机译:通过化学气相沉积和新戊硅烷实现外延硅碳合金的高生长速率
Princeton Institute of Science and Technology of Materials (PRISM) and Department of Electrical Engineering, Princeton University, Princeton, NJ, 08544, USA;
机译:新戊硅烷在低温下通过化学气相沉积法超高生长外延硅
机译:通过等离子体增强化学气相沉积法从C2H2 + SiH4混合物中生长的宽带隙氢化非晶硅碳合金薄膜的热改性
机译:通过高迁移率的金属有机化学气相沉积在300 mm Si(001)衬底上外延生长无反相的GaAs层
机译:使用新戊硅烷对硅和硅碳合金进行高速率和低温化学气相沉积外延
机译:流体动力学和反应器设计对金属有机化学气相沉积在硅衬底上氮化镓外延生长的影响。
机译:碳-碳薄膜的电化学沉积:成核和生长机理的研究
机译:使用新戊硅烷在高速和低温下化学气相沉积硅和硅 - 碳合金