴリズムの改良が求rnめられていた。そこで位相チャンネル分離法による欠陥検出アルゴリズムを新たに開発し，従来よりも高精度rnで高速な欠陥検出処理を可能とした。