机译:使用新颖的莫尔条纹解调技术测量半导体FinFET器件中的应变
Univ Antwerp EMAT Groenenborgerlaan 171 B-2020 Antwerp Belgium|IMEC Kapeldreef 75 B-3001 Leuven Belgium;
Univ Antwerp EMAT Groenenborgerlaan 171 B-2020 Antwerp Belgium;
IMEC Kapeldreef 75 B-3001 Leuven Belgium;
geometric phase analysis; STEM moire; moire phase stepping interferometry; quadrature demodulation;
机译:扫描莫尔条纹成像,用于定量量化半导体器件中的应变
机译:莫尔条纹法中用于位移和应变测量的光栅制造技术
机译:利用会聚束电子衍射测量半导体器件中的局部晶格应变
机译:聚焦离子束(FIB)纳米加工和FIB MOILE技术在MEMS / NEMS结构和器件中的应变分析
机译:光学技术在移动表面测量中的应用(莫尔条纹轮廓图,条纹分析)。
机译:动物中非侵入性血压测量:第1部分 - 用于非侵入式设备的测量和验证的技术
机译:使用新型Moiré解调技术的半导体FinFET器件中的应变测量